圆柱形结构介电层的柔性触觉传感器的设计与制备

    公开(公告)号:CN117073871A

    公开(公告)日:2023-11-17

    申请号:CN202310553430.5

    申请日:2023-05-16

    Abstract: 本发明公开了圆柱形结构介电层的柔性触觉传感器的设计与制备,所述柔性触觉传感器依据平行板电容器原理制成,其特征在于:它包含柔性传感元件阵列结构,柔性传感元件的数量为m×n个,所述的单个柔性传感元件结构包含上电极层、上柔性板、介电层、下柔性板和下电极层,介电层为阵列的圆柱形微结构,圆柱间隙由气体或悬浊液填充,以提高柔性传感器的灵敏度。所述传感器具有灵敏度高、响应快和迟滞小等特性,不仅可以实现法向力实时检测,还可以实现切向力实时检测,从而实现对任意方向三维力进行实时检测。

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