公开(公告)号：CN100507529C

公开(公告)日：2009-07-01

申请号：CN200510052635.7

申请日：2005-03-07

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 山本正昭 ,  小堀由高

IPC: G01N21/956 ,  H05K3/00 ,  H01L21/66

Abstract: 本发明涉及一种光学式外观检查方法以及光学式外观检查装置，是将薄膜掩膜(1)承载在承载台(2)上，从以追随摄像部(3)的形式而安装着的空气喷出部件(6)通过喷嘴(7)向摄像部(3)的扫描位置的附近喷出空气。利用向扫描位置的附近喷出的空气，在使薄膜掩膜(1)上的扫描位置周边与承载台(2)紧密接触的同时，由摄像部(3)对薄膜掩膜(1)进行扫描，对薄膜掩膜(1)的检查区域进行摄像。这样，能够使用便宜的装置对薄膜掩膜等的柔性的薄板基板进行正确的检查。

公开(公告)号：CN1825099A

公开(公告)日：2006-08-30

申请号：CN200510120263.7

申请日：2005-11-09

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 赤木佑司 ,  万代一郎 ,  小堀由高 ,  加藤知孝

IPC: G01N21/956 ,  H05K3/00

Abstract: 本发明提供一种外观检查装置以及外观检查方法，载物台部(21)形成有装载具有柔性的薄板状的被检查物体的载物台面，并将所装载的被检查物体的一侧主面和载物台面贴紧并保持着。摄像机(31)拍摄被贴紧并保持在载物台面上的被检查物体。X轴方向驱动机构(35)、Y轴方向驱动机构(23)、以及Z轴方向驱动机构(36)，使载物台面以及摄像机(31)中的至少一方向各个方向相对移动。控制部(4)根据载物台面的多个位置上的位移数据，使摄像机(31)和载物台面之间保持为等距离，同时控制X轴方向驱动机构(35)、Y轴方向驱动机构(23)、以及Z轴方向驱动机构(36)。

公开(公告)号：CN1690698A

公开(公告)日：2005-11-02

申请号：CN200510052635.7

申请日：2005-03-07

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 山本正昭 ,  小堀由高

IPC: G01N21/956 ,  H05K3/00

Abstract: 本发明涉及一种光学式外观检查方法以及光学式外观检查装置，是将薄膜掩膜(1)承载在承载台(2)上，从以追随摄像部(3)的形式而安装着的空气喷出部件(6)通过喷嘴(7)向摄像部(3)的扫描位置的附近喷出空气。利用向扫描位置的附近喷出的空气，在使薄膜掩膜(1)上的扫描位置周边与承载台(2)紧密接触的同时，由摄像部(3)对薄膜掩膜(1)进行扫描，对薄膜掩膜(1)的检查区域进行摄像。这样，能够使用便宜的装置对薄膜掩膜等的柔性的薄板基板进行正确的检查。