公开(公告)号：CN1964594A

公开(公告)日：2007-05-16

申请号：CN200610118104.8

申请日：2006-11-09

Applicant: 复旦大学

Inventor： 许宁 ,  杜元成 ,  应质峰 ,  李富铭

IPC: H05H3/02 ,  H01J37/00

Abstract: 本发明属薄膜材料制备技术领域，具体为一种用于薄膜材料合成的直流放电原子束源。它由阴极、阳极、阴极基座、阳极法兰、阴极法兰、圆柱形石英玻璃筒和电磁铁组成。阴极法兰和阳极法兰固定于石英玻璃筒上下两端，阴极安插于阴极基座下端，阴极基座贯穿阴极法兰中轴，上下可调。阳极为中空，尖端为原子束引出孔，阳极设于阳极法兰的下沉洞孔中。阴极与阳极间距为0.5－1.5厘米可调。本原子束源放电稳定性好，可产生多种气体的原子束；原子束强度大，弧光放电可达1018－21，辉光放电可达1015－18。而且使用寿命长。可用于薄膜制备，材料表面的氮化、氧化处理，也可以用于原子分子物理研究。

公开(公告)号：CN101780946A

公开(公告)日：2010-07-21

申请号：CN200910045496.3

申请日：2009-01-16

Applicant: 复旦大学

Inventor： 许宁 ,  赖菊水 ,  沈轶群 ,  吴嘉达 ,  应质峰

IPC: B82B3/00 ,  H01L21/203

Abstract: 本发明属薄膜制备技术领域，具体涉及一种ZnSe纳米线薄膜的脉冲激光烧蚀沉积制备方法。本发明利用高功率的脉冲激光烧蚀固体硒化锌(ZnSe)材料，在极短时间内使硒化锌材料表面迅速烧蚀蒸发并形成羽状等离子体。等离子体中包括锌(Zn)和硒(Se)的原子以及离子。硒化锌等离子体具有很高的温度及动能，这使得硒化锌纳米线可以在较低的衬底温度下生长。合成的薄膜有均匀的硒化锌纳米线组成，纳米线的平均大小约为20-30纳米，长度约为500纳米。

公开(公告)号：CN201039578Y

公开(公告)日：2008-03-19

申请号：CN200620048966.3

申请日：2006-12-14

Applicant: 复旦大学

Inventor： 许宁 ,  杜元成 ,  应质峰 ,  李富铭

IPC: H05H3/02

Abstract: 本实用新型属薄膜材料制备技术领域，具体为一种用于薄膜材料合成的直流放电原子束源。它由阴极、阳极、阴极基座、阳极法兰、阴极法兰、圆柱形石英玻璃筒和电磁铁组成。阴极法兰和阳极法兰固定于石英玻璃筒上下两端，阴极安插于阴极基座下端，阴极基座贯穿阴极法兰中轴，上下可调。阳极为中空，尖端为原子束引出孔，阳极设于阳极法兰的下沉洞孔中。阴极与阳极间距为0.5－1.5厘米可调。本原子束源放电稳定性好，可产生多种气体的原子束；原子束强度大，弧光放电可达1018－21，辉光放电可达1015－18。而且使用寿命长。可用于薄膜制备，材料表面的氮化、氧化处理，也可以用于原子分子物理研究。