公开(公告)号：CN119249313A

公开(公告)日：2025-01-03

申请号：CN202411229885.2

申请日：2024-09-03

Applicant: 复旦大学

Inventor： 于健博 ,  阮航 ,  黄键

IPC: G06F18/2433 ,  G06F18/15 ,  G06F18/213 ,  G06F18/25 ,  G06F18/214 ,  G06F18/21 ,  G06N3/045 ,  G06N3/0985 ,  G06N3/048

Abstract: 本发明公开了一种基于故障特征优化的度量网络少样本故障诊断方法。该方法首先获取不同故障类型的机器状态传感器数据，并对训练样本进行归一化处理，标准化各个维度变量的尺度。然后，构建和训练包括全局分支关系网络和局部分支关系网络的双分支度量网络，全局、局部分支关系网络分别从全局宏观、局部微观角度提取半导体铝堆叠刻蚀工艺过程变量的故障特征信息；最后将实际数据经过预处理后作为测试数据，输入到已经训练好的全局分支网络，输出诊断结果；本发明能够提升在少样本条件下半导体铝堆叠刻蚀过程故障诊断的有效性、鲁棒性和准确性，有助于保障金属刻蚀工艺的稳定运行和延长工艺中器件的使用寿命。

公开(公告)号：CN119513564A

公开(公告)日：2025-02-25

申请号：CN202411229836.9

申请日：2024-09-03

Applicant: 复旦大学

Inventor： 于健博 ,  黄键 ,  阮航

IPC: G06F18/213 ,  G06F18/214 ,  G06F18/22 ,  G06F18/25 ,  G06N3/0455 ,  G06N3/0464 ,  G06N3/08

Abstract: 本发明公开了一种安全水处理过程中异常运行状态的过程监测方法；本发明首先从时间的维度采用顺序划分的方法对原始数据进行分割，进行块内部的标准化；然后采用多尺度的特征提取网络从空间的维度，并加入网络功能独立性和信息多样性约束，提取限制性多尺度时空特征。进而建立深度平稳子空间网络，通过对网络输出特征施加差异性约束实现平稳和非平稳特征的解耦。最后，利用非平稳特征构建过程状态变化统计量，利用反映过程平衡状态的平稳特征进行数据重构，构建残差空间的统计量，完成非平稳过程的过程监测；本发明可以有效的识别出影响过程安全的非平稳故障和由于过程机理异常所导致的平稳故障，具有较高的实际应用价值和有效性。