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公开(公告)号：CN114883268A
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202210124937.4
申请日：2022-02-10
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L21/8238 , H01L27/092
Abstract: 一种半导体结构及其形成方法。薄膜晶体管包括位于基底之上的有源层、包括第一栅极介电质及第一栅极电极的堆叠且位于有源层的第一表面上的第一栅极堆叠，接触有源层的第一表面的周边部分且沿第一水平方向以第一栅极电极彼此横向地间隔开的一对第一接触电极、接触有源层的与有源层的第一表面垂直地间隔开的第二表面的第二接触电极，以及包括第二栅极介电质及第二栅极电极的相应堆叠且位于有源层的第二表面的相应周边部分上的一对第二栅极堆叠。
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公开(公告)号：CN113394221A
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN202110617652.X
申请日：2021-05-31
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L27/11504 , H01L27/11507 , H01L27/11509 , H01L27/11514 , H01L27/22 , H01L27/24
Abstract: 本发明的实施例提供了一种存储器件及其制造方法，所述存储装置包括衬底、设置在衬底上的薄膜晶体管(TFT)；以及设置在所述衬底上并且与所述TFT重叠的存储单元。TFT被配置为有选择地向存储单元供电。
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公开(公告)号：CN114914300A
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202210065624.6
申请日：2022-01-20
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L29/423 , H01L29/78
Abstract: 一种公开的半导体器件包括衬底、形成于衬底上的栅极、形成在栅极上的栅极介电层、与栅极的第一侧相邻的源极以及与栅极的第二侧相邻的漏极。由蚀刻停止层和/或高介电常数层形成的栅极介电层将源极与栅极和与衬底分开，并将漏极与栅极和与衬底分开。第一氧化层和第二氧化层形成于栅极介电层上，并且位于栅极的第一侧上且与源极相邻，以及位于栅极的第二侧上且与漏极相邻。半导体层形成于第一氧化层、第二氧化层、源极、漏极和栅极介电层之上。
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公开(公告)号：CN113921399A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111101274.6
申请日：2021-09-18
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L21/336 , H01L29/786 , H01L29/10
Abstract: 可以在衬底上方形成平坦绝缘间隔件层，并且可以在平坦绝缘间隔件层上方形成半导体材料层、薄膜晶体管(TFT)栅极介电层和栅电极的组合。在它们之上形成介电基质层。可以穿过半导体材料层的端部上方的介电基质层形成源极侧通孔腔和漏极侧通孔腔。通过改变半导体材料层的端部的晶格常数，可以在半导体材料层的端部之间生成机械应力。机械应力可以增强半导体材料层的沟道部分中的电荷载流子的迁移率。本申请的实施例还涉及半导体结构及其形成方法。
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公开(公告)号：CN113380899A
公开(公告)日：2021-09-10
申请号：CN202110604364.0
申请日：2021-05-31
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L29/786 , H01L29/06 , H01L29/10 , H01L29/423 , H01L21/34
Abstract: 半导体器件包括：第一介电层；栅电极，嵌入在第一介电层内；层堆叠件，包括栅极介电层；沟道层，包括半导体金属氧化物材料；以及第二介电层；以及源电极和漏电极，嵌入在第二介电层中并且接触沟道层的顶面的相应部分。栅电极、栅极介电层、沟道层、源电极和漏电极的组合形成晶体管。沟道层的位于栅电极上面的底面的外围的总长度等于栅电极的宽度或是栅电极的宽度的两倍，并且栅电极材料在沟道层侧壁上的再溅射最小化。本申请的实施例还涉及半导体结构、晶体管和形成晶体管器件的方法。
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公开(公告)号：CN119789492A
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202411852685.2
申请日：2024-12-16
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
Abstract: 本公开的各个实施例涉及具有氢吸收层的薄膜晶体管(TFT)及其形成方法。TFT包括堆叠的半导体沟道、栅电极和栅极介电层，其中栅极介电层将栅电极与半导体沟道分隔开。第一源极/漏极电极和第二源极/漏极电极分别位于半导体沟道的不同部分上。此外，氢吸收层与栅电极、第一源极/漏极电极、第二源极/漏极电极或它们的组合相邻。氢吸收层捕获氢和其它游离粒子而使它们不与TFT的半导体材料相互作用，以防止性能和可靠性降低。本申请的实施例还涉及包括半导体器件的集成电路、半导体器件及其形成方法。
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公开(公告)号：CN113380899B
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202110604364.0
申请日：2021-05-31
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L29/786 , H01L29/06 , H01L29/10 , H01L29/423 , H01L21/34
Abstract: 半导体器件包括：第一介电层；栅电极，嵌入在第一介电层内；层堆叠件，包括栅极介电层；沟道层，包括半导体金属氧化物材料；以及第二介电层；以及源电极和漏电极，嵌入在第二介电层中并且接触沟道层的顶面的相应部分。栅电极、栅极介电层、沟道层、源电极和漏电极的组合形成晶体管。沟道层的位于栅电极上面的底面的外围的总长度等于栅电极的宽度或是栅电极的宽度的两倍，并且栅电极材料在沟道层侧壁上的再溅射最小化。本申请的实施例还涉及半导体结构、晶体管和形成晶体管器件的方法。
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公开(公告)号：CN114914190A
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202210059505.X
申请日：2022-01-19
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L21/74
Abstract: 本公开实施例提供一种半导体结构及其制造方法，所述方法包括：在衬底之上形成第一导电图案，其中第一导电图案包括第一导电线和第二导电线。可在第一导电图案的第一导电线和第二导电线之上共形的形成阻障层。可在阻障层之上形成绝缘层。可将绝缘层图案化以在第一导电图案的导电线之间形成开口，可在开口中形成第二导电图案。第二导电图案可包括通过阻障层与第一导电图案物理分离的第三导电线。阻障层的存在降低了在第一导电图案和第二导电图案之间形成短路的风险。在这个意义上，第二导电图案可相对于第一导电图案自对准。
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公开(公告)号：CN113540100A
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN202110728558.1
申请日：2021-06-29
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L27/11507 , H01L27/11509 , H01L27/22 , H01L27/24
Abstract: 存储器结构包括：第一字线和第二字线；在该第一字线和该第二字线上设置的高k介电层；在该高k介电层上设置的沟道层并且该沟道层包括半导体材料；电接触该沟道层的第一源极电极和第二源极电极；在该第一源极电极和该第二源极电极之间的该沟道层上设置的第一漏极电极；电连接至该第一漏极电极的存储器单元；以及电连接至该存储器单元的位线。本申请的实施例还涉及形成存储器结构的方法。
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公开(公告)号：CN113921399B
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202111101274.6
申请日：2021-09-18
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L21/336 , H01L29/786 , H01L29/10
Abstract: 可以在衬底上方形成平坦绝缘间隔件层，并且可以在平坦绝缘间隔件层上方形成半导体材料层、薄膜晶体管(TFT)栅极介电层和栅电极的组合。在它们之上形成介电基质层。可以穿过半导体材料层的端部上方的介电基质层形成源极侧通孔腔和漏极侧通孔腔。通过改变半导体材料层的端部的晶格常数，可以在半导体材料层的端部之间生成机械应力。机械应力可以增强半导体材料层的沟道部分中的电荷载流子的迁移率。本申请的实施例还涉及半导体结构及其形成方法。
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