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公开(公告)号：CN102252668A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN201110170673.8
申请日：2011-06-23
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01C19/56
Abstract: 本发明涉及一种硅微角振动输出陀螺仪，由上、下两层构成，上层为制作在单晶硅片上的陀螺仪机械结构，下层为制作在玻璃衬底上的信号引线，上层机械结构由两个相同的子结构组成，这两个子结构左右对称布置，并通过质量块连接机构相互连接。同时两个子结构分别与横梁连接，该横梁通过水平扭杆与固定基座连接，固定基座安装在玻璃衬底上的固定基座键合点上，使上层的机械结构部分悬空在下层的玻璃衬底部分之上，下层玻璃衬底上布置信号引线以及键合点。本发明采用水平扭杆和横梁，使陀螺仪绕z轴转动，实现陀螺仪的敏感运动，实现了驱动方向与检测方向的运动解耦，并且减少了干扰模态的数目，降低了对加工精度的要求，提高了陀螺仪的灵敏度。
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公开(公告)号：CN102252668B
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201110170673.8
申请日：2011-06-23
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01C19/5733
Abstract: 本发明涉及一种硅微角振动输出陀螺仪，由上、下两层构成，上层为制作在单晶硅片上的陀螺仪机械结构，下层为制作在玻璃衬底上的信号引线，上层机械结构由两个相同的子结构组成，这两个子结构左右对称布置，并通过质量块连接机构相互连接。同时两个子结构分别与横梁连接，该横梁通过水平扭杆与固定基座连接，固定基座安装在玻璃衬底上的固定基座键合点上，使上层的机械结构部分悬空在下层的玻璃衬底部分之上，下层玻璃衬底上布置信号引线以及键合点。本发明采用水平扭杆和横梁，使陀螺仪绕z轴转动，实现陀螺仪的敏感运动，实现了驱动方向与检测方向的运动解耦，并且减少了干扰模态的数目，降低了对加工精度的要求，提高了陀螺仪的灵敏度。
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公开(公告)号：CN202216695U
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201120214654.6
申请日：2011-06-23
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01C19/5733
Abstract: 本实用新型涉及一种硅微角振动输出陀螺仪，由上、下两层构成，上层为制作在单晶硅片上的陀螺仪机械结构，下层为制作在玻璃衬底上的信号引线，上层机械结构由两个相同的子结构组成，这两个子结构左右对称布置，并通过质量块连接机构相互连接。同时两个子结构分别与横梁连接，该横梁通过水平扭杆与固定基座连接，固定基座安装在玻璃衬底上的固定基座键合点上，使上层的机械结构部分悬空在下层的玻璃衬底部分之上，下层玻璃衬底上布置信号引线以及键合点。本实用新型采用水平扭杆和横梁，使陀螺仪绕z轴转动，实现陀螺仪的敏感运动，实现了驱动方向与检测方向的运动解耦，并且减少了干扰模态的数目，降低了对加工精度的要求，提高了陀螺仪的灵敏度。
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公开(公告)号：CN202216694U
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201120340974.6
申请日：2011-09-13
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01C19/5705
Abstract: 本实用新型公开了一种扭摆式角速率陀螺仪，由上层的机械结构和下层的玻璃衬底构成，整个机械结构通过第一组水平扭杆与第一固定基座连接，通过第二组水平扭杆与第二固定基座连接，使上层的机械结构悬空在下层的玻璃衬底之上；第一固定基座布置在第一横梁的下面，第二固定基座布置在第二横梁的上面；两组水平扭杆均在XY平面内；第一组扭杆中的第一、第三扭杆和第二组扭杆中的第四、第六扭杆沿X轴方向布置；第一组扭杆中的第二扭杆和第二组扭杆中的第五扭杆沿Y轴方向布置。本实用新型减少了干扰模态的数目，降低了加工精度的影响，提高了陀螺仪的灵敏度和稳定性。
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