公开(公告)号：CN118073215A

公开(公告)日：2024-05-24

申请号：CN202410027344.5

申请日：2024-01-09

Applicant: 复旦大学宁波研究院

Inventor： 马宏平 ,  曾禹瑄

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/67 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明属于半导体制造技术领域，具体为一种原位退火多功能测试系统。本发明系统包括石英管式炉、可动样品平台组件、光源、电子束发射枪、电子探测组件、退火气氛源组件、电子信号探测组件、真空泵和数据处理组件；管式炉外侧设置有加热套；管式炉腔体内设置有样品平台，用于放置待表征的样品和用于空白对照单质铂片；管式炉设置光入射口和电子束入射口以及电子探测的出射口，正对样平台上待测样品；退火气氛源组件提供退火气氛；真空泵对管式炉腔体抽真空，数据处理组件收集电子探测组件信号用于数据处理；本发明可在退火过程中实现原位监测，在样品退火的不同时间点对样品进行非破坏性观测和实验，保证样品退火时原位表征的可靠性。

公开(公告)号：CN116043197A

公开(公告)日：2023-05-02

申请号：CN202310074024.0

申请日：2023-02-07

Applicant: 复旦大学

Inventor： 马宏平 ,  曾禹瑄

IPC: C23C16/52 ,  C23C16/458 ,  C23C16/50 ,  G01N23/2251 ,  G01N23/227

Abstract: 本发明提供了一种气相沉积材料生长原位多功能表征系统，包括：气相沉积生长室腔体，待表征的样品位于腔体内部的样品平台上，腔体的壁上设置有数对入射口和出射口；平台联动控制系统，与样品平台相连接，设置在样品平台下方，用于控制样品平台的旋转和水平方向的微移；光源，设置在腔体外部，位置与入射口的位置对应；电子束发射枪，与气相沉积生长室腔体内部相连接，附带有程序控制开关的窗口将其和腔体的内环境隔开，窗口位于腔体的壁上；反应气氛源组件，设置在腔体外部并与腔体内部相连通，用于向腔体中输入反应气体；电子信号探测组件，通过出射口与腔体内部相连接；数据处理组件，与电子信号探测组件连接，用于数据记录与处理。