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公开(公告)号：CN114296323B
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202111651845.3
申请日：2021-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提出了一种长行程准零刚度柔性导向机构，属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有柔性导向机构无法保证大行程恒力输出的问题。它包括间接驱动部件、直接驱动部件、第一正刚度簧片组件、第二正刚度簧片组件、负刚度簧片组件和直线电机驱动模块，直接驱动部件左右两侧分别通过两个第一正刚度簧片组件与两个间接驱动部件相连，两个间接驱动部件前后两侧分别通过两个第二正刚度簧片组件与两个固定组件相连，第一正刚度簧片组件和第二正刚度簧片组件结构相同，直接驱动部件左右两侧均与负刚度簧片组件一端相连，两个负刚度簧片组件的另一端均连接有负刚度簧片固定组件，直线电机驱动模块与直接驱动部件相连。
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公开(公告)号：CN114294322B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202111651875.4
申请日：2021-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出了一种基于被动补偿结构的准零刚度柔性导向机构，属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有柔性导向机构无法保证大行程恒力输出的问题。它包括间接驱动部件、直接驱动部件、二阶簧片组件、一阶簧片组件、被动折叠簧片组件、负刚度补偿簧片组件和直线电机驱动模块，直接驱动部件左右两侧端部分别通过两个一阶簧片组件与两个间接驱动部件相连，两个间接驱动部件的两端内侧分别通过两个二阶簧片组件与两个固定模块相连，一阶簧片组件内包括一阶簧片，二阶簧片组件内包括二阶簧片，两个间接驱动部件的两端外侧均设置有被动折叠簧片组件，被动折叠簧片组件通过折叠簧片固定组件固定。
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公开(公告)号：CN114296323A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202111651845.3
申请日：2021-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提出了一种长行程准零刚度柔性导向机构，属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有柔性导向机构无法保证大行程恒力输出的问题。它包括间接驱动部件、直接驱动部件、第一正刚度簧片组件、第二正刚度簧片组件、负刚度簧片组件和直线电机驱动模块，直接驱动部件左右两侧分别通过两个第一正刚度簧片组件与两个间接驱动部件相连，两个间接驱动部件前后两侧分别通过两个第二正刚度簧片组件与两个固定组件相连，第一正刚度簧片组件和第二正刚度簧片组件结构相同，直接驱动部件左右两侧均与负刚度簧片组件一端相连，两个负刚度簧片组件的另一端均连接有负刚度簧片固定组件，直线电机驱动模块与直接驱动部件相连。
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公开(公告)号：CN114294322A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202111651875.4
申请日：2021-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出了一种基于被动补偿结构的准零刚度柔性导向机构，属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有柔性导向机构无法保证大行程恒力输出的问题。它包括间接驱动部件、直接驱动部件、二阶簧片组件、一阶簧片组件、被动折叠簧片组件、负刚度补偿簧片组件和直线电机驱动模块，直接驱动部件左右两侧端部分别通过两个一阶簧片组件与两个间接驱动部件相连，两个间接驱动部件的两端内侧分别通过两个二阶簧片组件与两个固定模块相连，一阶簧片组件内包括一阶簧片，二阶簧片组件内包括二阶簧片，两个间接驱动部件的两端外侧均设置有被动折叠簧片组件，被动折叠簧片组件通过折叠簧片固定组件固定。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114198389B
公开(公告)日：2022-07-05
申请号：CN202111351439.5
申请日：2021-11-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种用于工件台微转动的柔性铰链组件，涉及铰链领域。该柔性铰链组件包括第一部件、第二部件和柔性铰链本体，柔性铰链本体包括层叠设置的第一铰链单体和第二铰链单体，第一铰链单体包括两个第一弧形段及第一X形连接段，两个第一弧形段相对间隔布置形成第一缺口；第二铰链单体包括两个第二弧形段及第二X形连接段，两个第二弧形段相对间隔布置形成第二缺口；第一缺口与第二缺口沿层叠方向连通构成缺口空间，第一部件连接于缺口空间一侧的弧形段上，第二部件连接于缺口空间另一侧的弧形段上；第一X形连接段的锐角朝向第一缺口，第二X形连接段的钝角朝向第二缺口。实现了Rz向的精密转动，适应性强，在重复工作条件下的稳定性好。
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公开(公告)号：CN114296322A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202111648320.4
申请日：2021-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种基于复合结构的准零刚度柔性导向结构，它涉及精密仪器及机械技术领域。本发明解决了现有的柔性导向机构存在无法通过纯柔性机构实现大行程，高精度的导向功能，且无法克服长行程柔性机构产生大变形回弹力带来的控制问题。本发明的直线电机驱动模块的动子与运动部件连接，两组负刚度复合结构组件对称设置在运动部件两侧，负刚度复合结构组件一端与运动部件侧面中部垂直连接，负刚度复合结构组件另一端与一组负刚度簧片固定组件连接，每个中部固定基座与两个中间连接体之间分别连接有一组外层导向结构，每个系统固定结构与两个中间连接体之间均分别通过一组折叠簧片结构连接。本发明在大行程直线运动中满足高精度要求，为光刻机提供高精度直线导向。
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公开(公告)号：CN108663797B
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201810437084.3
申请日：2018-05-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B26/02
Abstract: 本发明公开一种基于气浮导向的狭缝式可变光阑；该装置正面板安装有2个X向驱动控制单元、2个Y向驱动控制单元、2个X向支撑导向单元、2个Y向支撑导向单元及光阑窗口；背面板安装有2个重力补偿单元；光阑窗口由2个X向光阑板、2个Y向光阑板、2个X向从动气浮导轨及2个Y向从动气浮导轨；其中成对的单元相对于系统的光学中心轴oo’旋转对称；该装置包括4个基于气浮原理的支承导向单元，对4个从动导轨进行导向，并通过驱动控制单元与重力补偿单元分别对4个光阑板进行控制，光阑板首尾相接形成了共面的矩形窗口，并最终实现平面内任意范围的扫描；本发明建立了一种兼顾高精度、高稳定性的气浮导向的狭缝式可变光阑。
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公开(公告)号：CN108663797A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201810437084.3
申请日：2018-05-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B26/02
Abstract: 本发明公开一种基于气浮导向的狭缝式可变光阑；该装置正面板安装有2个X向驱动控制单元、2个Y向驱动控制单元、2个X向支撑导向单元、2个Y向支撑导向单元及光阑窗口；背面板安装有2个重力补偿单元；光阑窗口由2个X向光阑板、2个Y向光阑板、2个X向从动气浮导轨及2个Y向从动气浮导轨；其中成对的单元相对于系统的光学中心轴oo’旋转对称；该装置包括4个基于气浮原理的支承导向单元，对4个从动导轨进行导向，并通过驱动控制单元与重力补偿单元分别对4个光阑板进行控制，光阑板首尾相接形成了共面的矩形窗口，并最终实现平面内任意范围的扫描；本发明建立了一种兼顾高精度、高稳定性的气浮导向的狭缝式可变光阑。
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