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公开(公告)号：CN111141447B
公开(公告)日：2021-07-16
申请号：CN202010029370.3
申请日：2020-01-13
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种抗高过载绝对式谐振微压传感器，包括上端盖、中间壳体、下端盖、气体通道、微压传感器芯片、密封管壳以及用于控制外界气体通断的双波纹膜片、开关导向杆、平衡弹簧等组成的压力开关。当传感器所处环境压力高于芯片测量的安全阈值时，压力开关闭合，气体不会作用于微压传感器芯片，以此实现高过载保护；当进气口压力低于芯片测量的安全阈值时，压力开关打开，外界气体通过气体通道作用于芯片的背腔，引起敏感膜片产生形变，进而引起固支在敏感膜片上方的谐振梁固有频率变化，通过测量该谐振频率即可实现微压测量。本发明较好地解决了传统MEMS谐振压力传感器难以用于绝对微压测量的技术瓶颈，具有测量灵敏度高、分辨率高等优点。
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公开(公告)号：CN111141447A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN202010029370.3
申请日：2020-01-13
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开了一种抗高过载绝对式谐振微压传感器，包括上端盖、中间壳体、下端盖、气体通道、微压传感器芯片、密封管壳以及用于控制外界气体通断的双波纹膜片、开关导向杆、平衡弹簧等组成的压力开关。当传感器所处环境压力高于芯片测量的安全阈值时，压力开关闭合，气体不会作用于微压传感器芯片，以此实现高过载保护；当进气口压力低于芯片测量的安全阈值时，压力开关打开，外界气体通过气体通道作用于芯片的背腔，引起敏感膜片产生形变，进而引起固支在敏感膜片上方的谐振梁固有频率变化，通过测量该谐振频率即可实现微压测量。本发明较好地解决了传统MEMS谐振压力传感器难以用于绝对微压测量的技术瓶颈，具有测量灵敏度高、分辨率高等优点。
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公开(公告)号：CN110902640A
公开(公告)日：2020-03-24
申请号：CN201911267138.7
申请日：2019-12-11
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明涉及一种高灵敏度MEMS谐振式温度传感器芯片，属于MEMS温度传感器技术领域。包括石英玻璃环形基座和石英晶体谐振层；石英晶体谐振层包括菱形力放大谐振器、第一石英臂、第二石英臂、第一锚点和第二锚点；菱形力放大谐振器包括菱形环和双端固支石英音叉；第一锚点、第一石英臂、第二石英臂和第二锚点位于菱形环的短对角线上；双端固支石英音叉位于菱形环的长对角线上。当被测环境温度变化时，石英晶体谐振层因环形基座制约而产生热膨胀变形，在一对石英臂内部产生较大的轴向应力，经菱形环放大作用于双端固支石英音叉；本发明显著提高了传感器的灵敏度和谐振频率的稳定性，还具有结构简单，抗干扰能力强等优点。
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公开(公告)号：CN110902640B
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN201911267138.7
申请日：2019-12-11
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明涉及一种高灵敏度MEMS谐振式温度传感器芯片，属于MEMS温度传感器技术领域。包括石英玻璃环形基座和石英晶体谐振层；石英晶体谐振层包括菱形力放大谐振器、第一石英臂、第二石英臂、第一锚点和第二锚点；菱形力放大谐振器包括菱形环和双端固支石英音叉；第一锚点、第一石英臂、第二石英臂和第二锚点位于菱形环的短对角线上；双端固支石英音叉位于菱形环的长对角线上。当被测环境温度变化时，石英晶体谐振层因环形基座制约而产生热膨胀变形，在一对石英臂内部产生较大的轴向应力，经菱形环放大作用于双端固支石英音叉；本发明显著提高了传感器的灵敏度和谐振频率的稳定性，还具有结构简单，抗干扰能力强等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110501098B
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN201910893549.0
申请日：2019-09-20
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01L1/16
Abstract: 本发明公开了一种基于双压力膜和弱耦合谐振系统的高灵敏微压传感器，包括压力膜层和石英谐振层，压力膜层设置有两个压力膜和两个偏置凸台，用来传递待测压力；所述的石英谐振层上设置有弱耦合谐振系统和一对激励及检测电极，所述的弱耦合谐振系统包含两个双端固支石英梁和一根弱耦合梁，其中第一双端固支石英梁两端的锚点与压力膜层上的偏置凸台接合，用于承受由待测压力引起的压缩应力，所述的激励及检测电极用于驱动两双端固支石英梁发生谐振。利用两个石英梁振动不平衡所引起的模态局部化效应，并检测二者的振幅比作为输出量即可获取待测压力值。本发明解决了传统谐振压力传感器微压测量灵敏度低的难题，具有灵敏度高、抗干扰能力强等优点。
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公开(公告)号：CN117418646A
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN202210813580.0
申请日：2022-07-11
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明提供一种装配式混凝土夹心保温板及建筑，涉及建筑领域，装配式混凝土夹心保温板包括中间型材、保温板、第一混凝土叶板和第二混凝土叶板，第一混凝土叶板设置于中间型材的一侧，中间型材的一侧嵌设于第一混凝土叶板的内部；第二混凝土叶板设置于中间型材的另一侧，中间型材的另一侧嵌设于第二混凝土叶板的内部。通过采用挤拉复合材料的中间型材代替钢筋，有效避免了钢筋在混凝土之间的锈蚀问题，同时降低了板厚和自重。通过在中间型材的两侧分别设置与空腔连通的连通部，使得在灌浆过程中，部分混凝土从连通部进入到空腔内，使得中间型材的两侧嵌设到两侧混凝土叶板的内部，增强了中间型材与混凝土叶板之间的共同工作性能。
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公开(公告)号：CN110501098A
公开(公告)日：2019-11-26
申请号：CN201910893549.0
申请日：2019-09-20
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01L1/16
Abstract: 本发明公开了一种基于双压力膜和弱耦合谐振系统的高灵敏微压传感器，包括压力膜层和石英谐振层，压力膜层设置有两个压力膜和两个偏置凸台，用来传递待测压力；所述的石英谐振层上设置有弱耦合谐振系统和一对激励及检测电极，所述的弱耦合谐振系统包含两个双端固支石英梁和一根弱耦合梁，其中第一双端固支石英梁两端的锚点与压力膜层上的偏置凸台接合，用于承受由待测压力引起的压缩应力，所述的激励及检测电极用于驱动两双端固支石英梁发生谐振。利用两个石英梁振动不平衡所引起的模态局部化效应，并检测二者的振幅比作为输出量即可获取待测压力值。本发明解决了传统谐振压力传感器微压测量灵敏度低的难题，具有灵敏度高、抗干扰能力强等优点。
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公开(公告)号：CN212679933U
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN202021335096.4
申请日：2020-07-09
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本实用新型涉及体育训练装置的技术领域，尤其涉及一种基于多传感器的立定跳远辅助训练装置。包括上下平行的跳远板和安装底板，且跳远板和安装底板均为水平布设的长方形板，跳远板和安装底板之间的中部设有加速度传感器，两端部均安装有三维力传感器，三维力传感器包括上下平行且为方形的一对平板，一对平板之间设有横截面为矩形的四根竖直梁，且四根竖直梁分别对应一对平板的四个侧边的中部；每根竖直梁的外侧面根部设有第一应变片，y轴方向的一对竖直梁的相背离的两侧侧面的中部分别设有第二应变片。本实用新型可测量运动员的起跳角度、起跳力度以及跳板的振动幅频特性等物理参数，为提高训练效率以及合理制定训练计划提供科学依据。
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公开(公告)号：CN212206462U
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN202021335070.X
申请日：2020-07-09
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本实用新型涉及压力传感器的技术领域，尤其涉及一种具有过载保护功能的顶针式石英振梁压力传感器。包括箱型的壳体、芯体和顶针机构，所述壳体的上端配合设有顶盖，顶针机构包括圆柱形的顶针、金属波纹膜片和顶针壳，金属波纹膜片固定在上部阶梯孔的下端阶梯面上，顶针上部的外圆柱面上设有顶针凸台，顶针同轴安装在顶针壳内，使得顶针凸台位于中部阶梯孔内，顶针的一端和金属波纹膜片连接，顶针的另一端伸出下部阶梯孔，并和对应小L形杆件的竖直端部的侧壁接触。顶针在顶针壳内可轴向窜动，同时顶针凸台与中部阶梯孔侧壁之间存在一定间隙，外界气压P过载时，顶针凸台与中部阶梯孔侧壁相互作用，提供过载保护，避免了过载破坏。
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