公开(公告)号：CN119291230B

公开(公告)日：2025-03-11

申请号：CN202411827980.2

申请日：2024-12-12

Applicant: 南京理工大学 ,  北京林业大学

Inventor： 张晶 ,  林灿 ,  林晨 ,  苏岩

IPC: G01P15/097

Abstract: 本发明公开了一种基于环形谐振器的频率调制MEMS加速度计，包括两个中心对称的谐振器Ⅰ和谐振器Ⅱ，谐振器Ⅰ和谐振器Ⅱ左右对称连接于质量块上，谐振器Ⅰ和谐振器Ⅱ均包括位于中间的环形结构，中间的环形结构通过四组第一解耦梁与位于环形结构中间的中心锚点连接，中心锚点固定于衬底上，环形结构左右侧分别连接有一个驱动检测电极、前后侧分别连接有一个静电调谐电极，所述驱动检测电极和静电调谐电极均是变面积梳齿电极，每个静电调谐电极的左右两侧分别与左右侧的位移平衡杠杆的前后端处连接，每个位移平衡杠杆的前后端处分别通过第二解耦梁与前后侧的L型梁连接。本发明有利于自激振荡准确捕捉谐振器的固有频率、提升控制精度。

公开(公告)号：CN119291230A

公开(公告)日：2025-01-10

申请号：CN202411827980.2

申请日：2024-12-12

Applicant: 南京理工大学 ,  北京林业大学

Inventor： 张晶 ,  林灿 ,  林晨 ,  苏岩

IPC: G01P15/097

Abstract: 本发明公开了一种基于环形谐振器的频率调制MEMS加速度计，包括两个中心对称的谐振器Ⅰ和谐振器Ⅱ，谐振器Ⅰ和谐振器Ⅱ左右对称连接于质量块上，谐振器Ⅰ和谐振器Ⅱ均包括位于中间的环形结构，中间的环形结构通过四组第一解耦梁与位于环形结构中间的中心锚点连接，中心锚点固定于衬底上，环形结构左右侧分别连接有一个驱动检测电极、前后侧分别连接有一个静电调谐电极，所述驱动检测电极和静电调谐电极均是变面积梳齿电极，每个静电调谐电极的左右两侧分别与左右侧的位移平衡杠杆的前后端处连接，每个位移平衡杠杆的前后端处分别通过第二解耦梁与前后侧的L型梁连接。本发明有利于自激振荡准确捕捉谐振器的固有频率、提升控制精度。