公开(公告)号：CN119212188A

公开(公告)日：2024-12-27

申请号：CN202411408329.1

申请日：2024-10-10

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 赵旭 ,  牛化瑞 ,  杨肖易 ,  刘畅 ,  于川平 ,  黄晓伟 ,  王瑶 ,  李航 ,  陈晟 ,  王龙 ,  杨强 ,  盛新庆

IPC: H05H1/16 ,  H05H1/46 ,  H05H1/00 ,  H01Q1/36 ,  H01B17/56

Abstract: 一种基于射频电感耦合技术的等离子体调控装置，涉及等离子体参数调控技术领域。为解决现有技术中存在的，传统的梯度生成设备，虽然能够产生高密度的电极，但其时间短、实验环境电极和持续可控性电极，难以在保证放电均匀性的同时产生足够大面积的等离子体的技术问题，本发明提供的技术方案为：一种基于射频电感耦合技术的等离子体调控装置，装置包括：放电腔室；环形天线主体，套接在放电腔室外壁上，用于在放电腔室内产生等离子体；接线柱，设置在环形天线上，用于连接射频电源的输入和输出端；耙式探针阵列，用于测量等离子体的电子密度和温度；伺服系统，用于驱动耙式探针阵列运动。适合应用于等离子体参数调控的工作中。