公开(公告)号：CN119012490A

公开(公告)日：2024-11-22

申请号：CN202411262888.6

申请日：2024-09-10

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈晟 ,  牛化瑞 ,  杨肖易 ,  黄韬 ,  刘畅 ,  赵旭 ,  刘洋

IPC: H05H1/46 ,  H05K9/00 ,  H05K7/20 ,  H05H1/02 ,  H01B17/56 ,  H01Q1/22

Abstract: 一种凹腔型螺旋波等离子体源，涉及等离子体科学技术领域。为解决现有技术中存在的，直线装置在放电中往往会破坏装置既定的磁场位形使实验产生偏差，在强磁场下难以达到符合预期的效果的技术问题，本发明提供的技术方案为：一种凹腔型螺旋波等离子体源，包括：真空密封及支撑部分，包括石英钟罩，为钟形，用于提供真空环境，底部固定在主法兰上，主法兰连接外部设备；所述电磁屏蔽与散热部分，包括屏蔽罩，为筒形，用于提供屏蔽能力，套接在所述主法兰外侧；天线，为L形，用于连接外部水冷系统和电源，设置在所述石英钟罩和屏蔽罩之间。所述述屏蔽罩通过内螺纹与所述主法兰连接，通过风扇和扇形空隙实现散热。应用于等离子体领域的等离子体源。

公开(公告)号：CN119212188A

公开(公告)日：2024-12-27

申请号：CN202411408329.1

申请日：2024-10-10

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 赵旭 ,  牛化瑞 ,  杨肖易 ,  刘畅 ,  于川平 ,  黄晓伟 ,  王瑶 ,  李航 ,  陈晟 ,  王龙 ,  杨强 ,  盛新庆

IPC: H05H1/16 ,  H05H1/46 ,  H05H1/00 ,  H01Q1/36 ,  H01B17/56

Abstract: 一种基于射频电感耦合技术的等离子体调控装置，涉及等离子体参数调控技术领域。为解决现有技术中存在的，传统的梯度生成设备，虽然能够产生高密度的电极，但其时间短、实验环境电极和持续可控性电极，难以在保证放电均匀性的同时产生足够大面积的等离子体的技术问题，本发明提供的技术方案为：一种基于射频电感耦合技术的等离子体调控装置，装置包括：放电腔室；环形天线主体，套接在放电腔室外壁上，用于在放电腔室内产生等离子体；接线柱，设置在环形天线上，用于连接射频电源的输入和输出端；耙式探针阵列，用于测量等离子体的电子密度和温度；伺服系统，用于驱动耙式探针阵列运动。适合应用于等离子体参数调控的工作中。