公开(公告)号：CN103518253A

公开(公告)日：2014-01-15

申请号：CN201280022045.8

申请日：2012-01-16

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： A.卡基菲鲁兹 ,  程慷果 ,  B.B.多丽丝 ,  W.E.亨施 ,  B.S.哈伦 ,  P.库尔卡尼

IPC: H01L21/28 ,  H01L21/336 ,  H01L29/78

CPC classification number: H01L27/0207 ,  H01L21/28518 ,  H01L21/76802 ,  H01L21/76895 ,  H01L21/76897 ,  H01L21/823425 ,  H01L21/823437 ,  H01L21/823475 ,  H01L27/1104 ,  H01L29/41783 ,  H01L29/66545 ,  H01L29/6659 ,  H01L29/7834

Abstract: 采用公用的切割掩模限定栅极图案和局部互连图案，使局部互连结构和栅极结构彼此以零覆盖变体形成。局部互连结构可在第一水平方向上与栅极结构横向分隔，并且在与第一水平方向不同的第二水平方向上接触另一个栅极结构。此外，栅极结构可形成为与邻接该栅极结构的局部互连结构共线。局部互连结构和栅极结构通过公用的镶嵌工艺步骤形成，使栅极结构和局部互连结构的顶表面彼此共面。

公开(公告)号：CN103518253B

公开(公告)日：2016-01-06

申请号：CN201280022045.8

申请日：2012-01-16

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： A.卡基菲鲁兹 ,  程慷果 ,  B.B.多丽丝 ,  W.E.亨施 ,  B.S.哈伦 ,  P.库尔卡尼

IPC: H01L21/28 ,  H01L21/336 ,  H01L29/78

CPC classification number: H01L27/0207 ,  H01L21/28518 ,  H01L21/76802 ,  H01L21/76895 ,  H01L21/76897 ,  H01L21/823425 ,  H01L21/823437 ,  H01L21/823475 ,  H01L27/1104 ,  H01L29/41783 ,  H01L29/66545 ,  H01L29/6659 ,  H01L29/7834

Abstract: 采用公用的切割掩模限定栅极图案和局部互连图案，使局部互连结构和栅极结构彼此以零覆盖变体形成。局部互连结构可在第一水平方向上与栅极结构横向分隔，并且在与第一水平方向不同的第二水平方向上接触另一个栅极结构。此外，栅极结构可形成为与邻接该栅极结构的局部互连结构共线。局部互连结构和栅极结构通过公用的镶嵌工艺步骤形成，使栅极结构和局部互连结构的顶表面彼此共面。