公开(公告)号：CN117870554A

公开(公告)日：2024-04-12

申请号：CN202311813872.5

申请日：2017-03-07

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限公司

Inventor： 汤姆斯·卡尔克布雷纳 ,  赫尔穆特·利珀特

IPC: G01B11/06 ,  G02B21/00 ,  G01B11/25 ,  G01B9/04 ,  G01J1/44

Abstract: 本发明涉及用于确定样品的高度信息的方法，以及一种扫描显微镜。所述方法包括以下步骤：生成照明点；使用所述照明点照射所述样品；捕获所述样品上的所述照明点的反射图像；评估所述图像的横向分布；根据所述横向分布确定所述高度信息；其中，所述照明点具有三维照明图案和/或探测光路中的图像具有三维探测图案。所述扫描显微镜的特征在于照明装置(07)和/或探测器装置包括用于生成三维图案的构件，所述三维图案具有在沿所述光学轴不对称的所述横向强度分布的变化；且所述评估装置配置成根据所述探测器信号确定高度信息。

公开(公告)号：CN107167084A

公开(公告)日：2017-09-15

申请号：CN201710131546.4

申请日：2017-03-07

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限公司

Inventor： 汤姆斯·卡尔克布雷纳 ,  赫尔穆特·利珀特

IPC: G01B11/06 ,  G01B11/25 ,  G01B9/04

CPC classification number: G01B11/0608 ,  G01B11/2518 ,  G01J1/44 ,  G01J2001/446 ,  G02B21/0028 ,  G02B21/0032 ,  G02B21/008 ,  G02B27/0927 ,  G01B9/04

Abstract: 本发明涉及用于确定样品的高度信息的方法，以及一种扫描显微镜。所述方法包括以下步骤：生成照明点；使用所述照明点照射所述样品；捕获所述样品上的所述照明点的反射图像；评估所述图像的横向分布；根据所述横向分布确定所述高度信息；其中，所述照明点具有三维照明图案和/或探测光路中的图像具有三维探测图案。所述扫描显微镜的特征在于照明装置(07)和/或探测器装置包括用于生成三维图案的构件，所述三维图案具有在沿所述光学轴不对称的所述横向强度分布的变化；且所述评估装置配置成根据所述探测器信号确定高度信息。