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公开(公告)号：CN105225928B
公开(公告)日：2017-11-07
申请号：CN201510533156.0
申请日：2015-08-27
Applicant: 厦门大学
IPC: H01L21/02
Abstract: 一种氧化锌单晶薄膜的制备方法，涉及半导体微电子与光电子材料。1)衬底预处理；2)衬底表面处理；3)缓冲层的生长；在377℃温度条件下，同时通入无等离子体激活的氧气和Zn金属源进行第一层缓冲层的生长；在255℃温度条件下，同时通入等离子体激活的氧气和Zn金属源进行第二层缓冲层的生长；4)氧化锌薄膜的生长；同时通入等离子体激活的氧气和Zn金属源进行氧化锌薄膜的生长，即完成氧化锌单晶薄膜的制备。在立方相衬底上，通过调节氧化锌生长过程中初始生长时氧气的活性，极大改善了由于晶格不匹配导致结晶质量差的问题，同时抑制了缺陷发光强的缺点，也克服高温生长对设备和生长条件的苛刻要求。
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公开(公告)号：CN105914190A
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201610289374.9
申请日：2016-05-04
Applicant: 厦门大学
IPC: H01L23/373 , H01L21/48
CPC classification number: H01L23/3735 , H01L21/4882
Abstract: 一种实现材料热整流的热整流器件及其制备方法，涉及热整流器件。热整流器件由上方形薄膜、下方形薄膜组成，样品设在上下方形薄膜之间；上方形薄膜上设有2个方形孔，上方形薄膜的厚度小于0.1mm，2个方形孔的长度均不超过上方形薄膜的边长的1/3,不小于边长的1/4；2个方形孔的宽度均不超过上方形薄膜边长的1/7,不小于边长的1/9；两方形孔的中心距离上方形薄膜中心的距离为上方形薄膜边长的1/5；下方形薄膜的中心设有方形孔，方形孔的边长为下方形薄膜边长的1/5。将上下方形薄膜的材料切割出大小边长相同的方形片，在上方形薄膜上刻蚀两个方形孔，在下方形薄膜上刻蚀一个方形孔；将上下方形薄膜贴合于样品正反面。
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公开(公告)号：CN105742158A
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201610085270.6
申请日：2016-02-15
Applicant: 厦门大学
IPC: H01L21/02
CPC classification number: H01L21/02403 , H01L21/02554 , H01L21/02631 , H01L21/02658
Abstract: 一种氧化镁衬底生长氧化锌薄膜的方法，涉及薄膜材料的制备。包括以下步骤：1)将衬底清洗后用氮气吹干，然后转入分子束外延生长系统，进行氧等离子退火；2)将步骤1)经氧等离子退火后的衬底进行氮等离子处理，随后进行镁原子沉积；3)在步骤2)完成后，通过低温生长氧化锌缓冲层和高温生长氧化锌薄膜，即完成氧化镁衬底生长氧化锌薄膜。采用分子束外延生长设备在MgO衬底上制备高质量氧化锌单晶样品，通过衬底表面预处理工艺，获得高质量的氧化锌单晶薄膜，可以运用于紫外发光、激光二极管等方面，有很大的应用前景，工艺简单，可重复性好。
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公开(公告)号：CN105138725A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201510429166.X
申请日：2015-07-21
Applicant: 厦门大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 一种制备热整流元器件的方法，涉及热整流元器件。在下导热层的上表面两端分别喷涂左导热层和右导热层，在左导热层和右导热层之间覆盖隔热材料层，在左导热层、右导热层和隔热材料层上覆盖上导热层，即得热整流元器件，所述上导热层与下导热层的导热性能不同。分别测量所制得的热整流元器件从上导热层上表面到下导热层下表面的第1热导率，以及从下导热层下表面到上导热层上表面的第2热导率；再对第1热导率和第2热导率进行数据处理，将两组数据导出，并求出各个温度下第1热导率和第2热导率的比值。上下传导过程中的大部分热流往左导热层和右导热层两条路径流通，中间的隔热材料层阻挡热流在该路径的流通。
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公开(公告)号：CN105084340A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201510385325.0
申请日：2015-06-30
Applicant: 厦门大学
IPC: C01B31/02
Abstract: 一种生物材料制备热整流元器件的方法，涉及热整流元器件。将天然生物材料标记好正反面，放入退火炉，设定退火温度，对生物材料进行碳化处理，将碳化处理后的样品进行机械切割，观测其截面微观结构，测量所得样品由正面到反面方向和由反面到正面方向的热扩散系数，并计算出样品的热整流系数，即得热整流元器件。将天然生物形态的材料通过简单的退火处理，制备出了具有热整流效应的元器件，该方法广泛适用于密度不均匀的天然生物材料，不管从制备方法的难易程度，还是从成本的高低，均具有很大的优势；且更容易投入工业生产。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104538549A
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201410839802.1
申请日：2014-12-30
Applicant: 厦门大学
IPC: H01L45/00
Abstract: SrTiO3单晶电阻开关器件的制备方法，涉及电阻开关器件。将未掺杂的SrTiO3单晶片清洗后放入石英玻璃管中，然后将石英玻璃管中的空气用氩气置换后密封；将获得的封装好的含有SrTiO3单晶片的石英玻璃管加热后，取出，冷却至室温，敲碎石英玻璃管即得高温退火后的SrTiO3单晶片；将高温退火后的SrTiO3单晶片镀金电极，取出后在SrTiO3单晶片的另一面滴上银胶，成为银电极，完成SrTiO3单晶电阻开关器件的制备。制备方法简单，易于操作，封装好的SrTiO3单晶片可直接在空气中加热。退火后的SrTiO3单晶片表面出现了丝状导电通电，不需要经过电铸过程就可以实现SrTiO3单晶片的开关性能。
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公开(公告)号：CN103928616B
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201410183050.8
申请日：2014-05-04
Applicant: 厦门大学
CPC classification number: Y02E10/549
Abstract: 钙钛矿氧化物SrTiO3在有机太阳能电池中的应用，涉及一种有机太阳能电池。所述应用是将钙钛矿氧化物SrTiO3作为有机太阳能电池的阴极修饰层。由钙钛矿氧化物SrTiO3作为阴极修饰层制备的有机太阳能电池表现出稳定的光伏特性曲线。利用溶液法制备钛矿氧化物SrTiO3纳米颗粒，通过不同的温度退火，再在钛矿氧化物SrTiO3纳米颗粒层上漩涂有机太阳能电池的活性层，镀上电极成为一个完整的电池。避免了正置结构中酸性阳极修饰层PEDOT：PSS的使用，即避免了PEDOT:PSS/活性层界面缺陷对载流子的复合作用，对有机太阳能电池的稳定性有潜在增强作用。
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公开(公告)号：CN105092630A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201510385338.8
申请日：2015-06-30
Applicant: 厦门大学
IPC: G01N25/00
Abstract: 一种锂离子电池电极材料热导率的分析和分类方法，涉及锂离子电池。锂离子电池电极材料中锂离子浓度的变化从x＝0～1，0表示材料中没有锂离子，1表示电极材料是没有缺陷的电极材料，中间值表示处于两种状态之间，中间值越大，锂离子的浓度越大；锂离子浓度从0变化到Xim时，定义为结构类型I；从Xim变化到Xmp时，定义为结构类型II；从Xmp变化到1时，定义为结构类型III；在不同结构类型下，计算出材料在锂离子整个变化过程中相应的热导率；找出不同结构类型的交叉点Xim、Xmp，定义一个结合结构类型，取出相应锂离子浓度段所对应的热导率，获得锂离子电池电极材料在整个充放电过程中的热导率与x的关系。
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公开(公告)号：CN114121596B
公开(公告)日：2025-01-03
申请号：CN202010873491.6
申请日：2020-08-26
Applicant: 厦门大学
IPC: H01L21/02 , H01L21/477 , H01L21/67
Abstract: 一种改变生长薄膜取向的方法，涉及真空蒸发沉积薄膜工艺。在室温下利用酒精、丙酮和去离子水对衬底进行清洗，在超声波清洗器中清洗以除去衬底表面的杂质，将清洗后的样品置入快速进样室；利用机械泵和涡轮分子泵获得10‑8mbar真空度的生长腔后，将衬底从快速进样室传送进生长设备的生长腔，在O气氛下对样品进行退火处理；同时通入等离子体激活的Zn金属源和Mg金属源进行2h的MgZnO薄膜的生长，生长完成后，将样品取出。可解决昂贵的六边形衬底、复杂的工艺条件以及极性和非极性的选择等相关问题，并实现纯净、可控、精确生长。可在温度、气压等各项工艺参数不变的情况下，在相同材料上沉积出结晶取向不同的生长薄膜。
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公开(公告)号：CN117646277A
公开(公告)日：2024-03-05
申请号：CN202410050731.0
申请日：2024-01-12
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种铜掺杂氧化锌单晶材料的制备方法，涉及半导体领域。包括以下步骤：1)将氧化锌单晶清洗后用氮气吹干，作为衬底；2)使用磁控溅射法在衬底表面制备一层铜膜；3)将步骤2)沉积薄膜后的衬底置于二维条状光斑连续激光腔内进行激光辐照，即完成制备铜掺杂氧化锌单晶材料。本发明采用一种可作为后处理过程的掺杂方法—激光诱导掺杂法，成功地实现了氧化锌单晶的铜掺杂，能有效地改变其光电性能，而且该方法简单易于操作、掺杂区域可控、掺杂浓度精准可控、直接写入一步完成，具有一定的经济价值。
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