一种低损耗的拱柱芯微纳波导

    公开(公告)号:CN112526674B

    公开(公告)日:2022-10-14

    申请号:CN202011599413.8

    申请日:2020-12-30

    Abstract: 本发明公开了一种低损耗的拱柱芯微纳波导,包括衬底;所述衬底的顶部两侧设置有支撑层;所述支撑层的顶部设置有金属层;两侧支撑层之间设置有高折射率层;所述高折射率层为拱柱状结构;所述高折射率层周围的空气构成低折射率区域。该拱柱芯微纳波导可将光场限制在中间层的低折射率介质区域中,整个波导结构同时具有较强的模式限制能力和较长的传输距离。该混合等离激元波导结构简单,结构集成度高且容易制备,为实现更高集成度的光子器件提供了可能。

    一种基于空气槽辅助混合等离激元波导的TM通偏振滤波器

    公开(公告)号:CN119986903A

    公开(公告)日:2025-05-13

    申请号:CN202510381829.9

    申请日:2025-03-28

    Abstract: 本发明公开了一种基于空气槽辅助混合等离激元波导的TM通偏振滤波器,属于光子集成电路技术领域。包括衬底、支撑层、高折射率波导区域、间隔层和金属层;高折射率波导区域设于衬底上表面的中间位置,支撑层相对设于衬底上表面的两侧;间隔层和金属层依次设于支撑层的顶部,且通过支撑层支撑于高折射率波导区域上方;高折射率波导区域包括依次连接、且宽度和高度一致的输入硅波导、第一模式转换区域、空气槽辅助混合等离激元波导、第二模式转换区域和输出硅波导;空气槽辅助混合等离激元波导的中部贯穿设有矩形空气槽,第一模式转换区域和第二模式转换区域的中部均贯穿设有梯形空气槽。本发明实现了TM通偏振器在超紧凑尺寸下的高性能集成。

    一种低损耗的拱柱芯微纳波导

    公开(公告)号:CN112526674A

    公开(公告)日:2021-03-19

    申请号:CN202011599413.8

    申请日:2020-12-30

    Abstract: 本发明公开了一种低损耗的拱柱芯微纳波导,包括衬底;所述衬底的顶部两侧设置有支撑层;所述支撑层的顶部设置有金属层;两侧支撑层之间设置有高折射率层;所述高折射率层为拱柱状结构;所述高折射率层周围的空气构成低折射率区域。该拱柱芯微纳波导可将光场限制在中间层的低折射率介质区域中,整个波导结构同时具有较强的模式限制能力和较长的传输距离。该混合等离激元波导结构简单,结构集成度高且容易制备,为实现更高集成度的光子器件提供了可能。

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