公开(公告)号：CN119513564A

公开(公告)日：2025-02-25

申请号：CN202411229836.9

申请日：2024-09-03

Applicant: 复旦大学

Inventor： 于健博 ,  黄键 ,  阮航

IPC: G06F18/213 ,  G06F18/214 ,  G06F18/22 ,  G06F18/25 ,  G06N3/0455 ,  G06N3/0464 ,  G06N3/08

Abstract: 本发明公开了一种安全水处理过程中异常运行状态的过程监测方法；本发明首先从时间的维度采用顺序划分的方法对原始数据进行分割，进行块内部的标准化；然后采用多尺度的特征提取网络从空间的维度，并加入网络功能独立性和信息多样性约束，提取限制性多尺度时空特征。进而建立深度平稳子空间网络，通过对网络输出特征施加差异性约束实现平稳和非平稳特征的解耦。最后，利用非平稳特征构建过程状态变化统计量，利用反映过程平衡状态的平稳特征进行数据重构，构建残差空间的统计量，完成非平稳过程的过程监测；本发明可以有效的识别出影响过程安全的非平稳故障和由于过程机理异常所导致的平稳故障，具有较高的实际应用价值和有效性。

公开(公告)号：CN119249313A

公开(公告)日：2025-01-03

申请号：CN202411229885.2

申请日：2024-09-03

Applicant: 复旦大学

Inventor： 于健博 ,  阮航 ,  黄键

IPC: G06F18/2433 ,  G06F18/15 ,  G06F18/213 ,  G06F18/25 ,  G06F18/214 ,  G06F18/21 ,  G06N3/045 ,  G06N3/0985 ,  G06N3/048

Abstract: 本发明公开了一种基于故障特征优化的度量网络少样本故障诊断方法。该方法首先获取不同故障类型的机器状态传感器数据，并对训练样本进行归一化处理，标准化各个维度变量的尺度。然后，构建和训练包括全局分支关系网络和局部分支关系网络的双分支度量网络，全局、局部分支关系网络分别从全局宏观、局部微观角度提取半导体铝堆叠刻蚀工艺过程变量的故障特征信息；最后将实际数据经过预处理后作为测试数据，输入到已经训练好的全局分支网络，输出诊断结果；本发明能够提升在少样本条件下半导体铝堆叠刻蚀过程故障诊断的有效性、鲁棒性和准确性，有助于保障金属刻蚀工艺的稳定运行和延长工艺中器件的使用寿命。

公开(公告)号：CN118464351A

公开(公告)日：2024-08-09

申请号：CN202410607191.1

申请日：2024-05-16

Applicant: 复旦大学

Inventor： 孙煜 ,  程文宝 ,  俞开程 ,  于健博 ,  康华洲

IPC: G01M7/02

Abstract: 本发明公开了一种基于限定带宽白噪声激励的高质量频响函数实验获取方法。该方法利用傅里叶逆变换原理，生成限定带宽的白噪声信号，使产生的限定带宽白噪声信号功率谱稳定，能量集中，在实验中可以根据传感器和激励装置调节信号强度，从而获取实验对象在指定频带内的高相干性频率响应函数或传递函数，再结合不同频率段的频率响应函数或传递函数拼接技术，建立全频带、高质量的实验模型或传递函数曲线。本方法的优势在于能够获取高质量的实验数据，准确测量低频、零点、相邻峰值等难以精确获取的实验频响函数或传递函数，为高质量实验建模、传递函数测试提供一种新的有效方法。

公开(公告)号：CN119223562A

公开(公告)日：2024-12-31

申请号：CN202411379190.2

申请日：2024-09-30

Applicant: 复旦大学

Inventor： 孙煜 ,  俞开程 ,  于健博 ,  康华洲

IPC: G01M7/02 ,  G01M13/00

Abstract: 本发明属于隔振测试技术领域，具体为一种自主激励的主动隔振器的振动传递率测试方法；该方法包括激励信号的产生与输入，振动信号采集，信号相干性分析与振动传递率计算。由于超精密设备对环境振动较为敏感，其在使用时通常需要采用主动隔振器，对地面振动等低频振动进行隔振。为了评估主动隔振器的隔振性能，需要针对主动隔振器的振动传递率进行测试分析。本发明采用的测试方法采用主动隔振器本身的作动器与传感器，无需额外的激励装置与测试传感器。本发明提出的方法实现简便，耗时短，测试效果好，能够解决测试主动隔振器的振动传递率的技术问题。

公开(公告)号：CN118017974A

公开(公告)日：2024-05-10

申请号：CN202410131687.6

申请日：2024-01-31

Applicant: 复旦大学

Inventor： 孙煜 ,  杨晓峰 ,  俞开程 ,  于健博 ,  程文宝

IPC: H03H17/02

Abstract: 本发明属于精密运动台减振技术领域，具体为一种针对运动台柔性模态的陷波滤波器自动设计方法；本发明方法包括柔性模态谐振峰识别，陷波滤波器的参数计算，根据滤波效果迭代设计。由于运动台存在柔性模态，在高频部分柔性模态谐振产生多个谐振峰，因而提出一种陷波滤波器自动设计方法，在频域内对谐振峰进行定位和辨识，针对性添加陷波滤波器，并根据目标函数进行多轮迭代设计，从而实现谐振峰的精准去除。本发明从频域的角度分析设计，思路清晰，实现方便，具有通用性和普适性。