公开(公告)号：CN119986903A

公开(公告)日：2025-05-13

申请号：CN202510381829.9

申请日：2025-03-28

Applicant: 南京邮电大学

Inventor： 许吉 ,  程慧超 ,  于蓓蓓 ,  刘碧荧 ,  李雨辰 ,  刘宁 ,  陆云清

IPC: G02B6/12 ,  G02B6/122 ,  G02B6/14 ,  G02B27/28

Abstract: 本发明公开了一种基于空气槽辅助混合等离激元波导的TM通偏振滤波器，属于光子集成电路技术领域。包括衬底、支撑层、高折射率波导区域、间隔层和金属层；高折射率波导区域设于衬底上表面的中间位置，支撑层相对设于衬底上表面的两侧；间隔层和金属层依次设于支撑层的顶部，且通过支撑层支撑于高折射率波导区域上方；高折射率波导区域包括依次连接、且宽度和高度一致的输入硅波导、第一模式转换区域、空气槽辅助混合等离激元波导、第二模式转换区域和输出硅波导；空气槽辅助混合等离激元波导的中部贯穿设有矩形空气槽，第一模式转换区域和第二模式转换区域的中部均贯穿设有梯形空气槽。本发明实现了TM通偏振器在超紧凑尺寸下的高性能集成。