一种基于环形谐振器的频率调制MEMS加速度计

    公开(公告)号:CN119291230A

    公开(公告)日:2025-01-10

    申请号:CN202411827980.2

    申请日:2024-12-12

    Abstract: 本发明公开了一种基于环形谐振器的频率调制MEMS加速度计,包括两个中心对称的谐振器Ⅰ和谐振器Ⅱ,谐振器Ⅰ和谐振器Ⅱ左右对称连接于质量块上,谐振器Ⅰ和谐振器Ⅱ均包括位于中间的环形结构,中间的环形结构通过四组第一解耦梁与位于环形结构中间的中心锚点连接,中心锚点固定于衬底上,环形结构左右侧分别连接有一个驱动检测电极、前后侧分别连接有一个静电调谐电极,所述驱动检测电极和静电调谐电极均是变面积梳齿电极,每个静电调谐电极的左右两侧分别与左右侧的位移平衡杠杆的前后端处连接,每个位移平衡杠杆的前后端处分别通过第二解耦梁与前后侧的L型梁连接。本发明有利于自激振荡准确捕捉谐振器的固有频率、提升控制精度。

    一种基于环形谐振器的频率调制MEMS加速度计

    公开(公告)号:CN119291230B

    公开(公告)日:2025-03-11

    申请号:CN202411827980.2

    申请日:2024-12-12

    Abstract: 本发明公开了一种基于环形谐振器的频率调制MEMS加速度计,包括两个中心对称的谐振器Ⅰ和谐振器Ⅱ,谐振器Ⅰ和谐振器Ⅱ左右对称连接于质量块上,谐振器Ⅰ和谐振器Ⅱ均包括位于中间的环形结构,中间的环形结构通过四组第一解耦梁与位于环形结构中间的中心锚点连接,中心锚点固定于衬底上,环形结构左右侧分别连接有一个驱动检测电极、前后侧分别连接有一个静电调谐电极,所述驱动检测电极和静电调谐电极均是变面积梳齿电极,每个静电调谐电极的左右两侧分别与左右侧的位移平衡杠杆的前后端处连接,每个位移平衡杠杆的前后端处分别通过第二解耦梁与前后侧的L型梁连接。本发明有利于自激振荡准确捕捉谐振器的固有频率、提升控制精度。

    一种基于电流变液技术的起重机械防摇装置及防摇方法

    公开(公告)号:CN109368494A

    公开(公告)日:2019-02-22

    申请号:CN201811310703.9

    申请日:2018-11-06

    Inventor: 丁勇 林晨

    Abstract: 本发明公开了一种基于电流变液技术的起重机械防摇装置及防摇方法,该装置包括滑轮盘和吊钩,吊钩安装在滑轮盘上,滑轮盘设中心孔,中心孔为内齿轮结构,中心孔中设有棒状齿轮轴,棒状齿轮轴的齿轮周设有若干个传动齿轮,传动齿轮同时与棒状齿轮轴和中心孔的内齿轮结构啮合;棒状齿轮轴、传动齿轮和滑轮之间的空隙中设有润滑油;棒状齿轮轴上连接电源正极,滑轮盘连接电源负极。在小车无起升指令时,给该防摇装置的滑轮盘通电,使滑轮盘内部的电流变液粘滞力增大,由液体向固体转变,从而限制滑轮盘的转动,两根钢丝绳会因为滑轮的阻尼消耗能量,达到消除摆动的目的。

    一种基于数字信号处理器平台的微分测频方法及系统

    公开(公告)号:CN104391174B

    公开(公告)日:2017-09-01

    申请号:CN201410676742.6

    申请日:2014-11-21

    Abstract: 本发明提供一种基于数字信号处理器平台的微分测频方法,包括以下步骤:步骤1,提供微分测频系统;步骤2,带通滤波器对输入的谐振信号进行滤波;步骤3,裂相器将滤波后的信号分成两路信号,一路信号进行希尔伯特变换,一路信号进行低通滤波;步骤4,第一微分器模块与第二微分器模块将步骤2中的两路信号分别进行两次微分;步骤5,延迟步骤3中的两路信号和步骤4中第一次微分后的两路信号;步骤6,利用交叉相乘法或绝对值法得到信号的频率值的平方;步骤7,低通滤波器对频率值的平方进行滤波后输出,并将输出信号反馈于带通滤波器。本发明提供的微分测频方法稳定性好、抗噪能力强、精度高、灵敏度高、易于实现。

    对应力不敏感的自校准硅微谐振式加速度计

    公开(公告)号:CN108008149A

    公开(公告)日:2018-05-08

    申请号:CN201610955241.0

    申请日:2016-10-27

    Abstract: 本发明公开了一种对应力不敏感的自校准硅微谐振式加速度计,为圆片级SOI三层真空封装结构,上层为加速度计的结构盖板,布置信号输入/输出线,加速度计机械结构制作在中间的硅片层上,下层单晶硅为加速度计的衬底。加速度计机械结构由质量块、两个差分谐振器组成。敏感加速度的质量块位于结构的中间,质量块上下两侧连接的活动梳齿,其与上下对称的四个自校准电极连接的固定梳齿形成自校准电容;两个检测加速度的谐振器分别对称布置在质量块的两侧,一端通过应力隔离框架与固定基座连接,另一端通过一级杠杠放大机构与质量块相连。本发明对外界应力不敏感、敏感加速度方向强度大、具有很强的自校准能力。

    一种基于数字信号处理器平台的微分测频方法及系统

    公开(公告)号:CN104391174A

    公开(公告)日:2015-03-04

    申请号:CN201410676742.6

    申请日:2014-11-21

    Abstract: 本发明提供一种基于数字信号处理器平台的微分测频方法,包括以下步骤:步骤1,提供微分测频系统;步骤2,带通滤波器对输入的谐振信号进行滤波;步骤3,裂相器将滤波后的信号分成两路信号,一路信号进行希尔伯特变换,一路信号进行低通滤波;步骤4,第一微分器模块与第二微分器模块将步骤2中的两路信号分别进行两次微分;步骤5,延迟步骤3中的两路信号和步骤4中第一次微分后的两路信号;步骤6,利用交叉相乘法或绝对值法得到信号的频率值的平方;步骤7,低通滤波器对频率值的平方进行滤波后输出,并将输出信号反馈于带通滤波器。本发明提供的微分测频方法稳定性好、抗噪能力强、精度高、灵敏度高、易于实现。

    一种基于数字信号处理器平台的微分测频系统

    公开(公告)号:CN204330882U

    公开(公告)日:2015-05-13

    申请号:CN201420707049.6

    申请日:2014-11-21

    Abstract: 本实用新型提供一种基于数字信号处理器平台的微分测频系统,包括带通滤波器、裂相器、第一低通滤波器、希尔伯特变换器、第一微分器模块、第二微分器模块、第一延迟模块、第二延迟模块、第三延迟模块、第四延迟模块、交叉相乘法或绝对值法推导频率算法模块、第二低通滤波器。本实用新型提供的微分测频系统稳定性好、抗噪能力强、精度高、灵敏度高。

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