公开(公告)号：CN107710046B

公开(公告)日：2021-08-31

申请号：CN201680029710.4

申请日：2016-05-23

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限公司

Inventor： 赫尔穆特·利珀特 ,  尼尔斯·兰霍斯 ,  拉尔夫·内茨 ,  拉尔夫·沃利斯彻斯基

IPC: G02B21/00 ,  G01B11/24

Abstract: 本发明涉及一种宽场显微镜和一种使用宽场显微镜确定样本(14)的空间分辨高度信息的方法。所述宽场显微镜包括：照明源(1,52,53)，其布置在照明光束路径中；第一检测器单元(17,33)，用于检测在样本平面(P)中被照射的样本(14)的在观察光束路径中的宽场图像；调制器，用于在垂直于所述样本平面(P)的方向上对所述照明光束路径或所述观察光束路径进行色度调制；评估单元，用于确定所述宽场图像的每个像点中的色度共焦高度信息。所述方法包括以下步骤：使用照明光束路径中的宽带照明源(1)照明所述样本(14)；对所述照明光束路径或检测光束路径进行色度调制；从由所述检测光束路径中的所述样本反射或者确定的具有色度共焦分量的样本光检测至少一个宽场图像；依赖于所述色度调制，通过评估所述检测光束路径的色度共焦分量，从所述宽场图像逐像素地确定所述样本的高度信息。

公开(公告)号：CN107710046A

公开(公告)日：2018-02-16

申请号：CN201680029710.4

申请日：2016-05-23

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限公司

Inventor： 赫尔穆特·利珀特 ,  尼尔斯·兰霍斯 ,  拉尔夫·内茨 ,  拉尔夫·沃利斯彻斯基

IPC: G02B21/00 ,  G01B11/24

CPC classification number: G01B11/24 ,  G01B2210/50 ,  G02B21/0032 ,  G02B21/0064

Abstract: 本发明涉及一种宽场显微镜和一种使用宽场显微镜确定样本(14)的空间分辨高度信息的方法。所述宽场显微镜包括：照明源(1,52,53)，其布置在照明光束路径中；第一检测器单元(17,33)，用于检测在样本平面(P)中被照射的样本(14)的在观察光束路径中的宽场图像；调制器，用于在垂直于所述样本平面(P)的方向上对所述照明光束路径或所述观察光束路径进行色度调制；评估单元，用于确定所述宽场图像的每个像点中的色度共焦高度信息。所述方法包括以下步骤：使用照明光束路径中的宽带照明源(1)照明所述样本(14)；对所述照明光束路径或检测光束路径进行色度调制；从由所述检测光束路径中的所述样本反射或者确定的具有色度共焦分量的样本光检测至少一个宽场图像；依赖于所述色度调制，通过评估所述检测光束路径的色度共焦分量，从所述宽场图像逐像素地确定所述样本的高度信息。