-
公开(公告)号：CN1825099A
公开(公告)日：2006-08-30
申请号：CN200510120263.7
申请日：2005-11-09
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
IPC: G01N21/956 , H05K3/00
Abstract: 本发明提供一种外观检查装置以及外观检查方法，载物台部(21)形成有装载具有柔性的薄板状的被检查物体的载物台面，并将所装载的被检查物体的一侧主面和载物台面贴紧并保持着。摄像机(31)拍摄被贴紧并保持在载物台面上的被检查物体。X轴方向驱动机构(35)、Y轴方向驱动机构(23)、以及Z轴方向驱动机构(36)，使载物台面以及摄像机(31)中的至少一方向各个方向相对移动。控制部(4)根据载物台面的多个位置上的位移数据，使摄像机(31)和载物台面之间保持为等距离，同时控制X轴方向驱动机构(35)、Y轴方向驱动机构(23)、以及Z轴方向驱动机构(36)。
Search Results
1
records
(took 0.018 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
