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公开(公告)号：CN110712582B
公开(公告)日：2021-07-16
申请号：CN201910629306.6
申请日：2019-07-12
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: B60P3/00
Abstract: 本公开叙述一种更换光刻胶瓶罐的车辆、电脑系统及更换方法。示例性的车辆包括一处理器，配置以接收一请求信号，以更换一第一光刻胶瓶罐。处理器亦配置以传递基于请求信号的一指令。车辆亦包括多个车轮，配置以从第一地点移动车辆至一第二地点、及从第二地点移动车辆至第一地点。车辆还包括一机械手臂，配置以在第一地点装载第一光刻胶瓶罐至一第一容器中；装载一第二光刻胶瓶罐至一第二容器中；从第二光刻胶瓶罐移除一盖部及从第一光刻胶瓶罐移除一套筒；耦接第一光刻胶瓶罐的套筒至第二光刻胶瓶罐；及从第二容器卸载第二光刻胶瓶罐。
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公开(公告)号：CN108528882A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201710118357.3
申请日：2017-03-01
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: B65B69/00
Abstract: 一种自动拆袋系统与自动拆袋方法，适用以拆除盒体的包装袋。自动拆袋系统包含载送装置、刀具模块、吸力装置、以及移载模块。载送装置配置以抓取盒体的顶部上的凸缘并载送盒体。刀具模块配置以从盒体的底部或侧面切割包装袋，其中刀具模块包含钩状刀具。吸力装置配置以于刀具模块切割包装袋后从盒体的侧边吸住包装袋并移除包装袋。移载模块配置以于刀具模块切割包装袋后从盒体的底部承接盒体并移载盒体。
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公开(公告)号：CN111863681A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201910342813.1
申请日：2019-04-26
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/67
Abstract: 一种搬运装置及其应用的搬运系统以及搬运系统的预测保养方法。搬运装置包含行驶元件、夹具以及减震元件。行驶元件用以移动于轨道上。夹具连接该行驶元件用以夹取晶圆载具。减震元件固定于行驶元件朝向该夹具的一侧，其中减震元件包含弹簧。
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公开(公告)号：CN108528882B
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN201710118357.3
申请日：2017-03-01
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: B65B69/00
Abstract: 一种自动拆袋系统与自动拆袋方法，适用以拆除盒体的包装袋。自动拆袋系统包含载送装置、刀具模块、吸力装置、以及移载模块。载送装置配置以抓取盒体的顶部上的凸缘并载送盒体。刀具模块配置以从盒体的底部或侧面切割包装袋，其中刀具模块包含钩状刀具。吸力装置配置以于刀具模块切割包装袋后从盒体的侧边吸住包装袋并移除包装袋。移载模块配置以于刀具模块切割包装袋后从盒体的底部承接盒体并移载盒体。
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公开(公告)号：CN110961299A
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201910154064.X
申请日：2019-03-01
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
Abstract: 用于自动清洁气体供给系统喷嘴的喷嘴清洁设备，这个设备包含运送器，以及在运送器内的自动喷嘴清洁系统。该运送器还具有气体入口，这个气体入口密封地接合于气体供给系统的喷嘴。自动喷嘴清洁系统包含第一种喷嘴清洁装置，第二种喷嘴清洁装置，以及功能切换片。功能切换片包含多个通孔，当功能切换片切换至第一位置，多个通孔里的第一通孔配置以接合具有气体入口的第一种喷嘴清洁装置，而当功能切换片切换至第二位置，多个通孔里的第二通孔配置以接合具有气体入口的第二清洁装置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111863681B
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN201910342813.1
申请日：2019-04-26
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/67
Abstract: 一种搬运装置及其应用的搬运系统以及搬运系统的预测保养方法。搬运装置包含行驶元件、夹具以及减震元件。行驶元件用以移动于轨道上。夹具连接该行驶元件用以夹取晶圆载具。减震元件固定于行驶元件朝向该夹具的一侧，其中减震元件包含弹簧。
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公开(公告)号：CN110780537B
公开(公告)日：2023-06-16
申请号：CN201910695369.1
申请日：2019-07-30
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
Abstract: 本公开涉及一种容器、监测泄漏的系统及设备。容器用以将物件放置于其中。前述容器包括：容器本体、盖体、防撞部、配对识别机构以及检测液体感测器。盖体位于前述容器本体上方。防撞部被附接至前述容器本体和前述盖体的其中一或多者，且配置以缓冲冲击力。配对识别机构被配置以检测放置于前述容器本体中的物件。检测液体感测器被配置以检测来自前述物件的泄漏。
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公开(公告)号：CN110970291A
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201910280992.0
申请日：2019-04-09
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L21/027
Abstract: 本公开内容的实施方式描述了自动替换光阻瓶的化学品替换系统和方法。化学品替换系统包括计算机系统和传送模块。计算机系统可以接收替换一或多个化学品容器的请求信号，并发送指令至传送模块。传送模块由计算机系统控制，传送模块可以包括：配置为支持一或多个化学品容器的支持器；配置为响应指令而打开的门单元；以及配置为响应指令而弹出支持器的传送单元，以进行替换。化学品替换系统可以更包括自动载具，其配置为替换在弹出的支持器中的一或多个化学品容器。
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公开(公告)号：CN110780537A
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201910695369.1
申请日：2019-07-30
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
Abstract: 本公开涉及一种容器、监测泄漏的系统及设备。容器用以将物件放置于其中。前述容器包括：容器本体、盖体、防撞部、配对识别机构以及检测液体感测器。盖体位于前述容器本体上方。防撞部被附接至前述容器本体和前述盖体的其中一或多者，且配置以缓冲冲击力。配对识别机构被配置以检测放置于前述容器本体中的物件。检测液体感测器被配置以检测来自前述物件的泄漏。
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公开(公告)号：CN110712582A
公开(公告)日：2020-01-21
申请号：CN201910629306.6
申请日：2019-07-12
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: B60P3/00
Abstract: 本公开叙述一种更换光刻胶瓶罐的车辆、电脑系统及更换方法。示例性的车辆包括一处理器，配置以接收一请求信号，以更换一第一光刻胶瓶罐。处理器亦配置以传递基于请求信号的一指令。车辆亦包括多个车轮，配置以从第一地点移动车辆至一第二地点、及从第二地点移动车辆至第一地点。车辆还包括一机械手臂，配置以在第一地点装载第一光刻胶瓶罐至一第一容器中；装载一第二光刻胶瓶罐至一第二容器中；从第二光刻胶瓶罐移除一盖部及从第一光刻胶瓶罐移除一套筒；耦接第一光刻胶瓶罐的套筒至第二光刻胶瓶罐；及从第二容器卸载第二光刻胶瓶罐。
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