公开(公告)号：CN115274457A

公开(公告)日：2022-11-01

申请号：CN202210917408.X

申请日：2022-08-01

Applicant: 复旦大学

Inventor： 陈琳 ,  钱柏帆 ,  王天宇 ,  孟佳琳 ,  孙清清 ,  张卫

IPC: H01L21/34 ,  H01L21/02 ,  H01L29/06 ,  H01L29/10 ,  H01L29/786 ,  C23C16/40 ,  C23C16/52 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明公开一种阈值电压可调的超薄氧化铟锡薄膜晶体管的制备方法，包括以下步骤：在具有二氧化硅层的硅衬底上形成源极和漏极；在上述结构上，采用原子层沉积依次生长超薄氧化铟锡薄膜和高K介质层；在所述高K介质层上形成金属栅；采用金属栅自对准工艺刻蚀高k介质层和超薄氧化铟锡薄膜，将除沟道区域以外的高K介质层和超薄氧化铟锡薄膜去除；进行快速热退火处理，通过在纳米级别精准调控沟道层超薄氧化铟锡薄膜的厚度，从而直接调控晶体管的阈值电压。

公开(公告)号：CN111060414B

公开(公告)日：2022-05-20

申请号：CN201911400928.8

申请日：2019-12-30

Applicant: 复旦大学

Inventor： 钟高余 ,  韦志毅 ,  叶飞 ,  钱柏帆 ,  闫伟青 ,  田益明

IPC: G01N3/42 ,  G01N3/08

Abstract: 本发明属于材料特性测量技术领域，具体为一种有机材料的韧性、强度和弹性的测算方法。本发明方法包括：利用纳米压痕仪对有机材料进行单次加载‑卸载测试，测试所用的载荷大小和应变必须在合适的范围内，得到该有机材料的单次载荷曲线；利用纳米压痕卸载曲线拟合公式，对卸载曲线进行最优化的数据拟合，计算得到三个拟合参数；利用这三个参数代入韧性、强度、和弹性参数的计算公式，即得到材料的韧性、强度、和伸缩性等力学特性参数。本发明方法适用于测试比较疏松的有机材料的力学参数，尤其适用于测试具有范德华力（分子力）相互作用的材料的力学参数。可以建立一种使用方便、测量准确、应用范围广泛的材料力学标准化测试方法和测试工具。

公开(公告)号：CN111060414A

公开(公告)日：2020-04-24

申请号：CN201911400928.8

申请日：2019-12-30

Applicant: 复旦大学

Inventor： 钟高余 ,  韦志毅 ,  叶飞 ,  钱柏帆 ,  闫伟青 ,  田益明

IPC: G01N3/42 ,  G01N3/08

Abstract: 本发明属于材料特性测量技术领域，具体为一种有机材料的韧性、强度和弹性的测算方法。本发明方法包括：利用纳米压痕仪对有机材料进行单次加载-卸载测试，测试所用的载荷大小和应变必须在合适的范围内，得到该有机材料的单次载荷曲线；利用纳米压痕卸载曲线拟合公式，对卸载曲线进行最优化的数据拟合，计算得到三个拟合参数；利用这三个参数代入韧性、强度、和弹性参数的计算公式，即得到材料的韧性、强度、和伸缩性等力学特性参数。本发明方法适用于测试比较疏松的有机材料的力学参数，尤其适用于测试具有范德华力（分子力）相互作用的材料的力学参数。可以建立一种使用方便、测量准确、应用范围广泛的材料力学标准化测试方法和测试工具。