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公开(公告)号：CN113848684B
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202111110724.8
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及振动抑制领域，公开了一种光刻机掩模台隔振装置，该光刻机掩模台隔振装置包括：掩模台基座，投影物镜套筒，以及连接所述掩模台基座及所述投影物镜套筒的连接装置，其中连接装置为柔性支撑的装置，并且竖直放置的柔性片摆放成等腰三角形形状。本发明的有益效果为：通过柔性连接装置将掩模台基座与投影物镜套筒之间的连接形式从刚性连接转变为柔性连接，并且连接装置的三个支撑组件呈等腰三角形布置，支撑平稳可靠，同时利用竖直放置的柔性片使得连接装置在掩模台水平方向上具有低刚度甚至零刚度的特性，进而在掩模台水平方向上起到隔振效果。
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公开(公告)号：CN113917795A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111110621.1
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及半导体加工技术领域，公开了一种微动台气浮支撑装置，包括基座、能够在基座上悬浮的气浮模块、以及位于气浮模块上的连接结构，气浮模块用于支撑连接结构，连接结构用于支撑微动台；气浮模块包括外部框架、调节框架及负压调节板；负压调节框架通过若干个调平螺栓与外部框架相连接；外部框架的外侧设有正压进气孔和负压进气孔，外部框架的下端设有正压排气孔集群；外部框架的中部设有负压腔体，负压腔体的上端设有通槽，负压调节板位于通槽处并与通槽之间密封，负压腔体的边缘还设有与负压排气腔连通的负压排气孔。本发明实施例通过负压调节板的水平姿态改变调整气膜厚度，进而调节气浮模块的水平姿态，提高微动台的水平姿态精度。
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公开(公告)号：CN113848684A
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN202111110724.8
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及振动抑制领域，公开了一种光刻机掩模台隔振装置，该光刻机掩模台隔振装置包括：掩模台基座，投影物镜套筒，以及连接所述掩模台基座及所述投影物镜套筒的连接装置，其中连接装置为柔性支撑的装置，并且竖直放置的柔性片摆放成等腰三角形形状。本发明的有益效果为：通过柔性连接装置将掩模台基座与投影物镜套筒之间的连接形式从刚性连接转变为柔性连接，并且连接装置的三个支撑组件呈等腰三角形布置，支撑平稳可靠，同时利用竖直放置的柔性片使得连接装置在掩模台水平方向上具有低刚度甚至零刚度的特性，进而在掩模台水平方向上起到隔振效果。
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公开(公告)号：CN112137721A
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN202010507014.8
申请日：2020-06-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于超声图像的穿刺针针尖与血管壁深度定位方法，属于智能医疗器械技术领域，本发明具体步骤包括：通过对静脉穿刺部位的血管皮下超声图像选取图像上方区域作为感兴趣区域进行去噪、自适应阈值二值化、图像形态学开运算、闭运算、血管壁轮廓提取和扫描提取血管腔内区域穿刺针轮廓，计算得到血管壁皮下深度、医用穿刺针深度和穿刺角度。本发明能有效识别和探测血管壁皮下深度、追踪和探测医用穿刺针针尖的深度和穿刺角度，根据穿刺针针尖的实际深度和针穿刺角度，解算穿刺针推进距离，应用在智能采血或输液机器人、智能手术机器人等领域能提高静脉穿刺的准确性、安全性和可靠性。
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公开(公告)号：CN113917797B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202111110625.X
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及光刻机技术领域，公开了一种基于六自由度控制的运动台及其控制方法，运动台包括基座、工作台和控制装置，工作台设置于基座的上方，工作台的下表面设置有多个凹槽，控制装置包括控制模块和安装在基座上的第一电机组、第二电机组、位置检测模块，第一电机组设置在工作台的侧面，用以驱动工作台在X方向、Y方向和Rz方向的运动，第二电机组和位置检测模块分别设置在所述凹槽中，第二电机组抵在工作台的底面，用以驱动工作台在Z方向、Rx方向和Ry方向的运动，位置检测模块检测工作台的实时位置；第一电机组、第二电机组、位置检测模块均与控制模块电连接。本发明可以实现对运动台运动的六自由度控制，从而提高对运动台的控制精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114294322B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202111651875.4
申请日：2021-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出了一种基于被动补偿结构的准零刚度柔性导向机构，属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有柔性导向机构无法保证大行程恒力输出的问题。它包括间接驱动部件、直接驱动部件、二阶簧片组件、一阶簧片组件、被动折叠簧片组件、负刚度补偿簧片组件和直线电机驱动模块，直接驱动部件左右两侧端部分别通过两个一阶簧片组件与两个间接驱动部件相连，两个间接驱动部件的两端内侧分别通过两个二阶簧片组件与两个固定模块相连，一阶簧片组件内包括一阶簧片，二阶簧片组件内包括二阶簧片，两个间接驱动部件的两端外侧均设置有被动折叠簧片组件，被动折叠簧片组件通过折叠簧片固定组件固定。
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公开(公告)号：CN114264448B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202111541828.4
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种复眼单元工作环境模拟及性能评估系统及其使用方法，属于精密仪器以及精密测量技术领域，本发明为了解决现有技术中缺乏针对复眼单元性能测试及其稳定测试环境构建设备的问题，本发明所述的评估系统包括真空单元、温控单元、隔振底座、测量单元和复眼单元，同时考虑了复眼单元的真空和高温的工作环境。在真空环境模拟系统中，利用真空泵和真空规管组成闭环系统，同时在温控系统中利用温度传感器的电热膜、水冷板组成闭环系统，保证复眼单元所处环境的真空度和温度在目标值在一定的误差范围内，满足测试要求，同时采用了一种基于光敏位移传感器的测量系统，相比于利用干涉仪的测量系统，简化了系统组成，进一步提高了测量精度。
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公开(公告)号：CN114294322A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202111651875.4
申请日：2021-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出了一种基于被动补偿结构的准零刚度柔性导向机构，属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有柔性导向机构无法保证大行程恒力输出的问题。它包括间接驱动部件、直接驱动部件、二阶簧片组件、一阶簧片组件、被动折叠簧片组件、负刚度补偿簧片组件和直线电机驱动模块，直接驱动部件左右两侧端部分别通过两个一阶簧片组件与两个间接驱动部件相连，两个间接驱动部件的两端内侧分别通过两个二阶簧片组件与两个固定模块相连，一阶簧片组件内包括一阶簧片，二阶簧片组件内包括二阶簧片，两个间接驱动部件的两端外侧均设置有被动折叠簧片组件，被动折叠簧片组件通过折叠簧片固定组件固定。
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公开(公告)号：CN113917794A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111110520.4
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及精密仪器的技术领域，本发明的实施例提供了一种反射镜架及反射装置，包括：架本体，所述架本体用于与反射镜连接；三个安装件，所述安装件用于与光刻机计量基准部件连接；以及三个驱动装置，所有的所述驱动装置均与所述架本体连接，且三个所述驱动装置在横截面上的相互连线形成三角形，所述驱动装置与所述安装件一一对应连接，各所述驱动装置分别用于驱动对应的所述安装件，以使所述架本体的相应部位相对各所述安装件沿Z轴方向移动并实现所述反射镜的位姿调整。
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公开(公告)号：CN112102227B
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202010505894.5
申请日：2020-06-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于血管尺寸特征的血管最优穿刺点选取方法，通过选取手臂、手背或手腕处静脉红外血管图像的中央区域作为感兴趣区域进行去噪、限制对比度自适应直方图均衡化算法增强处理、自适应阈值二值化、图像形态学处理、血管轮廓提取、遍历寻找各血管轮廓中面积最大的血管轮廓区域、距离变换算法提取血管中心线及血管各位置半径、选取血管中心线上的血管半径最大处且该处血管中心线相对曲率小于设定阈值的点作为血管最优穿刺点，并能得到该点在血管中心线上的切线方向。本发明实现了在红外血管图像上自动选取血管穿刺点，具有较高的血管穿刺精度，同时提高了血管穿刺的安全性和效率。
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