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公开(公告)号：CN107710046A
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201680029710.4
申请日：2016-05-23
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限公司
Inventor： 赫尔穆特·利珀特 , 尼尔斯·兰霍斯 , 拉尔夫·内茨 , 拉尔夫·沃利斯彻斯基
CPC classification number: G01B11/24 , G01B2210/50 , G02B21/0032 , G02B21/0064
Abstract: 本发明涉及一种宽场显微镜和一种使用宽场显微镜确定样本(14)的空间分辨高度信息的方法。所述宽场显微镜包括：照明源(1,52,53)，其布置在照明光束路径中；第一检测器单元(17,33)，用于检测在样本平面(P)中被照射的样本(14)的在观察光束路径中的宽场图像；调制器，用于在垂直于所述样本平面(P)的方向上对所述照明光束路径或所述观察光束路径进行色度调制；评估单元，用于确定所述宽场图像的每个像点中的色度共焦高度信息。所述方法包括以下步骤：使用照明光束路径中的宽带照明源(1)照明所述样本(14)；对所述照明光束路径或检测光束路径进行色度调制；从由所述检测光束路径中的所述样本反射或者确定的具有色度共焦分量的样本光检测至少一个宽场图像；依赖于所述色度调制，通过评估所述检测光束路径的色度共焦分量，从所述宽场图像逐像素地确定所述样本的高度信息。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106104356B
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201580014314.X
申请日：2015-03-19
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限公司
Inventor： 尼尔斯·兰霍斯 , 维克托·德雷舍 , 赫尔穆特·利珀特 , 沃尔夫冈·施韦特费格尔
CPC classification number: G02B21/008 , G01B11/24 , G02B21/0044 , G02B21/0084 , G02B21/06 , G02B21/361 , G02B21/367
Abstract: 本发明涉及一种共聚焦显微镜以及一种利用相关联的转盘光谱法来确定样品形貌的方法。使载物台和/或调焦控制器垂直地移动从而确定该形貌，同时以交替的方式捕获被置于载物台上的样品的第一和第二图像。将用于各图像的垂直焦点位置以元数据的形式加以存储。将两个第一和第二图像插值入中间图像中，并且通过利用在该位置的第二或第一图像来计算中间图像而生成用于特定垂直位置的共聚焦图像。
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公开(公告)号：CN106104356A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201580014314.X
申请日：2015-03-19
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限公司
Inventor： 尼尔斯·兰霍斯 , 维克托·德雷舍 , 赫尔穆特·利珀特 , 沃尔夫冈·施韦特费格尔
CPC classification number: G02B21/008 , G01B11/24 , G02B21/0044 , G02B21/0084 , G02B21/06 , G02B21/361 , G02B21/367 , G02B21/365
Abstract: 本发明涉及一种共聚焦显微镜以及一种利用相关联的转盘光谱法来确定样品形貌的方法。使载物台和/或调焦控制器垂直地移动从而确定该形貌，同时以交替的方式捕获被置于载物台上的样品的第一和第二图像。将用于各图像的垂直焦点位置以元数据的形式加以存储。将两个第一和第二图像插值入中间图像中，并且通过利用在该位置的第二或第一图像来计算中间图像而生成用于特定垂直位置的共聚焦图像。
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公开(公告)号：CN117870554A
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202311813872.5
申请日：2017-03-07
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限公司
Inventor： 汤姆斯·卡尔克布雷纳 , 赫尔穆特·利珀特
Abstract: 本发明涉及用于确定样品的高度信息的方法，以及一种扫描显微镜。所述方法包括以下步骤：生成照明点；使用所述照明点照射所述样品；捕获所述样品上的所述照明点的反射图像；评估所述图像的横向分布；根据所述横向分布确定所述高度信息；其中，所述照明点具有三维照明图案和/或探测光路中的图像具有三维探测图案。所述扫描显微镜的特征在于照明装置(07)和/或探测器装置包括用于生成三维图案的构件，所述三维图案具有在沿所述光学轴不对称的所述横向强度分布的变化；且所述评估装置配置成根据所述探测器信号确定高度信息。
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公开(公告)号：CN107710046B
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN201680029710.4
申请日：2016-05-23
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限公司
Inventor： 赫尔穆特·利珀特 , 尼尔斯·兰霍斯 , 拉尔夫·内茨 , 拉尔夫·沃利斯彻斯基
Abstract: 本发明涉及一种宽场显微镜和一种使用宽场显微镜确定样本(14)的空间分辨高度信息的方法。所述宽场显微镜包括：照明源(1,52,53)，其布置在照明光束路径中；第一检测器单元(17,33)，用于检测在样本平面(P)中被照射的样本(14)的在观察光束路径中的宽场图像；调制器，用于在垂直于所述样本平面(P)的方向上对所述照明光束路径或所述观察光束路径进行色度调制；评估单元，用于确定所述宽场图像的每个像点中的色度共焦高度信息。所述方法包括以下步骤：使用照明光束路径中的宽带照明源(1)照明所述样本(14)；对所述照明光束路径或检测光束路径进行色度调制；从由所述检测光束路径中的所述样本反射或者确定的具有色度共焦分量的样本光检测至少一个宽场图像；依赖于所述色度调制，通过评估所述检测光束路径的色度共焦分量，从所述宽场图像逐像素地确定所述样本的高度信息。
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公开(公告)号：CN107167084A
公开(公告)日：2017-09-15
申请号：CN201710131546.4
申请日：2017-03-07
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限公司
Inventor： 汤姆斯·卡尔克布雷纳 , 赫尔穆特·利珀特
CPC classification number: G01B11/0608 , G01B11/2518 , G01J1/44 , G01J2001/446 , G02B21/0028 , G02B21/0032 , G02B21/008 , G02B27/0927 , G01B9/04
Abstract: 本发明涉及用于确定样品的高度信息的方法，以及一种扫描显微镜。所述方法包括以下步骤：生成照明点；使用所述照明点照射所述样品；捕获所述样品上的所述照明点的反射图像；评估所述图像的横向分布；根据所述横向分布确定所述高度信息；其中，所述照明点具有三维照明图案和/或探测光路中的图像具有三维探测图案。所述扫描显微镜的特征在于照明装置(07)和/或探测器装置包括用于生成三维图案的构件，所述三维图案具有在沿所述光学轴不对称的所述横向强度分布的变化；且所述评估装置配置成根据所述探测器信号确定高度信息。
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