公开(公告)号：CN1220919C

公开(公告)日：2005-09-28

申请号：CN02146940.7

申请日：2002-10-24

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 萧义理 ,  周梅生 ,  彭进兴 ,  黄见翎 ,  陈择毅 ,  李俊仪 ,  吴学昌

IPC: G05D23/00

Abstract: 一种具有温度补偿特征的温度控制方法和装置。此温度控制方法至少包括：操作主温度控制装置，来提供主温度特性曲线；提供补偿温度特性曲线，其中补偿温度特性曲线与主温度特性曲线互为镜射(Mirror Reflected)；以及根据主温度特性曲线来操作主温度控制装置，同时并根据补偿温度特性曲线来操作补偿温度控制装置。因此，当受控体的机台欲动作一特定程序时，则该补偿温度控制装置同时将以该特定程序的温度特性来补偿之，故温度能完全维持在设定温度。此主温度控制装置可为：具有主冷却液(Coolant)槽的冷却机(Chiller)，或PN结(Junction)温度控制装置等，而此补偿温度控制装置可为：具有温度补偿冷却液槽的冷却机，或PN结温度控制装置等，其中此补偿温度控制装置可为开放回路或封闭回路的自动控制方式。

公开(公告)号：CN1492295A

公开(公告)日：2004-04-28

申请号：CN02146940.7

申请日：2002-10-24

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 萧义理 ,  周梅生 ,  彭进兴 ,  黄见翎 ,  陈择毅 ,  李俊仪 ,  吴学昌

IPC: G05D23/00

Abstract: 一种具有温度补偿特征的温度控制方法和装置。此温度控制方法至少包括：操作主温度控制装置，来提供主温度特性曲线；提供补偿温度特性曲线，其中补偿温度特性曲线与主温度特性曲线互为镜射(Mirror Reflected)；以及根据主温度特性曲线来操作主温度控制装置，同时并根据补偿温度特性曲线来操作补偿温度控制装置。因此，当受控体的机台欲动作一特定程序时，则该补偿温度控制装置同时将以该特定程序的温度特性来补偿之，故温度能完全维持在设定温度。此主温度控制装置可为：具有主冷却液(Coolant)槽的冷却机(Chiller)，或PN接口(Junction)温度控制装置等，而此补偿温度控制装置可为：具有温度补偿冷却液槽的冷却机，或PN接口温度控制装置等，其中此补偿温度控制装置可为开放回路或封闭回路的自动控制方式。

公开(公告)号：CN2710024Y

公开(公告)日：2005-07-13

申请号：CN200420049667.2

申请日：2004-04-28

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 萧义理 ,  周梅生 ,  彭进兴 ,  黄见翎 ,  陈择毅 ,  李俊仪 ,  吴学昌

IPC: G05D23/00

Abstract: 一种具有温度补偿特征的温度控制装置，用来控制一受控体于一标准受控温度值，其中所述温度控制装置至少包括：一主温度控制装置，其根据一主温度特性曲线来操作；一补偿温度控制装置，其根据一补偿温度特性曲线来操作，其中该补偿温度特性曲线以该标准受控温度值为基准，而与该主温度特性曲线互为镜射。主温度控制装置可为具有主冷却液(Coolant)槽的冷却机(Chiller)，或PN接口(Junction)温度控制装置等，而补偿温度控制装置可为具有温度补偿冷却液槽的冷却机，或PN接口温度控制装置等，其中此补偿温度控制装置可为开放回路或封闭回路的自动控制方式。