集成电路结构
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101567371B

    公开(公告)日:2012-03-28

    申请号:CN200810149552.3

    申请日:2008-09-10

    CPC classification number: H01L27/14632 H01L27/14687

    Abstract: 本发明是有关于一种集成电路结构,包括:一基底;一金属化层,位于该基底之上,且该金属化层包括一介电层,以及位于该介电层之中的一金属线;以及一感应元件,位于该金属化层之上。该集成电路结构,包括:一半导体基底;多个金属化层,位于该半导体基底之上,且每一该些该金属化层包括一低介电系数介电层,以及位于该低介电系数介电层之中的复数条金属线;一第一钝化层,位于该些金属化层之上;以及一感应元件,位于该第一钝化层之中。藉由集成电路结构来增加感应元件的信号强度,减少串音(Cross-Talk)现象的发生,以降低制造成本。

    集成电路结构
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101567371A

    公开(公告)日:2009-10-28

    申请号:CN200810149552.3

    申请日:2008-09-10

    CPC classification number: H01L27/14632 H01L27/14687

    Abstract: 本发明是有关于一种集成电路结构,包括:一基底;一金属化层,位于该基底之上,且该金属化层包括一介电层,以及位于该介电层之中的一金属线;以及一感应元件,位于该金属化层之上。该集成电路结构,包括:一半导体基底;多个金属化层,位于该半导体基底之上,且每一该些该金属化层包括一低介电系数介电层,以及位于该低介电系数介电层之中的复数条金属线;一第一钝化层,位于该些金属化层之上;以及一感应元件,位于该第一钝化层之中。藉由集成电路结构来增加感应元件的信号强度,减少串音(Cross-Talk)现象的发生,以降低制造成本。

    影像传感器装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN101236925B

    公开(公告)日:2012-01-04

    申请号:CN200810009255.9

    申请日:2008-01-31

    Abstract: 一种影像传感器装置及影像传感器的制造方法。该方法包含:提供半导体衬底,该半导体衬底具有像素区以及周边区;在该像素区中形成光传感元件;以及,在该像素区中形成至少一个晶体管,且在该周边区中形成至少一个晶体管。在该像素区与该周边区中形成该至少一个晶体管的步骤包含:在该像素区与该周边区中形成栅电极;在该像素区与该周边区上沉积介电层;部分蚀刻该介电层,以在该栅电极上形成多个间隙壁,并留下一部分的该介电层覆盖住该像素区;以及,以离子注入方式形成多个源/漏极区。本发明能够以简单有效的方式降低影像传感器中的暗电流。

    影像传感器装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN101236925A

    公开(公告)日:2008-08-06

    申请号:CN200810009255.9

    申请日:2008-01-31

    Abstract: 一种影像传感器装置及影像传感器的制造方法。该方法包含:提供半导体衬底,该半导体衬底具有像素区以及周边区;在该像素区中形成光传感元件;以及,在该像素区中形成至少一个晶体管,且在该周边区中形成至少一个晶体管。在该像素区与该周边区中形成该至少一个晶体管的步骤包含:在该像素区与该周边区中形成栅电极;在该像素区与该周边区上沉积介电层;部分蚀刻该介电层,以在该栅电极上形成多个间隙壁,并留下一部分的该介电层覆盖住该像素区;以及,以离子注入方式形成多个源/漏极区。本发明能够以简单有效的方式降低影像传感器中的暗电流。

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