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公开(公告)号：CN119784614A
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202411580103.X
申请日：2024-11-07
Applicant: 同济大学
IPC: G06T5/60 , G02B17/06 , H04N23/55 , H04N23/54 , H04N23/95 , G06T5/20 , G06T5/73 , G06N3/0464 , G06N3/0455 , G06N3/08
Abstract: 本发明涉及一种基于计算成像驱动加工简化的反射式光学系统，包括反射式光学系统、探测器和图像重建系统，反射式光学系统包括第一自由曲面反射镜、第二偶次非球面反射镜和第三自由曲面反射镜，探测器与反射式光学系统的焦平面重合，图像重建系统包括NPU图像数据处理器，该NPU图像数据处理器运行有图像复原算法模型；入射光依次经过第一自由曲面反射镜、第二偶次非球面反射镜和第三自由曲面反射镜聚焦后入射到探测器上，通过探测器将探测结果传输到图像重建系统中进行处理，输出接近衍射极限像质的图像。与现有技术相比，本发明能够将光学系统加工要求降低至少一个数量级，且具有接近衍射极限像质的成像质量。
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公开(公告)号：CN119619015A
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN202411739957.8
申请日：2024-11-29
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明公开了一种基于椭偏和紫外可见光谱互校准的介质薄膜测试方法，包括以下步骤：首先拟合椭偏光谱获得折射率和消光系数的初值，对比正常消光系数色散模型，确定异常波段；其次拟合透射光谱，截取对应椭偏仪异常波段的透射光谱折射率和消光系数；然后计算加权因子和平移因子，校准透射光谱在异常波段的折射率和消光系数；最后校正异常波段的椭偏光谱，重新拟合获得校准的折射率和消光系数。本发明采用上述的一种基于椭偏和紫外可见光谱互校准的介质薄膜测试方法，应用紫外可见光谱的结果内标特定波段的椭偏光谱，实现折射率和厚度的准确拟合，从而提高了介质薄膜检测精度。
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公开(公告)号：CN118482633B
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202410762899.4
申请日：2024-06-13
Applicant: 同济大学
IPC: G01B9/02 , G01B11/24 , G01B11/255 , G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种精确定位Hindle检测光路中凸非球面的装置与检测方法，属于光学测试与光学装调技术领域，该装置包括设置在三维位移台上的用于装配凸非球面的辅助定位装置、Hindle球面镜、干涉仪，辅助定位装置的截面为“凸”字形结构，辅助定位装置的凸出侧设置有安装定位面，辅助定位装置的平面侧中心位置处设置有装调基准球面和基准球面，辅助定位装置的平面侧的最外圈设置有多个顶拉螺钉孔。本发明通过超精密车削加工带有安装定位面和基准球面的辅助定位装置，利用干涉仪检测标定焦面，实现装调，该装置便于凸非球面研制过程中的快速、精确检测，保证测试凸非球面的曲率半径和非球面系数的准确性，且在检测过程中具有实时定位和高效率等优点。
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公开(公告)号：CN119152993A
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202411144212.7
申请日：2024-08-20
Applicant: 同济大学
IPC: G16C60/00 , G16C20/20 , G06F30/20 , G06F111/10
Abstract: 本发明涉及一种X射线掠入射宽光谱多层膜结构设计方法，包括以下步骤：基于耦合波理论，考虑材料对X射线的吸收特性，建立X射线非周期多层膜结构解析理论；确定非周期多层膜结构的材料、膜对数及膜厚范围及目标反射率，获取非周期多层膜结构近似解；建立评价函数，以所述近似解作为初始结构，进行数值计算优化，得到具有目标反射率曲线的多层膜结构；选取匹配优化后多层膜结构的闪耀光栅结构参数，得到具有宽光谱高效率的掠入射多层膜闪耀光栅。与现有技术相比，本发明通过解析理论结合数值计算的方式，解决从目标反射率到非周期多层膜结构的逆问题，获得具有目标光谱反射率响应分布下高反射率性能的多层膜结构和宽光谱高衍射效率的多层膜光栅。
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公开(公告)号：CN118938421A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202410983252.4
申请日：2024-07-22
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明公开了一种高能激光内通道的气体热效应控制装置，涉及激光技术领域，设置于内通道上，激光内通道包括依次垂直连接的进光段、转折段、输出段，包括波前探测装置和气体散热装置，波前探测装置包括设置于进光段一端的波前探测器和设置于输出段一端的信号光发射器，气体散热装置包括均匀气流单元、控温流道、气流通道和监测装置，若干气流通道均匀分布于内通道的侧壁上，控温流道设置于内通道的侧壁内，控温流道与气流通道间隔分布，均匀气流单元覆盖在气流通道上。本发明采用上述结构的一种用于高能激光内通道的气体热效应控制装置，能够实时探测内通道气体热效应导致的气体热畸变，均匀稳定控制内通道气体的温度，保证光束传输不变性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118699883A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202410754925.9
申请日：2024-06-12
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种电流变抛光设备及抛光方法。设备包括电极外壳、安装板、压力板、连接件、漏斗电极、负电极棒和正电极棒；电极外壳安装在安装板一面，内部通过压力板分为第一区域和第二区域，第一区域通入气体，第二区域通入抛光液；漏斗电极安装在电极外壳一端，内部设有漏斗状空腔；负电极棒穿过连接件、安装板、电极外壳和漏斗状空腔；正电极棒一端嵌入漏斗电极中。与现有技术相比，本发明具有抛光液通过压力板压下，增大了抛光液的剪切强度，提高了材料去除效率；使抛光液快速更新，提高了加工稳定性；负电极棒与漏斗电极之间具有一定间隙，实现电场在加工过程中的均匀分布，提高了抛光加工的质量和表面光洁度等优点。
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公开(公告)号：CN117991427B
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410284689.9
申请日：2024-03-13
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明公开了一种低损耗、高反射率的193nm薄膜及其制备方法，包括基底、薄膜，所述薄膜设置在所述基底上；膜系结构为Sub/(HL)^n/Air，其中，Sub为薄膜元件基板，Air为出射介质空气，H和L分别为1/4中心波长光学厚度的高折射率材料薄膜层和低折射率材料薄膜层，n为高低折射率材料的膜堆数。本发明采用上述一种低损耗、高反射率的193nm薄膜及其制备方法，能够有效抑制193nm高反射薄膜中的LaF3薄膜的结晶，进而降低反射膜的粗糙度、抑制散射损耗，并提高薄膜的反射率；而且有效提升了电子束蒸发193nm LaF3/AlF3多层高反膜的反射率和成膜质量，同时制作成本低，易于推广，在紫外光刻领域具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN118372093A
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202410671291.0
申请日：2024-05-28
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种基于线电极或群线电极的电流变抛光装置及抛光方法，包括工件夹具、被加工件、工作台、液槽、抛光液、线电极、电极夹头和交流电源。液槽与工作台相连，液槽内加注抛光液，工件夹具通过连接件固定安装于工作台上，可根据工件的不同形状进行设计更换，保证工件在抛光时不发生位置的移动。本发明在抛光时应用电流变效应，使两线电极间的电流变液沿电场方向产生链状结构，电极夹头装夹的线电极可沿规定路径来回移动，固化的电流变液在线电极运动时与被加工件表面发生摩擦，实现工件表面的材料去除，最终得到的工件表面光滑平整，粗糙度低，且没有明显的划痕或变形。
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公开(公告)号：CN117740332B
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202311552507.3
申请日：2023-11-21
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种双波长光束抖动和指向性的测量装置及方法，该装置包括：激光输出模块：该模块包括He‑Ne激光器和电机，用于电机与待测激光器或He‑Ne激光器连接；能量平衡模块：该模块包括分光镜和衰减片，分光镜设于待测激光器之后，衰减片设于分光镜之后；光斑分离模块：该模块包括楔形棱镜与消色差透镜，楔形棱镜设于分光镜与消色差透镜之间，消色差透镜设于楔形棱镜之后；快门：设于消色差透镜与衰减片之间，用于控制测量启停；CCD：设于衰减片之后，用于分区采集双波长光束的光斑数据，并实时拟合质心，计算双波长光束的抖动性和指向性。与现有技术相比，本发明实现了对双波长光束的指向性与抖动性进行准确、快速的实时测量。
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公开(公告)号：CN117664525B
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202311552504.X
申请日：2023-11-21
Abstract: 本发明涉及一种测量双波长激光波长和线宽的装置及方法，所述装置包括待测双波长激光器、两个中性密度衰减片组转轮、两个近红外衰减片组转轮、两个双波长反射镜、两个快门、双波长分光镜、窄带滤光片转轮、消色差透镜、双波长单模光纤、光谱仪、谐波分束器、两个可变光阑和两个基准激光器。与现有技术相比，本发明可切换滤光模式，实现对双波长激光波长和线宽的自动测量，具有测量效率高、可重复性好以及操作简便等优点。
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