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公开(公告)号：CN117309203A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202311266078.3
申请日：2023-09-28
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)
Abstract: 本发明涉及一种仿神经突触的柔性压力传感器及其制备方法，该传感器包括上柔性基底、上电极、上敏感层、下敏感层、下电极、下柔性基底；上敏感层由仿神经元轴突末端的半球状凸起微结构及其表面的三维多孔石墨烯导电层组成；下敏感层由仿神经元树突末端的圆柱凹陷结构及其表面的次级粗糙微结构组成。圆柱凹陷结构作为底部支撑，与凸起微结构一一对应，形成仿神经元突触多尺度敏感微结构；上电极位于上柔性基底表面，下电极位于下柔性基底表面。分别采用激光诱导、激光烧蚀加工三维多孔石墨烯、圆柱凹陷结构及其次级粗糙表面。本发明的柔性压力传感器具有灵敏度高、线性测量范围大、响应时间短、制备工艺简单、成本低等特点。
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公开(公告)号：CN119615313A
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN202411927621.4
申请日：2024-12-25
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)
Abstract: 本发明公开了一种多级蜂窝状与纳米针锥复合超疏水结构及其制备方法，复合超疏水结构包括在金属基底表面加工出的蜂窝状微米结构，蜂窝状微米结构包括多个呈阵列分布的结构单元，每个结构单元内部均分布有多个垂直于金属基材纵向生长并紧密排列的纳米针锥，能够在提升结构表面疏水性的同时，提升超疏水结构的强度、稳定性和耐久性。本方法通过纳秒激光在金属基底表面进行“自上而下”地激光烧蚀，加工出蜂窝状微米结构，并利用电化学沉积技术，在结构单元内部形成多个纳米针锥，得到复合超疏水结构。本方法无需昂贵的设备，加工效率高，成本低廉，可控性好，从而为高耐久性超疏水表面的牢固制备及耐久防腐蚀提供了高效低成本加工方法。
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公开(公告)号：CN117381039A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202311266200.7
申请日：2023-09-28
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)
Abstract: 本发明公开了一种错齿球头微铣刀及其制备方法，所述球头微铣刀主要由刀柄、刀杆和刀头组成，所述刀头为球形，刀头设有数条中心对称排布的主切削刃，每条主切削刃被若干道旋向相反的分屑槽分割形成错齿结构。其刀刃微齿交错重叠排列，无间断性空切区，提高了加工表面质量；并减少刀刃与工件表面的接触面积，促进排屑断屑，降低切削力、热；且每条切削刃切削量均不同，克服了薄壁件微槽道加工过程中的颤振变形问题。制备时，对刀头部分进行开槽、精密刃磨加工，加工出螺旋槽、主切削刃，然后对主切削刃进行开槽加工，加工出旋向相反的额分屑槽，形成具有错齿结构的球头微铣刀。
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公开(公告)号：CN113148940A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN202110055749.6
申请日：2021-01-15
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
Abstract: 本发明提供了具有梳齿状折流凸起结构的微通道散热器，包括微通道基体，所述微通道基体包括若干平行间隔阵列排布的微槽道，所述微槽道沿着高度方向的横截面为倒梯形，并且所述微槽道的两侧壁面周期性交错排布若干梳齿状折流凸起结构，可显著增大换热面积、破坏流体正常流动、增强扰流，实现强化换热。制备时，先加工出具有反向类梳状结构的压印模芯；将模芯与基板对准、定位，通过热压印得到具有类梳状折流凸起结构的微通道基体；最后将其进行密封封装得到上述微通道散热器。本发明解决了阵列大面积异形微通道一次加工成形的难题，具有过程简单，成本低、效率高的优点。
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公开(公告)号：CN115175527B
公开(公告)日：2024-12-20
申请号：CN202210837979.2
申请日：2022-07-16
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
IPC: H05K7/20
Abstract: 本发明涉及集成电子器件散热技术领域，更具体的说是一种陶瓷基均热板及其制造方法。该均热板包括陶瓷蒸发端，金属冷凝端与充液管。蒸发端上分布有微柱，并用槽道结构将其在圆周方向均匀分隔开，冷凝端上有相比微柱尺寸和间距更大的微柱通道。制造时，蒸发端陶瓷材料上的吸液芯结构可通过激光烧蚀的方法进行加工，冷凝端吸液芯结构可通过微铣削方法加工得到，最后将蒸发端，冷凝端，充液管一同密封，再经过抽真空，灌注，封口等工序，可加工出该均热板。所述均热板蒸发端具有梯度微柱结构，可提供良好毛细力驱使工质快速回流。所述蒸发端允许芯片直接布置于其上，省去了中间的绝缘层。故该均热板拥有更小的热阻，可以解决大功率下的散热难题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113148940B
公开(公告)日：2023-06-16
申请号：CN202110055749.6
申请日：2021-01-15
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
Abstract: 本发明提供了具有梳齿状折流凸起结构的微通道散热器，包括微通道基体，所述微通道基体包括若干平行间隔阵列排布的微槽道，所述微槽道沿着高度方向的横截面为倒梯形，并且所述微槽道的两侧壁面周期性交错排布若干梳齿状折流凸起结构，可显著增大换热面积、破坏流体正常流动、增强扰流，实现强化换热。制备时，先加工出具有反向类梳状结构的压印模芯；将模芯与基板对准、定位，通过热压印得到具有类梳状折流凸起结构的微通道基体；最后将其进行密封封装得到上述微通道散热器。本发明解决了阵列大面积异形微通道一次加工成形的难题，具有过程简单，成本低、效率高的优点。
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公开(公告)号：CN115138742A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210877888.1
申请日：2022-07-25
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
Abstract: 本发明公开了一种激光冲击微成形增压及尺寸拓宽装置及方法，涉及激光加工微成形领域。该装置包括激光加载系统、增压及尺寸拓宽装置、对中系统、控制系统、成形系统；该方法利用激光加载系统辐射吸收层产生冲击波压力，经液体介质的传递，推动上下端直径不同的增压橡胶冲头运动从而增加液体压力，实现对具有复杂微细特征、难成形材料零件的高效低成本加工成形。该方法可以成形出尺寸为激光最小光斑直径以下的微细结构，拓宽了成形件的尺寸范围，降低了对激光器光斑精度的要求。多层锥形高压液室设计既可以避免液室破裂，又保证了增压装置的增压比可变。
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公开(公告)号：CN115014596A
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202210837978.8
申请日：2022-07-16
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
Abstract: 本发明涉柔性触觉传感器领域，更具体的说是一种压阻式柔性触觉传感器及其制作方法。其中，压阻式柔性触觉传感器包括包覆膜、接触球、环形公共电极、压阻环、4个外电极和基底；压阻环内外表面具有网格状的微结构；环形公共电极与外电极通过压阻环构成导电回路；通过压阻环受压导电通路变多电阻减小，同时电极与压阻环的接触面积增大电阻减小来测量三维力与拉伸变形。所述制作方法如下，先通过增材制造工艺制造包覆膜、接触部和基底的模具；再进行固化成型，并溅射金属薄膜制备电极；然后制备压阻环，获得所述柔性触觉传感器。本发明制造工艺简单，能够进一步提高传感器的灵敏度，且可以测量三维力的大小方向与拉伸的变形量及方向，解耦简单。
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公开(公告)号：CN115164617B
公开(公告)日：2025-05-20
申请号：CN202210805094.4
申请日：2022-07-08
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
Abstract: 本发明公开了一种具有粗糙纹理结构的多尺度内陷微通道换热器及其制造方法，该微通道换热器包括上下贴合在一起的盖板和金属微通道基板，所述金属微通道基板上开设若干内陷微通道，微通道壁面设置有粗糙纹理结构，加强扰动，破坏边界层，并增加表面粗糙度和换热面积，为气泡成核提供充足的汽化核心，从而显著增强微通道换热器传热性能。制备时，先通过多刃微齿平底微铣刀在金属微通道基板上加工出多个矩形狭缝，再利用多刃微齿球头微铣刀沿矩形狭缝中心线加工出凹陷腔体，同时在微通道壁面生成粗糙纹理结构。本发明制造工艺简单、加工成本低廉，可实现多尺度微通道内强化传热结构的高效率、低成本制备成形。
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公开(公告)号：CN115138742B
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202210877888.1
申请日：2022-07-25
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
Abstract: 本发明公开了一种激光冲击微成形增压及尺寸拓宽装置及方法，涉及激光加工微成形领域。该装置包括激光加载系统、增压及尺寸拓宽装置、对中系统、控制系统、成形系统；该方法利用激光加载系统辐射吸收层产生冲击波压力，经液体介质的传递，推动上下端直径不同的增压橡胶冲头运动从而增加液体压力，实现对具有复杂微细特征、难成形材料零件的高效低成本加工成形。该方法可以成形出尺寸为激光最小光斑直径以下的微细结构，拓宽了成形件的尺寸范围，降低了对激光器光斑精度的要求。多层锥形高压液室设计既可以避免液室破裂，又保证了增压装置的增压比可变。
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