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公开(公告)号:CN102428563A
公开(公告)日:2012-04-25
申请号:CN200980159306.9
申请日:2009-05-22
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: H01L29/00
CPC classification number: H01L23/5256 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 一种用于集成电路装置的熔丝结构,包括延长的金属互连层(106),限定在绝缘层中;金属盖层(108),仅形成在该金属互连层的上表面的一部分上;以及电介质盖层(112),形成在金属盖层(108)和该金属互连层上没有形成该金属盖层(108)的剩余部分上;其中,该金属互连层上没有形成该金属盖层(108)的剩余部分对电迁移失效机制敏感,从而便于通过经该延长的金属互连层(106)施加电流而对该熔丝结构进行编程。
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公开(公告)号:CN102428563B
公开(公告)日:2014-06-11
申请号:CN200980159306.9
申请日:2009-05-22
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: H01L29/00
CPC classification number: H01L23/5256 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 一种用于集成电路装置的熔丝结构,包括延长的金属互连层(106),限定在绝缘层中;金属盖层(108),仅形成在该金属互连层的上表面的一部分上;以及电介质盖层(112),形成在金属盖层(108)和该金属互连层上没有形成该金属盖层(108)的剩余部分上;其中,该金属互连层上没有形成该金属盖层(108)的剩余部分对电迁移失效机制敏感,从而便于通过经该延长的金属互连层(106)施加电流而对该熔丝结构进行编程。
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