基于微谐振器的高精度温度测量系统

    公开(公告)号:CN104180919B

    公开(公告)日:2017-05-17

    申请号:CN201410396177.8

    申请日:2014-08-12

    Abstract: 本发明提供了一种基于微谐振器的高精度温度测量系统,包括微谐振器、驱动电路、测频电路和温度标定电路,微谐振器由双端固支音叉、平板电容和基底组成,驱动电路与微谐振器形成闭环回路,保证微谐振器产生稳定的振荡信号,测频电路测量随温度变化的信号频率,并通过温度标定电路,转化为当前环境温度值;本发明的微谐振器中,双端固支音叉采用平板电容驱动,灵敏度高,线性度好,具有非常高的测量精度。

    基于微谐振器的高精度温度测量系统

    公开(公告)号:CN104180919A

    公开(公告)日:2014-12-03

    申请号:CN201410396177.8

    申请日:2014-08-12

    Abstract: 本发明提供了一种基于微谐振器的高精度温度测量系统,包括微谐振器、驱动电路、测频电路和温度标定电路,微谐振器由双端固支音叉、平板电容和基底组成,驱动电路与微谐振器形成闭环回路,保证微谐振器产生稳定的振荡信号,测频电路测量随温度变化的信号频率,并通过温度标定电路,转化为当前环境温度值;本发明的微谐振器中,双端固支音叉采用平板电容驱动,灵敏度高,线性度好,具有非常高的测量精度。

    基于微谐振器的高精度温度测量系统

    公开(公告)号:CN204064504U

    公开(公告)日:2014-12-31

    申请号:CN201420455223.2

    申请日:2014-08-12

    Abstract: 本实用新型提供了一种基于微谐振器的高精度温度测量系统,包括微谐振器、驱动电路、测频电路和温度标定电路,微谐振器由双端固支音叉、平板电容和基底组成,驱动电路与微谐振器形成闭环回路,保证微谐振器产生稳定的振荡信号,测频电路测量随温度变化的信号频率,并通过温度标定电路,转化为当前环境温度值。本实用新型的微谐振器中,双端固支音叉采用平板电容驱动,灵敏度高,线性度好,具有非常高的测量精度。

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