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公开(公告)号：CN105225928B
公开(公告)日：2017-11-07
申请号：CN201510533156.0
申请日：2015-08-27
Applicant: 厦门大学
IPC: H01L21/02
Abstract: 一种氧化锌单晶薄膜的制备方法，涉及半导体微电子与光电子材料。1)衬底预处理；2)衬底表面处理；3)缓冲层的生长；在377℃温度条件下，同时通入无等离子体激活的氧气和Zn金属源进行第一层缓冲层的生长；在255℃温度条件下，同时通入等离子体激活的氧气和Zn金属源进行第二层缓冲层的生长；4)氧化锌薄膜的生长；同时通入等离子体激活的氧气和Zn金属源进行氧化锌薄膜的生长，即完成氧化锌单晶薄膜的制备。在立方相衬底上，通过调节氧化锌生长过程中初始生长时氧气的活性，极大改善了由于晶格不匹配导致结晶质量差的问题，同时抑制了缺陷发光强的缺点，也克服高温生长对设备和生长条件的苛刻要求。
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公开(公告)号：CN105551937B
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201510958197.4
申请日：2015-12-18
Applicant: 厦门大学
Abstract: 在氧化锌掺铝导电玻璃上可控生长氧化锌纳米结构的方法，涉及纳米材料的制备。提供一种工艺简单、成本低、无毒、沉积速率快、纯度高、无需添加催化剂的在氧化锌掺铝导电玻璃上可控生长氧化锌纳米结构的方法。1)将衬底清洗，去除表面污染物；2)将清洗后的衬底放入盛有锌粉的刚玉舟里，然后放入化学气相沉积炉内中央温度区并开始抽真空；3)待化学气相沉积炉内的真空度达到8.6mbar时，开始升温，对于三温区化学气相沉积炉，炉两侧温度分别升到250℃，中心区温度升到650℃；再通入氧气和氩气的混气气体；4)待步骤3)完成以后，系统进行降温，即可得到均匀的氧化锌纳米结构。
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公开(公告)号：CN105543795A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201510960178.5
申请日：2015-12-18
Applicant: 厦门大学
CPC classification number: C23C14/35 , C23C14/0635 , C23C14/5806
Abstract: 一种多晶碳化硅薄膜的生长方法，涉及碳化硅薄膜。提供可有效减少碳化硅薄膜内部的杂质和缺陷，避免薄膜中因为较大的张应力造成薄膜破裂现象，显著提高碳化硅薄膜质量的一种多晶碳化硅薄膜的生长方法。将清洗后的衬底送入磁控溅射仪溅射，溅射结束后降温，形成非晶碳化硅薄膜样品，退火后即得多晶碳化硅薄膜。采用磁控溅射设备在掺铝氧化锌衬底上制备多晶碳化硅薄膜样品，通过控制生长参数，得到尺寸均匀碳化硅薄膜，制备过程简单、工艺稳定、重复性好、无需使用有毒或危险气体，而且制得的多晶碳化硅薄膜沉积速率高、致密性好。可以应用于微电子、光伏行业。具有成本低、易于大面积生产、无污染等优点。
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公开(公告)号：CN105092630A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201510385338.8
申请日：2015-06-30
Applicant: 厦门大学
IPC: G01N25/00
Abstract: 一种锂离子电池电极材料热导率的分析和分类方法，涉及锂离子电池。锂离子电池电极材料中锂离子浓度的变化从x＝0～1，0表示材料中没有锂离子，1表示电极材料是没有缺陷的电极材料，中间值表示处于两种状态之间，中间值越大，锂离子的浓度越大；锂离子浓度从0变化到Xim时，定义为结构类型I；从Xim变化到Xmp时，定义为结构类型II；从Xmp变化到1时，定义为结构类型III；在不同结构类型下，计算出材料在锂离子整个变化过程中相应的热导率；找出不同结构类型的交叉点Xim、Xmp，定义一个结合结构类型，取出相应锂离子浓度段所对应的热导率，获得锂离子电池电极材料在整个充放电过程中的热导率与x的关系。
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公开(公告)号：CN105551937A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201510958197.4
申请日：2015-12-18
Applicant: 厦门大学
CPC classification number: H01L21/02425 , B82Y30/00 , H01L21/02472 , H01L21/02603 , H01L21/02609 , H01L21/0262
Abstract: 在氧化锌掺铝导电玻璃上可控生长氧化锌纳米结构的方法，涉及纳米材料的制备。提供一种工艺简单、成本低、无毒、沉积速率快、纯度高、无需添加催化剂的在氧化锌掺铝导电玻璃上可控生长氧化锌纳米结构的方法。1)将衬底清洗，去除表面污染物；2)将清洗后的衬底放入盛有锌粉的刚玉舟里，然后放入化学气相沉积炉内中央温度区并开始抽真空；3)待化学气相沉积炉内的真空度达到8.6mbar时，开始升温，对于三温区化学气相沉积炉，炉两侧温度分别升到250℃，中心区温度升到650℃；再通入氧气和氩气的混气气体；4)待步骤3)完成以后，系统进行降温，即可得到均匀的氧化锌纳米结构。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105138725A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201510429166.X
申请日：2015-07-21
Applicant: 厦门大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 一种制备热整流元器件的方法，涉及热整流元器件。在下导热层的上表面两端分别喷涂左导热层和右导热层，在左导热层和右导热层之间覆盖隔热材料层，在左导热层、右导热层和隔热材料层上覆盖上导热层，即得热整流元器件，所述上导热层与下导热层的导热性能不同。分别测量所制得的热整流元器件从上导热层上表面到下导热层下表面的第1热导率，以及从下导热层下表面到上导热层上表面的第2热导率；再对第1热导率和第2热导率进行数据处理，将两组数据导出，并求出各个温度下第1热导率和第2热导率的比值。上下传导过程中的大部分热流往左导热层和右导热层两条路径流通，中间的隔热材料层阻挡热流在该路径的流通。
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公开(公告)号：CN105084340A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201510385325.0
申请日：2015-06-30
Applicant: 厦门大学
IPC: C01B31/02
Abstract: 一种生物材料制备热整流元器件的方法，涉及热整流元器件。将天然生物材料标记好正反面，放入退火炉，设定退火温度，对生物材料进行碳化处理，将碳化处理后的样品进行机械切割，观测其截面微观结构，测量所得样品由正面到反面方向和由反面到正面方向的热扩散系数，并计算出样品的热整流系数，即得热整流元器件。将天然生物形态的材料通过简单的退火处理，制备出了具有热整流效应的元器件，该方法广泛适用于密度不均匀的天然生物材料，不管从制备方法的难易程度，还是从成本的高低，均具有很大的优势；且更容易投入工业生产。
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公开(公告)号：CN105084340B
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201510385325.0
申请日：2015-06-30
Applicant: 厦门大学
IPC: C01B31/02
Abstract: 一种生物材料制备热整流元器件的方法，涉及热整流元器件。将天然生物材料标记好正反面，放入退火炉，设定退火温度，对生物材料进行碳化处理，将碳化处理后的样品进行机械切割，观测其截面微观结构，测量所得样品由正面到反面方向和由反面到正面方向的热扩散系数，并计算出样品的热整流系数，即得热整流元器件。将天然生物形态的材料通过简单的退火处理，制备出了具有热整流效应的元器件，该方法广泛适用于密度不均匀的天然生物材料，不管从制备方法的难易程度，还是从成本的高低，均具有很大的优势；且更容易投入工业生产。
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公开(公告)号：CN105225928A
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201510533156.0
申请日：2015-08-27
Applicant: 厦门大学
IPC: H01L21/02
CPC classification number: H01L21/02433 , H01L21/02554 , H01L21/02631
Abstract: 一种氧化锌单晶薄膜的制备方法，涉及半导体微电子与光电子材料。1)衬底预处理；2)衬底表面处理；3)缓冲层的生长；在377℃温度条件下，同时通入无等离子体激活的氧气和Zn金属源进行第一层缓冲层的生长；在255℃温度条件下，同时通入等离子体激活的氧气和Zn金属源进行第二层缓冲层的生长；4)氧化锌薄膜的生长；同时通入等离子体激活的氧气和Zn金属源进行氧化锌薄膜的生长，即完成氧化锌单晶薄膜的制备。在立方相衬底上，通过调节氧化锌生长过程中初始生长时氧气的活性，极大改善了由于晶格不匹配导致结晶质量差的问题，同时抑制了缺陷发光强的缺点，也克服高温生长对设备和生长条件的苛刻要求。
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公开(公告)号：CN105070819A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201510385332.0
申请日：2015-06-30
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种调控氧化物材料热导率的方法，涉及热电材料。(1)取一片氧化物功能材料，清洗后，测量其热导率；(2)将步骤(1)中的氧化物功能材料放入抗高压的反应腔里，往反应腔中滴入H2O，封闭反应腔；(3)将处于超临界状态的CO2通入反应腔中，待反应腔中的气压降到常温常压后把氧化物功能材料取出，测量超临界流体处理后的氧化物功能材料样品的热导率；(4)比较超临界流体处理前后氧化物功能材料热导率的变化，得到超临界流体有效调控氧化物功能材料热导率的结果。处理过程中，温度条件容易满足；时间短、效率高；并且不会对材料造成损伤。
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