公开(公告)号：CN116106376A

公开(公告)日：2023-05-12

申请号：CN202211433584.2

申请日：2022-11-16

Applicant: 南京邮电大学 ,  南京邮电大学南通研究院有限公司

Inventor： 任青颖 ,  蔡炜铭 ,  李政杰 ,  沙凯文 ,  黄宁浩 ,  李金泽 ,  李卫

IPC: G01N27/22 ,  G01K7/36

Abstract: 本发明属于无源无线气体传感器技术领域，公开了一种无源无线气体传感器，气体传感器包括硅衬底层，在硅衬底层上设置有上介电层和下介电层，在上介电层和下介电层之间设置有多晶硅导电层，气体传感器还包括设置在所述上介电层上方的无源无线气敏结构单元和设置在所述硅衬底层下方的无源无线温控结构单元，无源无线气敏结构单元与无源无线温控结构单元电互联，无源无线气敏结构单元包括气敏信号读取线圈和气敏电极单元，无源无线温控结构单元的温控信号由温控线圈和片上开关单元构成。本发明提高气体传感器结构的集成度和稳定性，具有无源无线温度控制功能，进而简化温度调理电路的复杂度，该无源无线气体传感器高灵敏度、稳定性好。