公开(公告)号：CN111244031A

公开(公告)日：2020-06-05

申请号：CN202010068353.0

申请日：2020-01-21

Applicant: 复旦大学

Inventor： 屈新萍 ,  李冬雪 ,  熊诗圣

IPC: H01L21/768 ,  H01L21/3205 ,  H01L23/532 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明公开了一种小尺寸硅化物纳米线的制备方法及小尺寸硅化物纳米线，该方法包含：步骤1，在衬底上涂覆嵌段共聚物，经第一次退火处理，制备原始图案；步骤2，采用金属盐溶液浸泡，使金属盐被吸附至极性嵌段上；步骤3，通入氧等离子体将金属盐还原成金属，并除去有机物，使金属原位沉积形成硬掩膜；步骤4，通入CHF3及SF6的等离子体混合物，进行等离子体刻蚀，完成图形转移；步骤5，根据硅纳米线高度与金属材料化学计量比决定是否需要金属淀积以及金属淀积的厚度；步骤6，进行第二次退火处理，形成小尺寸硅化物纳米线。本发明提供的方法简单可行、成本低廉，制备的小尺寸硅化物纳米线，线宽尺寸不大于10nm，且密度高，应用场景良好。

公开(公告)号：CN118688276A

公开(公告)日：2024-09-24

申请号：CN202310285409.1

申请日：2023-03-22

Applicant: 复旦大学 ,  上海体育学院

Inventor： 徐业鑫 ,  陈国平 ,  张祎梣 ,  熊诗圣 ,  邓晓军 ,  吴嵽

IPC: G01N27/327 ,  G01N27/48

Abstract: 本发明提供了一种检测促红细胞生成素(EPO)的电化学生物传感器、其制备方法、传感检测系统及其应用。本发明的检测促红细胞生成素的电化学生物传感器以激光诱导石墨烯为工作电极，工作电极表面通过壳聚糖溶胶‑凝胶固定有促红细胞生成素受体作为分子识别元件。以该电化学生物传感器作为工作电极、以铂电极为对电极、饱和甘汞电极或银/氯化银为参比电极、含有20mmol/LK3[Fe(CN)6]和20mmol/LK4[Fe(CN)6]的磷酸缓冲溶液为电解液，组建传感检测系统，可以检测促红细胞生成素，其线性范围为5ng/L～5μg/L,检测下限为50pg/L，适用于临床和运动员兴奋剂检测中对EPO的检测。

公开(公告)号：CN116008357A

公开(公告)日：2023-04-25

申请号：CN202211718364.4

申请日：2022-12-29

Applicant: 复旦大学

Inventor： 万景 ,  唐诗航 ,  熊诗圣

IPC: G01N27/12 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C23C14/16 ,  C23C14/04

Abstract: 本发明属于半导体器件技术领域，具体为一种基于分子自组装的高灵敏度气体传感器及其制备方法。本发明气体传感器制备采用分子自组装技术，包括：准备具有重掺杂的硅衬底层，轻掺杂的外延硅层，再一层重掺杂层；沉积金属层，在金属层表面进行分子自组装工艺，旋涂嵌段共聚物PS/PMMA；经过高温退火，诱导形成纳米孔状结构；刻蚀除去PMMA得到PS纳米结构；转移纳米孔状结构至金属电极层；经刻蚀得到纳米孔结构；除去PS残胶；硅衬底下沉积金属作为导电的阴极金属电极接触。本发明工艺简单、成本较低、操作可控；制备的气体传感器具有规整的高密度栅极沟道，具备更高的气体吸附力，大大提高传感器灵敏度，可用于更小尺寸和更高精密度要求的场合。

公开(公告)号：CN114587371A

公开(公告)日：2022-06-07

申请号：CN202210188126.0

申请日：2022-02-28

Applicant: 复旦大学

Inventor： 亓婧 ,  熊诗圣

IPC: A61B5/293 ,  A61B5/37 ,  A61B5/372 ,  A61B5/377 ,  A61B5/00 ,  A61N5/06 ,  G06F3/01

Abstract: 本发明属于脑机接口技术领域，具体为一种可长期植入的微型无线光遗传刺激脑机接口系统。本发明系统由微型无线光遗传芯片、外部控制系统以及外部显示系统组成；系统可以实现体内光遗传刺激脑机接口系统的长期植入、脑电信息的在线采集和分析、光遗传刺激信号的无线实时刺激与参数调节、光遗传刺激结果的分析，其中光刺激的无线实时刺激与参数调节是基于采集到的脑电信号的分析结果。系统外部控制系统集成的MCU与FPGA模块使其拥有更好的数据处理速度并进行复杂的脑电信号处理工作，可以实时控制光遗传刺激的相关参数；显示系统可以存储并显示脑电信号、光刺激控制参数、系统电量，实现对于脑电活动的进一步研究，并观察光刺激的神经调控效果。

公开(公告)号：CN110600498A

公开(公告)日：2019-12-20

申请号：CN201910771619.5

申请日：2019-08-21

Applicant: 复旦大学

Inventor： 熊诗圣 ,  姜琴 ,  李冬雪 ,  杨晓敏

IPC: H01L27/24

Abstract: 本发明属于半导体器件制备技术领域，具体为一种忆阻器十字交叉阵列的制备方法。本发明采用10nm及以下节点的导向自组装光刻技术在衬底上制备忆阻器交叉电极并以此定义氧化物功能层的特征尺寸，其中嵌段共聚物是由化学性质不同的两种及两种以上的单体聚合而成；使用热退火或者溶剂蒸汽退火法达到热平衡态，形成纳米层状结构；使用原子层沉积技术选择性地将金属氧化物渗透到极性嵌段中去，以产生一个硬掩模，增加刻蚀对比度；然后通过干法刻蚀转移到衬底的顶层硅；再采用串联自组装工艺来实现两层光栅结构的垂直交叉，接着制备忆阻器十字交叉结构中的顶部和底部电极阵列，再通过溶脱工艺，制作出迄今为止最大规模的器件阵列。

公开(公告)号：CN114521500A

公开(公告)日：2022-05-24

申请号：CN202210179191.7

申请日：2022-02-25

Applicant: 复旦大学

Inventor： 李叶荣 ,  熊诗圣

IPC: A01K1/03 ,  A01K1/035 ,  A01K1/01

Abstract: 本发明属于动物实验设备技术领域，具体为一种用于多视角拍摄的猴笼。本发明设计的猴笼包括：框架由不锈钢管焊接成型框架，框架的正面、左面和顶面均为透明钢化玻璃；笼体右侧为由栅栏组成的笼门；笼体的下侧设置有不锈钢网格，用于过滤粪便，网格下方设置有可移动不锈钢粪便盒；猴笼背面内部及粪便盒内部均喷绘白漆；不锈钢网格面上设有两根并排栏杆，便于猴子攀爬和站立等行为；猴笼框架顶部设置有不锈钢长杆，便于猴子站立抓取等行为；门门中部设置有滑动小推拉门，关闭时可自动锁住，滑动小推拉门的开口端内部设有放置饵料的料盒。本发明设计的猴笼便于从正面、侧面和顶面无栏杆遮挡地多角度拍摄动物视频，而不对动物造成侵扰和伤害。

公开(公告)号：CN110556297A

公开(公告)日：2019-12-10

申请号：CN201910712619.8

申请日：2019-08-02

Applicant: 复旦大学

Inventor： 熊诗圣 ,  姜琴 ,  李冬雪

IPC: H01L21/336

Abstract: 本发明属于集成电路制造技术领域，具体为一种10纳米以下硅基鳍式场效应晶体管的制备方法。本发明采用嵌段共聚物导向自组装材料在衬底上制备硅基鳍式场效应晶体管，该硅基鳍式场效应晶体管阵列临界尺寸为10nm以下；衬底为绝缘层上硅(SOI)，嵌段共聚物导向自组装材料为具有两种或两种以上不同单体聚合的嵌段共聚物，嵌段共聚物满足χN≥10，N为嵌段共聚物的总聚合度，χ为各嵌段之间的弗洛里-哈金斯相互作用参数；本发明通过嵌段共聚物的导向自组装技术先形成原始图案，然后通过刻蚀转移到衬底的顶层硅，通过这种光刻技术得到的器件最小临界尺寸可以达到8 nm，并表现出高的跨导,极低的关电流和高的开关比。

公开(公告)号：CN217826278U

公开(公告)日：2022-11-18

申请号：CN202220393754.8

申请日：2022-02-25

Applicant: 复旦大学

Inventor： 李叶荣 ,  熊诗圣

IPC: A01K1/03 ,  A01K1/035 ,  A01K1/01

Abstract: 本实用新型属于动物实验设备技术领域，具体为一种用于多视角拍摄的猴笼。本实用新型设计的猴笼包括：由不锈钢管焊接成型的框架，框架的正面、左面和顶面均为透明钢化玻璃；笼体右侧为由栅栏组成的笼门；笼体的下侧设置有不锈钢网格，用于过滤粪便，网格下方设置有可移动不锈钢粪便盒；猴笼背面内部及粪便盒内部均喷绘白漆；不锈钢网格面上设有两根并排栏杆，便于猴子攀爬和站立等行为；猴笼框架顶部设置有不锈钢长杆，便于猴子站立抓取等行为；门门中部设置有滑动小推拉门，关闭时可自动锁住，滑动小推拉门的开口端内部设有放置饵料的料盒。本实用新型猴笼便于从正面、侧面和顶面无栏杆遮挡地多角度拍摄动物视频，而不对动物造成侵扰和伤害。