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公开(公告)号：CN117702077A
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202311571692.0
申请日：2023-11-23
Applicant: 南昌大学 , 南昌硅基半导体科技有限公司 , 南昌实验室
IPC: C23C16/18 , C23C16/458
Abstract: 本发明提供一种用于MOCVD设备的衬体载盘旋转驱动装置。在MOCVD真空反应腔内通过内转子轴承安装有旋转支撑件，MOCVD真空反应腔外相应位置设有外电磁线圈；旋转支撑件上方连接支撑衬体载盘，旋转支撑件下方镶嵌有磁性材料镶嵌块，磁性材料镶嵌块与外电磁线圈产生驱动力耦合。本发明将驱动电机和MOCVD真空反应腔集成为一体，采用电磁直驱方式驱动MOCVD衬体载盘转动，缩短系统传动链，提升了系统动态特性，实现近零传动。
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公开(公告)号：CN117772714A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202410044008.1
申请日：2024-01-12
Applicant: 南昌大学 , 南昌硅基半导体科技有限公司 , 南昌实验室
Abstract: 本发明公开了一种MOCVD反应腔的清洁系统及清洁方法。所述清洁系统包括激光装置、清洁装置。其中，激光装置安装于MOCVD反应腔的侧面，且激光装置的轴线与MOCVD反应腔的法线方向的夹角为α；清洁装置偏置在MOCVD反应腔的下方，清洁装置的轴线和MOCVD反应腔的轴线距离为D1。激光装置发射的激光束经清洁装置调整路径后到达MOCVD反应腔的内表面，实现对MOCVD反应腔的内腔表面的清洁。通过设置激光束的能量密度，可以确保MOCVD反应腔的清理效果又不会破坏MOCVD反应腔。清洁装置在清洁过程中持续吸收飞溅颗粒，防止飞溅颗粒扩散到其他区域。该清洁系统具有非接触、高效率、灵活性高等优点。
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公开(公告)号：CN118042672B
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410437484.X
申请日：2024-04-12
Applicant: 南昌大学 , 南昌硅基半导体科技有限公司 , 南昌实验室
IPC: H05B45/30 , H05B45/20 , H05B45/345 , H05B45/56 , H05B47/165
Abstract: 本发明公开了一种多基色LED无粉光源的配光装置及配光方法，该装置包括系统控制单元、混光单元、光谱采集单元、温度控制单元、驱动单元，混光单元中布置了光谱探头、热沉以及置于热沉上的多基色LED无粉光源；其中，温度控制单元接收到系统控制单元发送的温度设置指令改变热沉的温度，从而改变多基色LED无粉光源基板的温度，驱动单元在接收到系统控制单元发送的各路电流设置指令改变多基色LED无粉光源的每路电流大小，光谱采集单元与光谱探头电信连接，以在某个温度和电流组合下点亮多基色LED无粉光源后，获取光谱探头采集到的多基色LED无粉光源发出的光色数据。本发明中解决了现有技术中配光不准确的问题。
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公开(公告)号：CN117587379A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202311585344.9
申请日：2023-11-27
Applicant: 南昌大学 , 南昌硅基半导体科技有限公司 , 南昌实验室
IPC: C23C16/18 , C23C16/455 , C23C16/52
Abstract: 本发明公开了一种用于提升MOCVD薄膜生长均匀性的装置。该装置通过设置气体屏蔽分流罩，在分流罩上开设规律分布的通气孔；利用通气孔通气面积及其分布的变化，调节气体通路各处的流导，从而促使MOCVD反应腔内气体在外延衬体表面流动时形成更为均匀稳定的层流，最终助力于MOCVD薄膜生长均匀性的提升。另外该气体屏蔽分流罩兼具热屏蔽功能，可以降低MOCVD反应腔内的温度梯度，同时可以减少MOCVD反应腔的热损耗，实现节能降耗。
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公开(公告)号：CN117772714B
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202410044008.1
申请日：2024-01-12
Applicant: 南昌大学 , 南昌硅基半导体科技有限公司 , 南昌实验室
Abstract: 本发明公开了一种MOCVD反应腔的清洁系统及清洁方法。所述清洁系统包括激光装置、清洁装置。其中，激光装置安装于MOCVD反应腔的侧面，且激光装置的轴线与MOCVD反应腔的法线方向的夹角为α；清洁装置偏置在MOCVD反应腔的下方，清洁装置的轴线和MOCVD反应腔的轴线距离为D1。激光装置发射的激光束经清洁装置调整路径后到达MOCVD反应腔的内表面，实现对MOCVD反应腔的内腔表面的清洁。通过设置激光束的能量密度，可以确保MOCVD反应腔的清理效果又不会破坏MOCVD反应腔。清洁装置在清洁过程中持续吸收飞溅颗粒，防止飞溅颗粒扩散到其他区域。该清洁系统具有非接触、高效率、灵活性高等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119403010A
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202411548556.4
申请日：2024-11-01
Applicant: 南昌大学 , 南昌硅基半导体科技有限公司 , 南昌实验室
IPC: H05B45/30 , H05B45/355 , H05B45/36 , H05B45/345
Abstract: 本发明公开了一种大功率全氮化镓LED驱动电源电路，包括EMI滤波与整流电路、GaN有源功率因数校正电路、GaN半桥LLC谐振变换器电路、GaN同步整流滤波电路；还包括集成了功率因数校正和谐振电路频率调节功能的PFC和LLC组合控制模块，GaN有源功率因数校正电路通过连接PFC和LLC组合控制模块实现功率因数校正，GaN半桥LLC谐振变换器电路通过连接PFC和LLC组合控制模块实现输出功率调节；在所述GaN同步整流滤波电路与PFC和LLC组合控制模块之间设置有用于输出电流电压检测反馈的恒流限压反馈电路。利用GaN开关管高效和电路工作频率高的优势，降低功率损耗和散热需求，有利于提高LED电源的效率和功率密度。本发明具有高效率、高功率密度和高可靠性等优点。
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公开(公告)号：CN118042672A
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202410437484.X
申请日：2024-04-12
Applicant: 南昌大学 , 南昌硅基半导体科技有限公司 , 南昌实验室
IPC: H05B45/30 , H05B45/20 , H05B45/345 , H05B45/56 , H05B47/165
Abstract: 本发明公开了一种多基色LED无粉光源的配光装置及配光方法，该装置包括系统控制单元、混光单元、光谱采集单元、温度控制单元、驱动单元，混光单元中布置了光谱探头、热沉以及置于热沉上的多基色LED无粉光源；其中，温度控制单元接收到系统控制单元发送的温度设置指令改变热沉的温度，从而改变多基色LED无粉光源基板的温度，驱动单元在接收到系统控制单元发送的各路电流设置指令改变多基色LED无粉光源的每路电流大小，光谱采集单元与光谱探头电信连接，以在某个温度和电流组合下点亮多基色LED无粉光源后，获取光谱探头采集到的多基色LED无粉光源发出的光色数据。本发明中解决了现有技术中配光不准确的问题。
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公开(公告)号：CN117878224A
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202410277238.2
申请日：2024-03-12
Applicant: 南昌实验室
Abstract: 本发明涉及发光二极管，具体涉及LED封装结构、封装方法和无荧光粉的LED。在本发明中，采用具有顶部球面和侧方平面的高折射率的封装胶层进行封装，能够增大顶部球面的直径，解决LED芯片光线出射过程中的全反射问题，提高一次光提取效率；利用高反射率反射层，减少光吸收，提高二次光提取效率；集成齐纳二极管，实现LED封装稳压和防静电击穿。
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公开(公告)号：CN117832058A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202311774116.6
申请日：2023-12-22
Applicant: 南昌大学 , 南昌硅基半导体科技有限公司 , 南昌实验室
Abstract: 本发明公开了一种硅衬底上低温沉积氮化物薄膜的方法：采用化学法对单晶硅衬底进行预清洗及钝化：将硅衬底放入预先烘烤的真空腔室内，通入气体，利用真空腔室内的射频等离子体源对气体进行离化生成等离子体，等离子体对硅衬底进行物理和化学刻蚀；通入氮源气体，通过射频等离子体源将氮源气体激发为氮等离子体，氮等离子体与硅衬底进行预结合；启动真空腔室内的金属束源炉，将金属原子束流直接喷射到处理后获得的硅衬底上，金属原子束流在硅衬底表面与氮等离子体发生反应；硅衬底旋转周期性地依次通过束源炉和射频等离子体源上方，进行低温氮化物薄膜的逐层沉积。通过精确控制各工艺参数，获得的氮化物薄膜表面平整、无孔洞或突起缺陷，实现了原子级平整度氮化物薄膜的低温生长。
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公开(公告)号：CN221529972U
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202420065515.9
申请日：2024-01-11
Applicant: 南昌实验室
IPC: H01L33/48 , H01L33/62 , H01L33/58 , H01L25/075
Abstract: 本实用新型公开了一种金黄光无荧光粉照明光源，包括：至少一组LED芯片阵列单元、封装基板、固晶层、引线和光学透镜，芯片阵列单元包括均通过固晶层键合在封装基板上的四颗芯片，并通过引线分别与封装基板上对应的电路连接，光学透镜罩合芯片阵列单元并与封装基板连接，第一芯片与第四芯片均为同一光色系芯片，第二芯片与第三芯片为同一光色系芯片且与第一芯片的光色系不同，第一芯片与第四芯片的光线主波长不同且呈对角分布，第二芯片与第三芯片的光线主波长不同且呈对角分布，芯片包括黄绿光和红光两种光色系。本实用新型利用两颗不同主波长的黄绿光芯片与两颗不同主波长的红光芯片合成低色温光源，光源颜色准确，芯片的利用率高。
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