公开(公告)号：CN117983968A

公开(公告)日：2024-05-07

申请号：CN202410102933.5

申请日：2024-01-24

Applicant: 南方科技大学

Inventor： 徐少林 ,  姚丽 ,  徐康 ,  黄凌羽 ,  黄沛霖 ,  李宗尧 ,  仲帅 ,  于洪宇

IPC: B23K26/36 ,  B23K26/70 ,  B23K26/064 ,  C03C15/00 ,  B23K103/00

Abstract: 本申请提出一种玻璃三维微结构制备方法和装置，方法包括：获取待制备的目标三维结构，并根据目标三维结构确定目标曲面；根据目标曲面确定多个目标光点的坐标；根据目标光点的坐标确定与每个目标光点对应的相位；根据所有目标光点的相位确定多个全息相位图；通过全息相位图调制加工光束，以将加工光束先后调制为与每个全息相位图对应的多焦点光斑；通过多焦点光斑烧蚀基材，以在基材内部的每个目标光点的位置形成烧蚀点；对基材进行化学腐蚀，以使烧蚀点连接，形成目标三维结构。本申请通过激光烧蚀配合化学腐蚀，能高效制备三维微结构，通过化学腐蚀降低三维微结构的表面粗糙度，提高其表面的平滑度，可以高效地制备高精度的玻璃三维微结构。

公开(公告)号：CN117428340A

公开(公告)日：2024-01-23

申请号：CN202311324833.9

申请日：2023-10-12

Applicant: 南方科技大学

Inventor： 徐少林 ,  徐康 ,  黄沛霖 ,  黄凌羽 ,  姚丽 ,  李宗尧 ,  陈剑涛

IPC: B23K26/362 ,  B23K26/064 ,  B23K26/70 ,  C03C15/00 ,  C03C23/00

Abstract: 本申请提出一种玻璃微槽加工方法和装置、玻璃制品。方法包括：根据待加工材料的目标槽型确定对应的第一相位和第二相位；根据第一相位和第二相位确定目标相位图；根据目标相位图对激光进行调制，得到第一光束；将第一光束进行聚焦，形成多焦点光斑，并通过多焦点光斑扫描待加工材料；在扫描的过程中控制待加工材料移动，以在待加工材料形成多个裂纹；对待加工材料进行化学腐蚀，以使多个裂纹连接，形成目标槽型。本申请将闪耀光栅相位和菲涅尔透镜相位叠加后对激光进行调制，形成按目标槽型分布的多焦点光斑，使用光斑扫描待加工材料形成裂纹，再腐蚀待加工材料，使得裂纹区域从待加工材料脱落，形成玻璃微槽，从而精确控制的玻璃微槽的形状。