一种接收光谱式气体传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN118730924A

    公开(公告)日:2024-10-01

    申请号:CN202410750370.0

    申请日:2024-06-12

    Abstract: 本申请涉及气体传感器技术领域,具体而言,涉及一种接收光谱式气体传感器及其制备方法。其中,接收光谱式气体传感器,包括:主体,包括第一衬底和第二衬底,第一衬底和第二衬底相互平行,第一衬底和第二衬底之间设置有气体腔;发光单元,设置于第一衬底,用于向气体腔内发出多束检测光;多个探测器,设置于第一衬底,并围绕发光单元的周向间隔分布;多个反射器,设置于第二衬底并与多个探测器相对应,能够反射多束检测光以使多束检测光分别被多个探测器接收。本申请实施例的接收光谱式气体传感器,能够实现多光路检测,有利于改善现有接收光谱式气体传感器因气体分散不均匀而导致检测误差的问题。

    一种气体传感器及其加工方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117783220A

    公开(公告)日:2024-03-29

    申请号:CN202311770190.0

    申请日:2023-12-21

    Abstract: 本发明公开了一种气体传感器及其加工方法,属于气体传感器技术领域,加工方法包括:在硅衬底上依次形成氧化层、氮化物层、加热电极和绝缘层;去除第一预设区域内的氮化物层和绝缘层,由剩余的氮化物层分别形成氮化物岛层和氮化物支撑层,由剩余的绝缘层分别形成绝缘岛层和绝缘支撑层,由氮化物岛层、加热电极和绝缘岛层形成岛部加热组件,并利用连接件连接岛部加热组件和绝缘支撑层;去除第二预设区域内的硅衬底和氧化层,由第二预设区域形成隔热槽;在绝缘岛层上形成具有片上去除湿度干扰结构的敏感电极。本发明提供的气体传感器加工方法,加工工艺简单,加工而成的气体传感器具有片上去除湿度干扰结构,灵敏度高、使用寿命长。

    一种阵列式多温区的气体传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN115901864B

    公开(公告)日:2024-01-19

    申请号:CN202211473397.7

    申请日:2022-11-23

    Abstract: 本发明公开了一种阵列式多温区的气体传感器及其制备方法,包括衬底层以及设于衬底层上的珀尔帖控温单元至少二组珀尔帖控温单元;珀尔帖控温单元包括分离设于衬底层上珀尔帖放热单元、珀尔帖吸热单元,珀尔帖放热单元、珀尔帖吸热单元顶面依次设有导热层以及导热层顶面设置的绝缘层和保护层;保护层顶面阵列排布有若干组气敏电极,各组气敏电极上设有不同种类和厚度的气敏材料层。本发明的气体传感器,合理布置珀尔帖控温单元结构,实现温度精确选择和控制,提高气体传感器准确性和稳定性;采用阵列式分布有多个气敏电极和气敏材料层,实现多温区布局,提高气体传感器的检测能力;温控结构具有工艺兼容、体积小、响应速度快、调理电路简单、高精度控温等优点。

    一种阵列式多温区的气体传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN115901864A

    公开(公告)日:2023-04-04

    申请号:CN202211473397.7

    申请日:2022-11-23

    Abstract: 本发明公开了一种阵列式多温区的气体传感器及其制备方法,包括衬底层以及设于衬底层上的珀尔帖控温单元至少二组珀尔帖控温单元;珀尔帖控温单元包括分离设于衬底层上珀尔帖放热单元、珀尔帖吸热单元,珀尔帖放热单元、珀尔帖吸热单元顶面依次设有导热层以及导热层顶面设置的绝缘层和保护层;保护层顶面阵列排布有若干组气敏电极,各组气敏电极上设有不同种类和厚度的气敏材料层。本发明的气体传感器,合理布置珀尔帖控温单元结构,实现温度精确选择和控制,提高气体传感器准确性和稳定性;采用阵列式分布有多个气敏电极和气敏材料层,实现多温区布局,提高气体传感器的检测能力;温控结构具有工艺兼容、体积小、响应速度快、调理电路简单、高精度控温等优点。

    一种无源无线气体传感器
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116106376A

    公开(公告)日:2023-05-12

    申请号:CN202211433584.2

    申请日:2022-11-16

    Abstract: 本发明属于无源无线气体传感器技术领域,公开了一种无源无线气体传感器,气体传感器包括硅衬底层,在硅衬底层上设置有上介电层和下介电层,在上介电层和下介电层之间设置有多晶硅导电层,气体传感器还包括设置在所述上介电层上方的无源无线气敏结构单元和设置在所述硅衬底层下方的无源无线温控结构单元,无源无线气敏结构单元与无源无线温控结构单元电互联,无源无线气敏结构单元包括气敏信号读取线圈和气敏电极单元,无源无线温控结构单元的温控信号由温控线圈和片上开关单元构成。本发明提高气体传感器结构的集成度和稳定性,具有无源无线温度控制功能,进而简化温度调理电路的复杂度,该无源无线气体传感器高灵敏度、稳定性好。

    一种从静电力显微镜探测图像中提取表面电势信号的方法

    公开(公告)号:CN108195921B

    公开(公告)日:2020-06-23

    申请号:CN201711325080.8

    申请日:2017-12-13

    Abstract: 本发明公开了一种从静电力显微镜探测图像中提取表面电势信号的方法,包括:利用静电力显微镜探测试样表面,获得试样的二维静电力显微探测图像;利用格林函数理论和有限元数值计算方法,建立静电力显微信号与试样表面电势信号之间的定量卷积模型;利用数字信号处理方法对建立定量卷积模型离散化,及利用维纳滤波方法对二维静电力显微探测图像反卷积处理获得频域空间试样表面电势与静电力显微信号之间的关系式,并进行二维傅立叶逆变换获得试样的表面电势信号。本发明充分考虑到探针侧壁的影响,因此建模更加准确,且具有一定的普遍性,适用于表面电势信号不随时间变化的测试对象。

    一种气相掺杂铜锌锡硫薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN116516302A

    公开(公告)日:2023-08-01

    申请号:CN202310067533.0

    申请日:2023-01-31

    Abstract: 本发明公开一种气相掺杂铜锌锡硫薄膜及其制备方法,本发明首先使用溅射的方法在衬底上沉积铜锌锡硫预置层薄膜,然后将预置层薄膜在预先干燥有掺杂元素的石英管中以一定的退火处理工艺得到铜锌锡硫吸收层。本发明的优点在于:无需考虑掺杂元素的相溶性或挥发性等问题、制备工艺简单、薄膜成分可控,相较于传统铜锌锡硫薄膜的元素掺杂方法,其元素分布,晶粒尺寸的均匀性有很大提高,在太阳电池材料与器件技术领域方面具有巨大的应用潜力。

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