公开(公告)号：CN117983968A

公开(公告)日：2024-05-07

申请号：CN202410102933.5

申请日：2024-01-24

Applicant: 南方科技大学

Inventor： 徐少林 ,  姚丽 ,  徐康 ,  黄凌羽 ,  黄沛霖 ,  李宗尧 ,  仲帅 ,  于洪宇

IPC: B23K26/36 ,  B23K26/70 ,  B23K26/064 ,  C03C15/00 ,  B23K103/00

Abstract: 本申请提出一种玻璃三维微结构制备方法和装置，方法包括：获取待制备的目标三维结构，并根据目标三维结构确定目标曲面；根据目标曲面确定多个目标光点的坐标；根据目标光点的坐标确定与每个目标光点对应的相位；根据所有目标光点的相位确定多个全息相位图；通过全息相位图调制加工光束，以将加工光束先后调制为与每个全息相位图对应的多焦点光斑；通过多焦点光斑烧蚀基材，以在基材内部的每个目标光点的位置形成烧蚀点；对基材进行化学腐蚀，以使烧蚀点连接，形成目标三维结构。本申请通过激光烧蚀配合化学腐蚀，能高效制备三维微结构，通过化学腐蚀降低三维微结构的表面粗糙度，提高其表面的平滑度，可以高效地制备高精度的玻璃三维微结构。

公开(公告)号：CN117430339A

公开(公告)日：2024-01-23

申请号：CN202311307751.3

申请日：2023-10-10

Applicant: 南方科技大学

Inventor： 徐少林 ,  李峻 ,  仲帅

IPC: C03C15/00 ,  C03C23/00

Abstract: 本申请提出一种玻璃微槽加工方法和系统、玻璃制品，方法包括：将激光整形为贝塞尔光束；通过贝塞尔光束对玻璃基板进行照射；在照射的过程中控制玻璃基板按照预设路径移动，以使改性线移动形成改性面；将形成改性面后的玻璃基板置于刻蚀溶液进行刻蚀，以在玻璃基板的表面形成目标微槽。本申请仅对目标微槽的槽底角的角平分线所构成的面的位置进行照射，极大缩短了激光扫描时间，同时通过规划玻璃基板沿目标微槽的槽底角的角平分线的轨迹移动，可以灵活地制备不同形状的由玻璃微槽构成的玻璃微结构，利用化学刻蚀的抛光作用，有效提高了玻璃微槽的质量。本申请可以高效、灵活地制备高质量玻璃微槽及由玻璃微槽构成的玻璃微结构。