公开(公告)号：CN100507529C

公开(公告)日：2009-07-01

申请号：CN200510052635.7

申请日：2005-03-07

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 山本正昭 ,  小堀由高

IPC: G01N21/956 ,  H05K3/00 ,  H01L21/66

Abstract: 本发明涉及一种光学式外观检查方法以及光学式外观检查装置，是将薄膜掩膜(1)承载在承载台(2)上，从以追随摄像部(3)的形式而安装着的空气喷出部件(6)通过喷嘴(7)向摄像部(3)的扫描位置的附近喷出空气。利用向扫描位置的附近喷出的空气，在使薄膜掩膜(1)上的扫描位置周边与承载台(2)紧密接触的同时，由摄像部(3)对薄膜掩膜(1)进行扫描，对薄膜掩膜(1)的检查区域进行摄像。这样，能够使用便宜的装置对薄膜掩膜等的柔性的薄板基板进行正确的检查。

公开(公告)号：CN1690698A

公开(公告)日：2005-11-02

申请号：CN200510052635.7

申请日：2005-03-07

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 山本正昭 ,  小堀由高

IPC: G01N21/956 ,  H05K3/00

Abstract: 本发明涉及一种光学式外观检查方法以及光学式外观检查装置，是将薄膜掩膜(1)承载在承载台(2)上，从以追随摄像部(3)的形式而安装着的空气喷出部件(6)通过喷嘴(7)向摄像部(3)的扫描位置的附近喷出空气。利用向扫描位置的附近喷出的空气，在使薄膜掩膜(1)上的扫描位置周边与承载台(2)紧密接触的同时，由摄像部(3)对薄膜掩膜(1)进行扫描，对薄膜掩膜(1)的检查区域进行摄像。这样，能够使用便宜的装置对薄膜掩膜等的柔性的薄板基板进行正确的检查。