差分比较检查方法及差分比较检查装置

    公开(公告)号:CN1982880A

    公开(公告)日:2007-06-20

    申请号:CN200610142822.9

    申请日:2006-10-26

    Abstract: 分别从基准图像检测出在图案上形成凹状的角落即内角及凸状的角即外角。接着,确定检测出的内角附近的区域即内角区域的范围。同时,确定检测出的外角附近的区域即外角区域的范围。然后,基于基准图像和对象图像的差分进行比较检查。此时,在基准图像的内角区域中,将相对于比该基准图像表示的图案的区域过剩形成的对象图像的图案的区域的差分排除在外而进行比较检查。并且,在基准图像的外角区域中,将相对于比该基准图像表示的图案的区域不足形成的对象图像的图案的区域的差分排除在外而进行比较检查。

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