空间光调制器中心位置干涉对准装置及方法

    公开(公告)号:CN108957716A

    公开(公告)日:2018-12-07

    申请号:CN201810476735.X

    申请日:2018-05-17

    Abstract: 空间光调制器中心位置干涉对准装置及方法,属于超精密光电测量技术领域。本发明基于等厚干涉原理,利用空间光调制器输出四象限相位图,通过简洁的光路结构获取干涉图,以实现入射光束中心与空间光调制器中心的对准。本发明方案利用泰曼干涉光路结构,通过四象限相位图实现楔形平板等厚干涉,利用图像处理技术提取入射圆光斑中心和空间光调制器中心位置,从而达到中心对准的目的。本发明对准精度高、使用灵活性大、系统结构简单,可广泛应用于许多光学系统的模拟设计和研究领域。

    微阵列表征系统和方法
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102077080B

    公开(公告)日:2014-06-18

    申请号:CN200980124080.9

    申请日:2009-06-23

    CPC classification number: G01N21/6452 B01L3/5027 G02B21/0028

    Abstract: 描述了一种用于检测样本中的多个分析物的系统和方法。表征系统(100)包括用于产生多个激发子束并且将这些激发子束聚焦到衬底的不同子区上的孔径阵列(108)和透镜阵列(110)。这些子区可以设有用于结合样本中的不同分析物的不同结合位点。通过在检测器中检测不同的发光响应,可以同时确定不同分析物的存在性或数量。可替换地或者除此之外,可以使用透镜阵列执行发光辐射的收集,该透镜阵列用于直接地收集发光响应并且用于将收集的发光响应引导到相应的孔径。在一个优选的实施例中,激发子束聚焦到与透镜阵列相对的衬底一侧,并且在透镜阵列与衬底之间提供浸没流体以便增大发光辐射的收集效率。

    显微镜照明系统及方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103135220A

    公开(公告)日:2013-06-05

    申请号:CN201210495458.X

    申请日:2012-11-28

    Inventor: C·舒尔茨

    Abstract: 一种显微镜照明系统,用于在第一、共焦和第二、非共焦显微镜照明模式之间进行转换,该系统具有用以提供第一显微镜照明模式的显微镜照明单元(100),包括:照明源装置(10),用于产生平行于光轴(9)传播的照明光束(16);扫描镜装置(2),用于在垂直于光轴的平面中偏转照明光束(16);扫描目镜(3)和下游扫描镜筒透镜(5),用于将扫描镜装置(2)成像在显微镜目镜(7)的后焦面(6)上,并扩展照明光束(16),显微镜目镜(7)将照明光束聚焦在待检查的样本(8)上。为了提供特别用于定位显微镜的第二显微镜照明模式,该单元(100)具有聚焦透镜(4),该聚焦透镜可被插入照明光束(16)的路径中从而使得照明光束被聚焦在显微镜目镜(7)的后焦面(6)上。

    扫描共焦显微术中的改进以及与之相关的改进

    公开(公告)号:CN102914861A

    公开(公告)日:2013-02-06

    申请号:CN201210236769.4

    申请日:2007-09-14

    Abstract: 本发明提供了用于将光束输入到从扫描共焦显微系统的共焦扫描头(102)延伸到显微镜(104)的光路中以照射安装在显微镜中的样本的选定区域的组件(100)和方法。所述组件包括光输入端,用于接收来自光源的光束;射束引导装置(8、12),用于根据样本的选定区域的形状来控制光束的路径;以及射束耦合器(16),用于将光束选择性地耦合到从共焦扫描头(102)到显微镜(104)的光路中,其中由射束引导装置来控制射束方向以便照射选定区域。本发明还描述了一种包括这种组件的扫描共焦显微系统,以及校准该系统的方法。此外,公开了一种用于在两个路径之间选择性地切换光束的光开关。

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