公开(公告)号：CN110441551B

公开(公告)日：2021-10-12

申请号：CN201910736261.2

申请日：2019-08-09

Applicant: 合肥工业大学

Inventor： 程荣俊 ,  戚玉海 ,  黄强先 ,  张连生 ,  李瑞君

IPC: G01Q60/38

Abstract: 本发明公开了一种基于石英圆环谐振器的原子力探针式传感器，石英圆环谐振器正下方连接有探针，探针正下方设置有压力膜，石英圆环谐振器的水平直径方向上设置有电极，电极包括相互连通在外环表面的第一电极与第四电极，相互连通在内环表面的第二电极与第三电极；控制电路用于控制激振电路、驱动电路输出控制信号，激振电路分别通过引线连接第一电极与第四电极以及第二电极与第三电极；压电陶瓷驱动器的输出端连接于在石英圆环谐振器顶部中心位置，压电陶瓷驱动器与探针相对于石英圆环谐振器中心呈对称安装；压电陶瓷驱动器的驱动端通过引线连接驱动电路。本发明利用原子力检测压力膜的表面形变，具有纳米级别的分辨率。

公开(公告)号：CN110441551A

公开(公告)日：2019-11-12

申请号：CN201910736261.2

申请日：2019-08-09

Applicant: 合肥工业大学

Inventor： 程荣俊 ,  戚玉海 ,  黄强先 ,  张连生 ,  李瑞君

IPC: G01Q60/38

Abstract: 本发明公开了一种基于石英圆环谐振器的原子力探针式传感器，石英圆环谐振器正下方连接有探针，探针正下方设置有压力膜，石英圆环谐振器的水平直径方向上设置有电极，电极包括相互连通在外环表面的第一电极与第四电极，相互连通在内环表面的第二电极与第三电极；控制电路用于控制激振电路、驱动电路输出控制信号，激振电路分别通过引线连接第一电极与第四电极以及第二电极与第三电极；压电陶瓷驱动器的输出端连接于在石英圆环谐振器顶部中心位置，压电陶瓷驱动器与探针相对于石英圆环谐振器中心呈对称安装；压电陶瓷驱动器的驱动端通过引线连接驱动电路。本发明利用原子力检测压力膜的表面形变，具有纳米级别的分辨率。

公开(公告)号：CN212206462U

公开(公告)日：2020-12-22

申请号：CN202021335070.X

申请日：2020-07-09

Applicant: 合肥工业大学

Inventor： 程荣俊 ,  宋鹏程 ,  张何洋 ,  祁勤 ,  戚玉海

IPC: G01L19/06 ,  G01L7/08 ,  G01L9/00

Abstract: 本实用新型涉及压力传感器的技术领域，尤其涉及一种具有过载保护功能的顶针式石英振梁压力传感器。包括箱型的壳体、芯体和顶针机构，所述壳体的上端配合设有顶盖，顶针机构包括圆柱形的顶针、金属波纹膜片和顶针壳，金属波纹膜片固定在上部阶梯孔的下端阶梯面上，顶针上部的外圆柱面上设有顶针凸台，顶针同轴安装在顶针壳内，使得顶针凸台位于中部阶梯孔内，顶针的一端和金属波纹膜片连接，顶针的另一端伸出下部阶梯孔，并和对应小L形杆件的竖直端部的侧壁接触。顶针在顶针壳内可轴向窜动，同时顶针凸台与中部阶梯孔侧壁之间存在一定间隙，外界气压P过载时，顶针凸台与中部阶梯孔侧壁相互作用，提供过载保护，避免了过载破坏。