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公开(公告)号：CN103084299B
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201310057520.1
申请日：2013-02-22
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种压电开关阀式喷射点胶头，涉及一种主要用于电子芯片的快速封装的点胶装置。设基体、压电陶瓷、拉杆、三角块、加热块、挡块、喷嘴、撞针、柔性铰链和供液装置；基体设柔性铰链，2块压电陶瓷分别通过挡块预紧在柔性铰链的两臂上，压电陶瓷的前端分别设有挡块，挡块由拉杆固定在基体上并嵌入基体内框边缘的挡块导向槽中，喷嘴固定在基体下的前端，在基体的两侧分别设有盖板，2块盖板后端由螺栓固定在柔性铰链的两臂，2块盖板前端固定三角块；撞针设在三角块的前端；加热块固定在基体下部；供液装置设胶体流道、进胶转接头和进胶管，供液装置设在基体下部，基体与供液装置之间设有隔热槽，胶体流道通过进胶转接头和进胶管外接供液装置。
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公开(公告)号：CN109870254B
公开(公告)日：2020-05-29
申请号：CN201910156679.6
申请日：2019-03-01
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种高灵敏度的电容式滑触觉传感器，涉及滑触觉传感器。设有触头层、上层电极、介质层、下层电极和基底层；所述触头层顶部为凸起结构，触头层底部与上层电极电路贴合，上层电极的上下底面积大小及形状与触头层顶部的凸起结构上表面一致，且均位于电容式滑触觉传感器中心；介质层采用纳米纤维膜，介质层的上下表面与上层电极和下层电极及触头层底部、基底层顶部接触；基底层上表面设有呈对称十字分布4个电极，传感器触头受到物体接触滑动时，4个电极对应电容值产生变化；纳米纤维膜具有空间弹性，能敏锐地感知正向力的施加；在受到侧向力时，纳米纤维膜表面具有较高的自由能，有利于相对滑动，提升侧向力的检测灵敏度。
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公开(公告)号：CN104178825B
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201410373008.2
申请日：2014-07-31
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种纳米纤维直径可控辅助诱导批量电纺装置，涉及电纺装置。设有溶液槽、出液阀门、纤维直径控制装置、超声激振器、进液管道、进液阀门、超声液面传感器、辅助诱导装置、工业CCD图像传感器、收集装置；纤维直径控制装置设有调整滑块、精密螺杆、光杆导杆；辅助诱导装置设有直线导轨、滑块、滑块连接杆、安装基座；收集装置送料辅助轧轮、收集板、送料滚筒、收集装置挂板、电机、主动进给滚筒、进给辅助轧轮。利用超声激振产生溶液波动，配合辅助诱导装置进行射流喷射控制；利用极板之间的间隙约束射流初始直径和迁移；用连续进给的收集装置，加辅助诱导，配合图像传感器识别，克服产量低、直径分布差异大、带珠状结构、喷头易堵塞等缺陷。
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公开(公告)号：CN103084299A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201310057520.1
申请日：2013-02-22
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种压电开关阀式喷射点胶头，涉及一种主要用于电子芯片的快速封装的点胶装置。设基体、压电陶瓷、拉杆、三角块、加热块、挡块、喷嘴、撞针、柔性铰链和供液装置；基体设柔性铰链，2块压电陶瓷分别通过挡块预紧在柔性铰链的两臂上，压电陶瓷的前端分别设有挡块，挡块由拉杆固定在基体上并嵌入基体内框边缘的挡块导向槽中，喷嘴固定在基体下的前端，在基体的两侧分别设有盖板，2块盖板后端由螺栓固定在柔性铰链的两臂，2块盖板前端固定三角块；撞针设在三角块的前端；加热块固定在基体下部；供液装置设胶体流道、进胶转接头和进胶管，供液装置设在基体下部，基体与供液装置之间设有隔热槽，胶体流道通过进胶转接头和进胶管外接供液装置。
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公开(公告)号：CN109870254A
公开(公告)日：2019-06-11
申请号：CN201910156679.6
申请日：2019-03-01
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种高灵敏度的电容式滑触觉传感器，涉及滑触觉传感器。设有触头层、上层电极、介质层、下层电极和基底层；所述触头层顶部为凸起结构，触头层底部与上层电极电路贴合，上层电极的上下底面积大小及形状与触头层顶部的凸起结构上表面一致，且均位于电容式滑触觉传感器中心；介质层采用纳米纤维膜，介质层的上下表面与上层电极和下层电极及触头层底部、基底层顶部接触；基底层上表面设有呈对称十字分布4个电极，传感器触头受到物体接触滑动时，4个电极对应电容值产生变化；纳米纤维膜具有空间弹性，能敏锐地感知正向力的施加；在受到侧向力时，纳米纤维膜表面具有较高的自由能，有利于相对滑动，提升侧向力的检测灵敏度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103193197A
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN201310112200.1
申请日：2013-04-02
Applicant: 厦门大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种基于硅/玻璃阳极键合的微器件可动结构制备方法，涉及一种微机电系统传感器与制动器。提供一种基于硅/玻璃阳极键合的微器件可动结构制备方法。1）将玻璃片与硅片键合在一起，形成硅/玻璃组合片以及中间的牺牲氧化层；2）将步骤1）得到的硅/玻璃组合片的硅片减薄并抛光；3）在减薄后的硅片上刻蚀出可动结构；4）将硅/玻璃组合片置于氢氟酸溶液中，腐蚀可动结构底部的牺牲氧化层，使刻蚀结构与玻璃片分离，得到基于硅/玻璃阳极键合的可动结构。制备的硅层厚度均匀性更高；工艺更为简单、成本低廉，是一种有应用前景的MEMS可动结构制备工艺。
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公开(公告)号：CN103193197B
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201310112200.1
申请日：2013-04-02
Applicant: 厦门大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种基于硅/玻璃阳极键合的微器件可动结构制备方法，涉及一种微机电系统传感器与制动器。提供一种基于硅/玻璃阳极键合的微器件可动结构制备方法。1）将玻璃片与硅片键合在一起，形成硅/玻璃组合片以及中间的牺牲氧化层；2）将步骤1）得到的硅/玻璃组合片的硅片减薄并抛光；3）在减薄后的硅片上刻蚀出可动结构；4）将硅/玻璃组合片置于氢氟酸溶液中，腐蚀可动结构底部的牺牲氧化层，使刻蚀结构与玻璃片分离，得到基于硅/玻璃阳极键合的可动结构。制备的硅层厚度均匀性更高；工艺更为简单、成本低廉，是一种有应用前景的MEMS可动结构制备工艺。
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公开(公告)号：CN102965743B
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201210548237.4
申请日：2012-12-17
Applicant: 厦门大学
IPC: D01D5/00
Abstract: 一种带辅助电极的纳米纤维低压电纺装置，涉及一种静电纺丝装置。设有直流高压电源、导电极板、阵列喷头、高压气源、导气管、辅助电极、风机、滚轴和收集板；所述直流高压电源的正极与导电极板连接，所述直流高压电源的负极接地；聚合物溶液设于导电极板上，电纺时在溶液上表面产生喷射射流；高压气源通过导气管与阵列喷头连接，为阵列喷头提供高压气体；阵列喷头设于辅助电极与导电极板之间，喷出气体用于改变纤维飞行方向，纳米纤维随气流从辅助电极间的间隙流过并向收集板沉积；辅助电极设于聚合物溶液上方两侧并接地；风机设于收集板上方，通过抽气作用使纤维沉积在收集板上；收集板设于辅助电极上方，作为纳米纤维的沉积基板。
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公开(公告)号：CN103420330B
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201310409343.9
申请日：2013-09-09
Applicant: 厦门大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种应用于微器件圆片级封装通孔金属互联的制作方法，涉及微器件封装工艺。提供基于气浮沉积技术，可实现各种形状通孔互联的一种适用于微机电系统中微器件圆片级封装通孔金属互联的制作方法，所述适用于微机电系统中微器件圆片级封装通孔金属互联的制作方法包括适用于微机电系统中微器件圆片级封装前通孔金属互联的制作方法或适用于微机电系统中微器件圆片级封装后通孔金属互联的制作方法。可克服现有圆片级封装过程中，通孔底部普遍存在影响电学可靠性的崩边现象，以及带有通孔结构晶圆表面难以图案化等问题。
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公开(公告)号：CN104178825A
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201410373008.2
申请日：2014-07-31
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种纳米纤维直径可控辅助诱导批量电纺装置，涉及电纺装置。设有溶液槽、出液阀门、纤维直径控制装置、超声激振器、进液管道、进液阀门、超声液面传感器、辅助诱导装置、工业CCD图像传感器、收集装置；纤维直径控制装置设有调整滑块、精密螺杆、光杆导杆；辅助诱导装置设有直线导轨、滑块、滑块连接杆、安装基座；收集装置送料辅助轧轮、收集板、送料滚筒、收集装置挂板、电机、主动进给滚筒、进给辅助轧轮。利用超声激振产生溶液波动，配合辅助诱导装置进行射流喷射控制；利用极板之间的间隙约束射流初始直径和迁移；用连续进给的收集装置，加辅助诱导，配合图像传感器识别，克服产量低、直径分布差异大、带珠状结构、喷头易堵塞等缺陷。
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