-
公开(公告)号：CN117249167B
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202311335569.9
申请日：2023-10-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明的一种气浮装置涉及气浮支承技术领域，目的是为了克服现有空气静压轴承的静、动态性能不足的问题，包括底座平台和气浮轴承；底座平台位于气浮轴承的气膜生成面处；气浮轴承包括滑动块体、多个第一节流器、第一高压气体管道和吸力调节装置；多个第一节流器固定于滑动块体内部，且多个第一节流器以气膜生成面的中心点为对称点呈中心对称设置；第一高压气体管道设于滑动块体内部；且第一高压气体管道的一端连通所有第一节流器的节流管道的进气端，另一端用于通入第一高压气体；多个第一节流器的压力腔均设于气膜生成面并连通滑动块体的外部；吸力调节装置设置于气浮轴承上，用于在气浮轴承与底座平台之间产生吸力。
-
公开(公告)号：CN113848684B
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202111110724.8
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及振动抑制领域，公开了一种光刻机掩模台隔振装置，该光刻机掩模台隔振装置包括：掩模台基座，投影物镜套筒，以及连接所述掩模台基座及所述投影物镜套筒的连接装置，其中连接装置为柔性支撑的装置，并且竖直放置的柔性片摆放成等腰三角形形状。本发明的有益效果为：通过柔性连接装置将掩模台基座与投影物镜套筒之间的连接形式从刚性连接转变为柔性连接，并且连接装置的三个支撑组件呈等腰三角形布置，支撑平稳可靠，同时利用竖直放置的柔性片使得连接装置在掩模台水平方向上具有低刚度甚至零刚度的特性，进而在掩模台水平方向上起到隔振效果。
-
公开(公告)号：CN114216396B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202111542273.5
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于激光干涉仪的复眼单元运动误差测量装置，属于精密仪器以及精密测量技术领域，本发明为了解决现有技术中无法测量复眼单元在运动时的俯仰角和翻滚角误差，无法评估复眼单元工作时的运动精度与运动稳定性的问题，本发明提供的一种基于激光干涉仪的复眼单元运动误差测量装置包括基座、测量框架、复眼单元、第一干涉仪测量组和第二干涉仪测量组。本发明利用两组所述干涉仪实时测量复眼单元运动时待测点的位置信息，并与理论模型对比得出复眼单元的在两个自由度上的运动误差，从而为复眼单元运动的误差标定提供数据支撑，对评估复眼单元运动精度、环境相应与运动稳定性具有重要意义。
-
公开(公告)号：CN114200782B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202111542240.0
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种柔性二维导向机构，包含二维线性运动平台，还包含外壳、驱动杆、输入端二维同位柔性铰链、直线解耦补偿结构和输出端二维同位柔性铰链；所述二维线性运动平台的固定部安装在所述外壳上，所述输入端二维同位柔性铰链下端安装在二维线性运动平台的活动平台上，输入端二维同位柔性铰链的中部插装有一根驱动杆，输出端二维同位柔性铰链布置在外壳的外部，其下端固定在外壳上，另一根驱动杆插装在输出端二维同位柔性铰链的中部，并伸入外壳内，直线解耦补偿结构连接在两根驱动杆之间，以补偿在运动过程中，两个二维同位柔性铰链旋转中心之间的相对距离变化。本发明占用空间小，运动精度高，并具有较高的可行性。
-
公开(公告)号：CN114153127B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202111541834.X
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出了一种基于多自由度柔性铰链的微型镜面阵列驱动装置，属于精密仪器及机械技术领域。解决了兼顾运动精度、运动范围、热耗散、尺寸控制的问题。它包括多个驱动单元，多个驱动单元以阵列形式排布，每个驱动单元上端均与镜面相连，所述驱动单元包括外壳、致动器、第一柔性铰链、第二柔性铰链、传动杆和滑块，所述致动器固定在外壳的内部，所述致动器与滑块相连，所述第一柔性铰链的一端与滑块相连，另一端与传动杆相连，所述第二柔性铰链一端固定在外壳上，另一端与镜面相连，所述传动杆穿过第二柔性铰链后与镜面相连。它主要用于镜面的驱动。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114198389A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202111351439.5
申请日：2021-11-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种用于工件台微转动的柔性铰链组件，涉及铰链领域。该柔性铰链组件包括第一部件、第二部件和柔性铰链本体，柔性铰链本体包括层叠设置的第一铰链单体和第二铰链单体，第一铰链单体包括两个第一弧形段及第一X形连接段，两个第一弧形段相对间隔布置形成第一缺口；第二铰链单体包括两个第二弧形段及第二X形连接段，两个第二弧形段相对间隔布置形成第二缺口；第一缺口与第二缺口沿层叠方向连通构成缺口空间，第一部件连接于缺口空间一侧的弧形段上，第二部件连接于缺口空间另一侧的弧形段上；第一X形连接段的锐角朝向第一缺口，第二X形连接段的钝角朝向第二缺口。实现了Rz向的精密转动，适应性强，在重复工作条件下的稳定性好。
-
公开(公告)号：CN113917795A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111110621.1
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及半导体加工技术领域，公开了一种微动台气浮支撑装置，包括基座、能够在基座上悬浮的气浮模块、以及位于气浮模块上的连接结构，气浮模块用于支撑连接结构，连接结构用于支撑微动台；气浮模块包括外部框架、调节框架及负压调节板；负压调节框架通过若干个调平螺栓与外部框架相连接；外部框架的外侧设有正压进气孔和负压进气孔，外部框架的下端设有正压排气孔集群；外部框架的中部设有负压腔体，负压腔体的上端设有通槽，负压调节板位于通槽处并与通槽之间密封，负压腔体的边缘还设有与负压排气腔连通的负压排气孔。本发明实施例通过负压调节板的水平姿态改变调整气膜厚度，进而调节气浮模块的水平姿态，提高微动台的水平姿态精度。
-
公开(公告)号：CN113848684A
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN202111110724.8
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及振动抑制领域，公开了一种光刻机掩模台隔振装置，该光刻机掩模台隔振装置包括：掩模台基座，投影物镜套筒，以及连接所述掩模台基座及所述投影物镜套筒的连接装置，其中连接装置为柔性支撑的装置，并且竖直放置的柔性片摆放成等腰三角形形状。本发明的有益效果为：通过柔性连接装置将掩模台基座与投影物镜套筒之间的连接形式从刚性连接转变为柔性连接，并且连接装置的三个支撑组件呈等腰三角形布置，支撑平稳可靠，同时利用竖直放置的柔性片使得连接装置在掩模台水平方向上具有低刚度甚至零刚度的特性，进而在掩模台水平方向上起到隔振效果。
-
公开(公告)号：CN108458892B
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN201810259476.5
申请日：2018-03-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种具有岩石样本采集和搬运功能的旋翼式火星无人机，涉及旋翼式火星无人机，为了满足火星大气环境中样本采集任务的需求。飞行动力装置的底端与控制装置的顶端连接，左端采集功能装置和右端采集功能装置对称式位于控制装置的左右两侧并与控制装置连接，图像采集装置的顶端与控制装置的底端连接；飞行动力装置为共轴反桨双旋翼结构，用于提供动力；右端采集功能装置和左端采集功能装置均用于样本的采集；图像采集装置用于图像的采集；控制装置用于驱动控制飞行动力装置，还用于控制图像采集装置的旋转角度。本发明适用于火星大气环境中岩石样本的采集和搬运。
-
公开(公告)号：CN107933979B
公开(公告)日：2020-12-25
申请号：CN201711141694.0
申请日：2017-11-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种杠杆式火星无人机旋翼系统的悬停特性测试模拟装置及方法，涉及无人机旋翼系统悬停特性测试领域。本发明是为了解决现有悬停特性测试装置只能用于地球无人机旋翼系统悬停性能的评估，无法实现火星环境的模拟，适用性差且测量误差大的问题。悬停实验装置位于火星大气环境模拟装置内底面上，火星大气环境模拟装置用于模拟低真空的二氧化碳气体环境；底座作为平衡板的支点，旋翼系统的旋翼反向安装，使升力方向竖直向下，扭矩传感器用于测量旋翼系统的旋翼旋转过程中产生的扭矩，在砝码盘中放置砝码，来配平平衡板两端重量，使平衡板处于平衡状态，测力传感器用于测量旋翼系统的旋翼旋转过程中产生的升力。用于测试火星无人机旋翼系统的悬停特性。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
115
records
(took 0.036 seconds)
