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发明公开
一种基于分子自组装的高灵敏度气体传感器及其制备方法审中-实审

公开(公告)号：CN116008357A

公开(公告)日：2023-04-25

申请号：CN202211718364.4

申请日：2022-12-29

Applicant: 复旦大学

Inventor： 万景 , 唐诗航 , 熊诗圣

IPC: G01N27/12 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C23C14/16 , C23C14/04

Abstract: 本发明属于半导体器件技术领域，具体为一种基于分子自组装的高灵敏度气体传感器及其制备方法。本发明气体传感器制备采用分子自组装技术，包括：准备具有重掺杂的硅衬底层，轻掺杂的外延硅层，再一层重掺杂层；沉积金属层，在金属层表面进行分子自组装工艺，旋涂嵌段共聚物PS/PMMA；经过高温退火，诱导形成纳米孔状结构；刻蚀除去PMMA得到PS纳米结构；转移纳米孔状结构至金属电极层；经刻蚀得到纳米孔结构；除去PS残胶；硅衬底下沉积金属作为导电的阴极金属电极接触。本发明工艺简单、成本较低、操作可控；制备的气体传感器具有规整的高密度栅极沟道，具备更高的气体吸附力，大大提高传感器灵敏度，可用于更小尺寸和更高精密度要求的场合。

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