公开(公告)号：CN113314642B

公开(公告)日：2022-06-21

申请号：CN202110590641.7

申请日：2021-05-28

Applicant: 吉林建筑大学

Inventor： 高晓红 ,  王森 ,  孟冰 ,  陈伟利 ,  杨佳 ,  郭亮 ,  赵阳 ,  王艳杰 ,  迟耀丹 ,  杨小天

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/113 ,  H01L31/032 ,  H01L31/0224

Abstract: 本发明公开了一种双绝缘层日盲紫外光敏薄膜晶体管的制备方法，包括：步骤一、对衬底进行预处理后，通过光刻剥离技术在衬底上曝光显影出栅极区域，并在栅极区域蒸镀导电膜，得到第一基底；步骤二、在第一基底上通过光刻剥离技术显影出第一堆叠区域，在第一堆叠区域沉积Ta2O5薄膜，得到第二基底；其中，第一堆叠区域栅极区域部分重叠；步骤三、在第二基底的Ta2O5薄膜上沉积MgO薄膜，得到第三基底；步骤四、在第三基底的MgO薄膜上沉积Mg0.5Zn0.5O薄膜，得到第四基底；步骤五、在第四基底上通过光刻剥离技术曝光显影出第二堆叠区域，在第二堆叠层区域沉积叉指电极层，得到晶体管；其中，第二堆叠区域位于Mg0.5Zn0.5O薄膜上方，并且第二堆叠区域的边缘与Mg0.5Zn0.5O薄膜的边缘完全重合。

公开(公告)号：CN113314642A

公开(公告)日：2021-08-27

申请号：CN202110590641.7

申请日：2021-05-28

Applicant: 吉林建筑大学

Inventor： 高晓红 ,  王森 ,  孟冰 ,  陈伟利 ,  杨佳 ,  郭亮 ,  赵阳 ,  王艳杰 ,  迟耀丹 ,  杨小天

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/113 ,  H01L31/032 ,  H01L31/0224

Abstract: 本发明公开了一种双绝缘层日盲紫外光敏薄膜晶体管的制备方法，包括：步骤一、对衬底进行预处理后，通过光刻剥离技术在衬底上曝光显影出栅极区域，并在栅极区域蒸镀导电膜，得到第一基底；步骤二、在第一基底上通过光刻剥离技术显影出第一堆叠区域，在第一堆叠区域沉积Ta2O5薄膜，得到第二基底；其中，第一堆叠区域栅极区域部分重叠；步骤三、在第二基底的Ta2O5薄膜上沉积MgO薄膜，得到第三基底；步骤四、在第三基底的MgO薄膜上沉积Mg0.5Zn0.5O薄膜，得到第四基底；步骤五、在第四基底上通过光刻剥离技术曝光显影出第二堆叠区域，在第二堆叠层区域沉积叉指电极层，得到晶体管；其中，第二堆叠区域位于Mg0.5Zn0.5O薄膜上方，并且第二堆叠区域的边缘与Mg0.5Zn0.5O薄膜的边缘完全重合。