公开(公告)号：CN117129110A

公开(公告)日：2023-11-28

申请号：CN202311089363.2

申请日：2023-08-28

Applicant: 合肥工业大学

Inventor： 程荣俊 ,  张文龙 ,  简合帮 ,  黄强先 ,  张连生 ,  李红莉

IPC: G01L1/10 ,  B81B7/02

Abstract: 本发明公开了一种超高灵敏度的MEMS微压传感器，包括基座，两个谐振梁，两个调谐电极、两个弱耦合梁以及四个相同的压力膜。调谐电极用于调节谐振梁的刚度，实现两个谐振梁的固有频率相等；两个弱耦合梁采用对称的“S”型分布，提升了传感器微压测量灵敏度和品质因子。通过MEMS微压传感器，采用分段幅值比差值的检测方法即可实现待测压力的超高灵敏度检测。本发明的超高灵敏度的MEMS微压传感器，可用于航空航天等领域的微压测量，具有超高的灵敏度，且检测范围广，品质因数高，稳定性好。

公开(公告)号：CN118247350A

公开(公告)日：2024-06-25

申请号：CN202410562422.1

申请日：2024-05-08

Applicant: 合肥工业大学

Inventor： 程荣俊 ,  简合帮 ,  张文龙 ,  黄强先 ,  李红莉 ,  张连生

IPC: G06T7/73 ,  G01B21/20 ,  G06T7/77 ,  G06N3/006

Abstract: 本发明涉及轴类零件形状误差检测领域，具体公开了一种圆柱度误差评定方法及终端设备、存储介质，所述方法通过自适应粒子群优化算法找到以圆柱轴线为基准的圆柱坐标绕三坐标测量机坐标系X轴和Y轴的两个最优旋转角度，使得圆柱轴线与三坐标测量机坐标系Z轴平行，然后通过坐标变换将三维圆柱坐标旋转投影为二维圆坐标，最后再次利用自适应粒子群优化算法计算投影的二维圆坐标的最小区域圆度误差，此时两个最优旋转角度对应的投影坐标的最小区域圆度误差等同于最小区域圆柱度误差。该方案无需寻找理想圆柱轴线方程，减少了优化参数个数，同时提高了计算精度和计算效率。