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公开(公告)号：CN108627937B
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201810437697.7
申请日：2018-05-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开一种半解耦联动式可变光阑。该装置包括4个主动气浮导轨和4个从动导轨并通过双层气浮模块和联动模块连接，从动导轨末端安装光阑板，4个光阑板首尾相接旋转对称式安装并形成共面的矩形窗口。该装置可通过驱动模块分别对4个光阑板进行逆时针异位控制，实现平面内任意范围的扫描，提高了窗口扫描的精度和效率。本发明可用于建立一种高分辨率、高运动/定位精度的投影式曝光装置。
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公开(公告)号：CN109270805A
公开(公告)日：2019-01-25
申请号：CN201811358472.9
申请日：2018-11-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70358 , G03F7/70725
Abstract: 本发明公开一种无线缆式双向扫描装置；通过串行线圈驱动阵列磁钢模块进行往复直线运动，消除了现有技术中线缆力对运动及定位精度的影响，同时通过设置相应气浮结构对直线运动进行支承和导向，并最终通过结合反馈控制，达到双向扫描的目的。本发明可建立一种高速、高频、高精度的双向扫描装置。
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公开(公告)号：CN104821742A
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201510271266.4
申请日：2015-05-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种内梳齿状定子及使用该定子的微型超声电机，它涉及一种定子以及微型超声电机，以解决现有超声电机存在轴向尺寸大，径向尺寸较大，驱动频率高，驱动效率低的问题，内梳齿状定子包括金属弹性体和2N个压电陶瓷片；金属弹性本体为中心有圆柱形空腔的多边形结构，圆柱形空腔的内侧面上均布固接有2N个金属梳状齿，压电陶瓷片的极化面连接在与金属梳状齿相对应的金属弹性本体的边上；使用内梳齿状定子的微型超声电机包括转子，它还包括内梳齿状定子、上盖、支撑板和定子座；转子主要由同轴设置并制成一体的上圆柱段、中圆台段和下圆锥段构成，内梳齿状定子安装在定子座上，定子座安装在支撑板上。本发明属于压电驱动技术领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104440808A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201410591392.3
申请日：2014-10-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25H1/00
CPC classification number: B25H1/02
Abstract: 基于周向力解耦的航空发动机转静子两自由度调整定位装置属于精密仪器及机械技术领域；该装置通过操纵装置对限位单元进行位置调整，使主导向部件和副导向部件与运动台的导向工作面接触，引导运动台沿X轴和Y轴运动；驱动杆旋进，通过近端轴承和远端轴承解耦周向力，将轴向驱动力传递至连接块，驱动运动台正向运动；驱动杆旋出，通过近端轴承和远端轴承解耦周向力，将轴向驱动力传递至X向连接块，驱动运动台反向运动,达到运动台沿X轴和Y轴高精度、高稳定性运动的目的；本发明建了立一种兼顾高精度、高稳定性的平面二维运动基准及平台。
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公开(公告)号：CN111464070B
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202010198201.2
申请日：2020-03-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种直线超声电机定子及其电激励方法，定子包括定子弹性体和压电陶瓷片；定子弹性体上沿长度方向切割有开口槽，所述定子弹性体被所述开口槽分隔为驱动身和两个对称的驱动腿；两个驱动腿上相对的两外侧面贴有呈轴对称的压电陶瓷片，两个驱动腿的上端分别具有向外延伸的驱动足；所有的压电陶瓷片上涂有电极层。电激励方法包括：1)粘接压电陶瓷片；2)作通电极；3)两次用两路同频正弦电压信号同时激发驱动腿局部的二阶弯曲振动和定子的整体一阶纵向振动，最终实现驱动动子正反向的运动。本发明利用定子两个驱动腿局部的二阶弯曲振动与定子整体的一阶纵向振动组合简并，实现驱动足作椭圆振动。
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公开(公告)号：CN111464070A
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN202010198201.2
申请日：2020-03-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种直线超声电机定子及其电激励方法，定子包括定子弹性体和压电陶瓷片；定子弹性体上沿长度方向切割有开口槽，所述定子弹性体被所述开口槽分隔为驱动身和两个对称的驱动腿；两个驱动腿上相对的两外侧面贴有呈轴对称的压电陶瓷片，两个驱动腿的上端分别具有向外延伸的驱动足；所有的压电陶瓷片上涂有电极层。电激励方法包括：1)粘接压电陶瓷片；2)作通电极；3)两次用两路同频正弦电压信号同时激发驱动腿局部的二阶弯曲振动和定子的整体一阶纵向振动，最终实现驱动动子正反向的运动。本发明利用定子两个驱动腿局部的二阶弯曲振动与定子整体的一阶纵向振动组合简并，实现驱动足作椭圆振动。
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公开(公告)号：CN108663797B
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201810437084.3
申请日：2018-05-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B26/02
Abstract: 本发明公开一种基于气浮导向的狭缝式可变光阑；该装置正面板安装有2个X向驱动控制单元、2个Y向驱动控制单元、2个X向支撑导向单元、2个Y向支撑导向单元及光阑窗口；背面板安装有2个重力补偿单元；光阑窗口由2个X向光阑板、2个Y向光阑板、2个X向从动气浮导轨及2个Y向从动气浮导轨；其中成对的单元相对于系统的光学中心轴oo’旋转对称；该装置包括4个基于气浮原理的支承导向单元，对4个从动导轨进行导向，并通过驱动控制单元与重力补偿单元分别对4个光阑板进行控制，光阑板首尾相接形成了共面的矩形窗口，并最终实现平面内任意范围的扫描；本发明建立了一种兼顾高精度、高稳定性的气浮导向的狭缝式可变光阑。
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