半导体封装及其形成方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116525472A

    公开(公告)日:2023-08-01

    申请号:CN202310296869.4

    申请日:2023-03-24

    Abstract: 本公开的一些实施例提供一种形成重分布结构的方法。形成重分布结构包括在一第一晶种层的一部分上形成一第一导电材料,在第一晶种层以及第一导电材料的上方形成一遮罩,其中遮罩中的一开口至少部分暴露第一导电材料,在开口中形成一第一导电导孔,利用第一导电材料作为蚀刻遮罩蚀刻第一晶种层的部分,在第一导电导孔、第一导电材料以及第一晶种层的剩余部分的上方沉积一第一绝缘层,并蚀刻第一绝缘层,使得第一导电导孔的一部分突出于第一绝缘层的一顶表面之上,并利用多个第一电连接器将一第一晶粒附接至重分布结构。

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