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公开(公告)号：CN120050620A
公开(公告)日：2025-05-27
申请号：CN202510234680.1
申请日：2025-02-28
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种用于电磁屏蔽场景的无线传感器数据采集系统，包括工控机、无线指令收发单元、无线信号中继单元和数据采集单元。分别采用ZigBee、Wi‑Fi方式搭建指令链路和数据链路，系统数据链路的运行受控于指令链路，使得系统节点在保持了较低功耗的情况下拥有较高的数据传输带宽；系统指令链路采用两级ZigBee星型网络通过硬件串联搭建，可以实现对处于相对封闭、存在电磁屏蔽效果的物品内部的采集节点的稳定通信，拓宽了无线传感器网络的应用场景。整个系统的控制运行由通过配套的上位机软件完成，软件主要向操作人员提供当前系统各单元状态，并提供自动化的处理操作，简化操作。
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公开(公告)号：CN110902640B
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN201911267138.7
申请日：2019-12-11
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明涉及一种高灵敏度MEMS谐振式温度传感器芯片，属于MEMS温度传感器技术领域。包括石英玻璃环形基座和石英晶体谐振层；石英晶体谐振层包括菱形力放大谐振器、第一石英臂、第二石英臂、第一锚点和第二锚点；菱形力放大谐振器包括菱形环和双端固支石英音叉；第一锚点、第一石英臂、第二石英臂和第二锚点位于菱形环的短对角线上；双端固支石英音叉位于菱形环的长对角线上。当被测环境温度变化时，石英晶体谐振层因环形基座制约而产生热膨胀变形，在一对石英臂内部产生较大的轴向应力，经菱形环放大作用于双端固支石英音叉；本发明显著提高了传感器的灵敏度和谐振频率的稳定性，还具有结构简单，抗干扰能力强等优点。
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公开(公告)号：CN110501098B
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN201910893549.0
申请日：2019-09-20
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01L1/16
Abstract: 本发明公开了一种基于双压力膜和弱耦合谐振系统的高灵敏微压传感器，包括压力膜层和石英谐振层，压力膜层设置有两个压力膜和两个偏置凸台，用来传递待测压力；所述的石英谐振层上设置有弱耦合谐振系统和一对激励及检测电极，所述的弱耦合谐振系统包含两个双端固支石英梁和一根弱耦合梁，其中第一双端固支石英梁两端的锚点与压力膜层上的偏置凸台接合，用于承受由待测压力引起的压缩应力，所述的激励及检测电极用于驱动两双端固支石英梁发生谐振。利用两个石英梁振动不平衡所引起的模态局部化效应，并检测二者的振幅比作为输出量即可获取待测压力值。本发明解决了传统谐振压力传感器微压测量灵敏度低的难题，具有灵敏度高、抗干扰能力强等优点。
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公开(公告)号：CN110361116B
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN201910749657.0
申请日：2019-08-14
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01L1/16
Abstract: 本发明公开了一种四压力膜结构差动型石英梁谐振压力传感器，包括压力膜层和谐振层；所述压力膜层上形成有第一压力膜、第二压力膜、第三压力膜和第四压力膜，第一压力膜的正面设有第一凸台，第二压力膜的正面设有第二凸台，第三压力膜的正面设有第三凸台，第四压力膜上的正面设有第四凸台；所述谐振层上具有镂空区，所述镂空区中形成有第一锚点、第二锚点、第三锚点、第四锚点、双端固支第一悬空石英梁以及双端固支第二悬空石英梁，各凸台与各锚点接合。本发明通过设计两组石英梁和四个压力膜，改变石英梁在压力膜上的偏置程度，使两组石英梁的谐振频率产生差值，提高传感器的灵敏度，并同时减小因环境温度波动而产生的热误差的影响。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111830288A
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN202010712878.3
申请日：2020-07-22
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种AFM低漂移大范围扫描测量的路径规划方法，其步骤包括：1扫描中心微块的图像，2微动平台移动到下一个微块区域并扫描，且与上一个微块有部分重叠，3对两个微块重叠部分进行相关计算得到漂移量，并对微块图像进行校正，4微动平台按照螺旋式扫描路线进行扫描，当扫描范围超过微动平台运动范围时，移动宏动平台与微动平台协同运动。5微动平台继续按照螺旋式扫描路线进行扫描，直到扫描完全部区域。本发明能实现漂移的实时计算和补偿校正，获取低漂移的大范围样品图像，从而提高原子力显微镜获取低漂移图像和测量的能力，对扫描探针显微镜的技术具有一定的理论意义和实用价值。
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公开(公告)号：CN108448928B
公开(公告)日：2019-08-27
申请号：CN201810425140.1
申请日：2018-05-07
Applicant: 合肥工业大学
IPC: H02N2/06
Abstract: 本发明提供了一种多叠层压电致动器独立分时驱动装置及方法，涉及应用在精密位移平台领域，包括各层压电致动器独立驱动；驱动信号按照等电压间隔规则分离成时序相连的子信号；施加到每一层独立压电致动器上的信号为分别放大后的子信号；电压等间隔规则通过信号分离电路实现；驱动信号可以为任意需要的信号。相对于多叠层压电致动器并联的压电堆栈，通过本发明所示的驱动方法可以有效的消除其由于并联驱动导致的迟滞累加，在同一个时刻有且仅有一层压电致动器迟滞的存在，有效的降低了多叠层压电致动器位移过程中的迟滞，提高运动定位精度，同时具有操作简单、成本较低等特点。
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公开(公告)号：CN120044880A
公开(公告)日：2025-05-27
申请号：CN202510260967.1
申请日：2025-03-06
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G05B19/408
Abstract: 本发明公开了一种面向控制器优化的精密二维运动台的速度环辨识方法，包括：1采用正弦扫频信号进行多频段激励并采集速度响应；2对输入输出信号进行傅里叶变换得到频域特征；3通过频响函数计算幅频特性和相频特性；4基于伯德图数据拟合包含增益、零点及多极点参数的高阶传递函数模型，最终获得频域辨识结果。本发明通过系统化的频域建模流程，可精确表征精密运动台动态特性，为控制器参数优化提供可靠依据，尤其适用于高精度运动控制系统的性能提升，从而解决了现有技术中精密二维运动台系统控制精度低、稳定性差的问题，并提高了精密二维运动台系统的定位精度和稳定性。
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公开(公告)号：CN115183930B
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202210735203.X
申请日：2022-06-27
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01L5/166
Abstract: 本发明公开了一种三维微摩擦力和粘附力的测量装置，包括减震基座、宏动位移台、支架I、微动位移台、支架II，通过宏动位移台和微动位移台能够对悬臂进行三维方向上的弹性系数标定，支架I的内侧设置有固定相机和四象限光电探测器；支架II的内侧设置有悬臂，悬臂前端设置有探针，微动位移台上设置有载物台和单轴微力传感器，悬臂上方的支架II内侧设置有激光器。本发明还公开了一种三维微摩擦力和粘附力的测量方法。本发明较好的解决了传统粘附力和摩擦力测量装置无法对三维条件下的粘附力和摩擦力进行测量的技术瓶颈，能够对深孔等更为复杂的表面结构进行力学测量，具有测量分辨率高、灵敏度性能好等优点。
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公开(公告)号：CN117129110A
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202311089363.2
申请日：2023-08-28
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种超高灵敏度的MEMS微压传感器，包括基座，两个谐振梁，两个调谐电极、两个弱耦合梁以及四个相同的压力膜。调谐电极用于调节谐振梁的刚度，实现两个谐振梁的固有频率相等；两个弱耦合梁采用对称的“S”型分布，提升了传感器微压测量灵敏度和品质因子。通过MEMS微压传感器，采用分段幅值比差值的检测方法即可实现待测压力的超高灵敏度检测。本发明的超高灵敏度的MEMS微压传感器，可用于航空航天等领域的微压测量，具有超高的灵敏度，且检测范围广，品质因数高，稳定性好。
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